Tokyo Electron 406626

К сожалению, в предоставленном вами запросе есть неточность. Tokyo Electron (TEL) — это японский производитель полупроводникового оборудования, а номер 406626 явно не является моделью оборудования (которое обычно имеет маркировку типа TEL Triase+, TEL SCCM или TEL Telius).

Скорее всего, 406626 — это номер детали (Part Number) запасной части, расходного материала или комплектующего для оборудования TEL, либо же это номер какой-то другой категории товара.

Почему это важно и как найти правильную информацию:

Поскольку номера запчастей сотен тысяч и без контекста системы (например, для какой именно установки нужна деталь) однозначно идентифицировать «406626» невозможно.

Что я могу предложить на основе вашего запроса:

Если вы имели в виду конкретную модель оборудования TEL (например, старые травления Unity, кластерные системы Triase для осаждения, Clean Track для фоторезиста или установки имплантации), то название модели обычно выглядит так:

• TEL Triase+ (серия установок CVD/осаждения)
• TEL SCCM (Single Wafer Cleaning System)
• TEL Vigus
• TEL Talos

Для получения точной информации по "406626":

1. Посмотрите на этикетку: На самой детали (или ее упаковке) обычно есть не только номер (406626), но и:

   • Название производителя (Tokyo Electron Limited).
   • Бренд: TEL, или его OEM-партнер.
   • Иногда код оборудования рядом (если это запчасть).

2. Проверьте "Совместимость/OEM equivalent": Часто производитель оригинала (OEM) может выпускать эту деталь под совершенно другим номером (номером поставщика). Например, японские SMC, CKD, Keyence или Bridgestone могут поставлять TEL прокладки, клапаны или кулеры под своей спецификацией, а «дилер» дает им внешний номер 406626.

3. Выполните запрос правильно: Пожалуйста, уточните:

   “Это каталожный номер запасной части (PN 406626) к машине [Название модели машины TEL]. Я ищу технические характеристики этой запчасти и заменяет ли она детали с номерами X/У/Z.”

А пока : общие характеристики оборудования TEL для контекста:

Если это деталь для установки плазменного травления / CVD (пример):

| Параметр | Типовое значение (для старших моделей скрабберов/этчеров) | | :--- | :--- | | Тип системы | Сухое / влажное удаление; Плазма низкого/высокого давления | | Материал обработки | Si, Si3N4, W, Al-пленки | | Подложки | До 300 мм с пониженной температурой процесса | | Генераторы ВЧ/СВЧ | Два широкополосных модуля, оптимизированные под процесс 4066… совместимости с материалом |

Важно для понимания совместимости и "Парт номеров" данного продукта:

• Tokyo Electron редко дает общую открытую базу запчастей (SPG/NXP и т.д.), обычно это лазер-этгинг номера для конечного оператора.
• «Сотни ПК» под V - Вырезано для конкретного заказчика (Intel, SMIC, Micron).

**Просьба уточнить запрос. Если фраза “406626” находится не на корпусе запчасти, а в документации / форме технического заказа — это может быть внутренний код заказа для слесарной доработки блока *Mask cleaning module\Radio frequency (RF) filament.

Заключение на данном этапе: Корректная опись и парт-номера сможете получить только после привязки цифры "406626" либо к заводу-изготовителю газа/клапана (OEM-equivalent), либо напрямую к соответствующей модели инструмента TEL (например — TEL ACT-8 266*; TT428…).