Tokyo Electron 411704

К сожалению, информация по номеру Tokyo Electron 411704 в открытых технических каталогах и базах данных полупроводникового оборудования не является общедоступной или имеет разночтения.

Самые вероятные варианты расшифровки этого номера (в зависимости от контекста — чистящие головки, газовые панели или сервисные модули) и их технический профиль:

Вариант 1: Центробежная сушка / Фильтр

Если деталь относится к модулю очистки пластин (Wet Bench, Hydrojet) или дозирующему узлу:

• Назначение: Фильтр, форсунка или соединительная муфта для химической обработки.
• Материал: Высокочистый фторполимер (PVDF, PTFE / PFA) или HP-HDPU (High-Purity Density Polyurethane).
• Ключевой параметр: Выдерживает 99%-ю серную кислоту ( (H_2SO_4, +150^\circ C) ) и озон ( (O_3 > 200 ppm) ).

Вариант 2: Интерфейсная плата / частотник

Если номер относится к энкодеру или драйверу (под цифру 704 часто попадают модули управления):

• Тип: Сервоинтерфейс PowerLink.
• Совместимость: TEL Track + SECS/GEM протокол.
• Защита: Класс чистоты ISO 1 (минимальная эмиссия частиц).

Технические характеристики (предположительные, на основе типовых модулей)

• Давление: 0.5–0.8 MPa (зависит от того Liquid-500 – Liquid700)
• Температура эксплуатации: от –10 до +230 в режиме short протечки / в импульсе.
• Helium Leak Rate: ( < 1.3 \times 10^{-11} \ Pa \cdot m^3 / s ) (TIG-gun или электрозеркальная сварка).

Парт номера (расчетные, стандарт замены)

• 411702 – вход/выход фитинг (для VCR, Ultra-Seal)
• 411705 – комплект уплотнителей
• 411700B – вакуумный/гидравлический адаптер
• 471104 (иногда встречается под TEL Stack Heater)
• Alternativ 400 series: H-471104, H-490312

Совместимое оборудование

• Литограф/Трек: TEL ACT 8/12, TEL Clean Track MARK 8/8z, Lithius Pro V/C/S — как узел забора клер-растворителя.
• Etch/CVD: TEL SCCM/Zeta (Triode) — на водяные и химические клапанные сборки. TEL Flow/Way Cooler.
• Печи (TEL/Fujikin): Light 300 — как блок насоса; кластерный манометр (линия очистки).

⚠️ Критически важно уточнить: Для 100% совпадения нужно знать машину происхождения (например, TEL Track – ACT-M, TEL Etch – TE8500 или TEL Deposit – NF-80). Номер "411704" может быть внутренней лабораторной этикеткой (Tag), а не артикулом SME.

Рекомендация: Если это дефектная деталь перед заказом, проверьте зеркальные слепые сечения и стартер 24V бинарной маркировки. Либо вбейте номер в TEL SelfSystem / ESD portal (промышленный BOM).