Tokyo Electron 406735

Tokyo Electron 406735
Артикул: 1454721

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron 406735

К сожалению, я не могу предоставить точные технические характеристики, парт-номера и список совместимых моделей для комбинации Tokyo Electron 406735, так как данный запрос содержит несколько неоднозначностей, которые требуют уточнения.

Вот ключевые моменты, которые нужно понять, чтобы дать корректный ответ:

  1. «Tokyo Electron» — это крупный японский производитель полупроводникового оборудования (например, установки для травления, осаждения пленок, очистки пластин). Они не выпускают потребительскую электронику (видеокарты, процессоры и т.д.) с привычными пользовательскими маркировками.
  2. «406735»: Это число может означать три разных вещи в контексте оборудования Tokyo Electron:
    • Инвентарный номер / Machine ID: Если вы ищете информацию о конкретном станке с этим серийным номером на заводе.
    • Парт-номер запчасти: Это может быть номер детали (платы, блока питания, манипулятора) от Tokyo Electron или подрядчика.
    • Модель приставки / кластера: Номер кастомной конфигурации.

Без знания типа оборудования (травление Tellus, осаждение Triase, мойка Actina) и контекста ответить на вопрос невозможно.


Что нужно сделать для получения правильного ответа

Чтобы я или сервисное руководство помогли вам, уточните один из пунктов:

  1. Для работы с каким конкретным процессом используется это оборудование? (Например: PE-CVD, Dry Etch, Wet Clean, Coater)
  2. Это запчасть или модель аппарата? (Part or Station)
  3. Если это деталь (плата / вентиль / двигатель), то какое устройство она ремонтирует? (Например: RF Generator, ESC Chiller, Transfer Robot)

Примерный формат данных, которые можно ожидать (при условии, что вы нашли номер платы управления - PWB/PCA)

Допустим, P/N: CT-4080S-406735-01 — плата контроллера газораспределения (если верить аналогам с Audi и системами управления). Это гипотетический пример, а не точная характеристика.

Описание: Плата управления (Control Board / PWB) для модуля газового блока (Gas Box Controller) в составе установок серии CC-4XY для процесса Dry Etch (сухое травление). Обеспечивает мониторинг давления и переключение до 8 клапанов крайне высокочистых газов (MFC control).

  • Обратная связь: RS-485/24V DC.
  • Работа: Отключение по газу/вакууму.

Технические характеристики (гипотетические):

  • Напряжение питания: 24 VDC (±5%)
  • Потребляемый ток: Не более 0.8A
  • Аналоговые входы: 8 каналов (4-20mA / 0-10V)
  • Рабочая среда: Air 0.4 MPa, N₂
  • Температурный диапазон: 15... 30 °C (то же для безопасности системы).

Парт номера (Part Numbers) — обычно:

  • Основной SKU: 36-040128067 (пример)
  • OEM / for TEL: 406735-01 (если это заводской код для модификации)
  • Common Number: PCA-6406735

Совместимые модели (может подходить к оборудованию прямоходящего кластера):

  • (Hypothetical compatible chambers/bases) VLANSC/CDE3 or TE/Tetra Z — всё зависит от производителя Original Eq. На восстановленных модулях — аналогично.

Рекомендация прервать loop:

Проверьте бирку станка или пластиковой шестерни, с которой вы скопировали номер. Сфотографируйте. Если станок называется TEL - SCCM, TEL – Actina, TEL – Triase Plus: → в документации на аппарат существует колонка Contamination Group или Parts per Billion и список PLIST номеров для лавинной модуля на все судна (RF стадии); на это компьютер реагирует и точные модели перечислены в Manual Compatibility List (2-3 страницы черного-белого списка моделей эл. компонентов + датчик).

Напишите этот же запрос с такими данными, и любой инженер скажет — подходит или нет.


Если вы ищете информацию о блоке питания (похоже на типичный серийный серийников P60EB + заводское железо): такие детали уникальны и требуют найти номер Service Quote от Tokyo Electron HQ Maker.

Совместимые модели для Tokyo Electron 406735

Tokyo Electron 406735