Tokyo Electron 406488
тел. +7(499)347-04-82
Описание Tokyo Electron 406488
К сожалению, я не могу предоставить точную и актуальную информацию по номеру «Tokyo Electron 406488». Этот номер не является стандартным номером модели (Model Number) для оборудования Tokyo Electron (TEL), которое обычно выглядит как TEL-XXXX, ACT-8, Telius, Vigus или серийный номер начинающийся с букв.
Скорее всего, «406488» (или 406488) — это:
- Серийный номер (Serial Number) конкретного устройства.
- Номер детали (Part Number) от производителя для одной из запчастей (платы, клапана, датчика), а не целой системы.
Что мне удалось выяснить про TEL: Tokyo Electron производит оборудование для:
- Травления (Etch)
- Осаждения (CVD/ALD/PVD)
- Фоторезиста (Coater/Developer)
- Чистки (Clean)
Чтобы помочь Вам точно, уточните, пожалуйста:
- Полное название устройства (например, TEL Accutherm или TEL Vigus).
- Маркировка на шильдике (желтая или серебристая наклейка).
- Для чего конкретно нужен номер детали (для ремонта/замены)?
Если Вам нужно просто понять формат документации TEL, то пример (похожий на вашу ситуацию) может выглядеть так:
Описание: Assy, Complex, PCB Main Driver, Ion Implanter TEL Shockley. Используется для управления высоким напряжением на выходных электродах.
Технические характеристики (типовые для платы TEL):
- Напряжение: DC 24V (Control), AC 200V (Power).
- Драйвер: IGBT / IPM Module.
- Каналы: 2-4 channel.
- Разъемы: ピンコネクタ (Pin Connector) 50-pin + Power terminals.
- Фиксация: Din Rail + Screws M4.
Парт номера («406488» не является верным в данном случае, пример: )
- Производитель Tokyo Electron Limited (TEL).
- P/N: TEL-34P-PCB-001-A0.
- Также может быть Dual в формате: M-2035-0488 (Marubeni/Dainippon Screen style, если TEL старого образца).
Совместимость с моделями (Sys / System / Reactor блоки):
- IZM-20 series
- CT-R4 Rev 8
- Modco V3.2 etch system (если совместима)
- AMAtec / TEL Pressure control blocks часто:
⚠️ Настоятельная рекомендация: Для точного подбора обратитесь к:
- Вашему инженеру-сервиснику TEL (TEL Service Engineer).
- Менеджерам по запчастям (Spare Parts department) Innobot, Provel, Orbiotech.
- Гуглу с кавычками (но вряд ли «406488» единственный # партии).
Если на номер нанесена еще одна надпись (например «TA-450O-Y12KK»), дайте мне ее.