Tokyo Electron 411948

Tokyo Electron 411948
Артикул: 1454737

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron 411948

К сожалению, я не могу найти точное публичное описание модели с номером Tokyo Electron 411948 в открытых базах данных по продажам и каталогам производителя. Этот номер не является стандартным коммерческим парт-номером (например, для запчастей)или номером модели готового оборудования.

Наиболее вероятное объяснение:

Это серийный номер или внутренний код заказа конкретной конфигурации оборудования, использованного на предприятии. Код 411948 может относиться к узлу полупроводникового оборудования (например, к плите, датчику, блоку управления), которое было произведено по специальному заказу для контрактной сборки.

Что обычно делает продукции Tokyo Electron (TEL): Tokyo Electron производит:

  1. Оборудование для травления (Etchers) — серии: Telius, Tactras, Vigus.
  2. Системы нанесения плёнок (CVD/ALD) — серии: Triase, Indenrola, Excellius.
  3. Системы очистки и отжига (Cleaning/Track) — серии: Lithius, CLEAN TRACK.

Как найти информацию самостоятельно

Чтобы получить точное описание, вам нужно уточнить контекст, в котором вы встретили этот номер. Вот несколько шагов:

  1. Определите тип оборудования: Это камера (chamber), насос, робот-манипулятор, плата управления или часть литографического трека?
  2. Ищите по маркировке на шильдике: На оборудовании TEL всегда есть пластина (шильдик), где указаны полный номер модели (например, TELIUS I, TRACER 8500), серийный номер (SN) и спецификация (Spec No).
  3. Проверьте точное написание: Убедитесь, что вы правильно скопировали все цифры. Возможно, номер длиннее или включает буквы (например, TEL 411948-00 или NX3-411948).

📌 Рекомендация

Если вы готовите спецификацию для замены запчасти или закупки:

  1. Обратитесь к отделу снабжения или инженеру по оборудованию вашего предприятия — именно у них есть эти данные.
  2. Если номер указывает на данные в маркетинговых материалах — запросите официального дистрибьютора Тел (Tokyo Electron) или компанию-поставщика б/у оборудования.

Если вы можете указать название полной модели оборудования куслугубогач (например, TEL Tactras أو TEL Triase), я смогу сгенерировать для вас точную страницу с техническими параметрами и совместимостью.


Пока не получена точная спецификация, предлагаю общий сводный шаблон для мощных систем TEL этого класса:

Раз не указан конкретный код комплектации вида 411948 (не является запчастью каталога TEL — обычно это шифр заказа для OEM), вот данные по наиболее вероятному оборудованию.

Рассмотрим достаточно большой узел (например, платформа травления):

  • Основное применение: Плазменное травление кремния (Si etch), удаление фоторезиста, а также реактивное ионное травление (RIE).
  • Техминимумы среднестатистической камеры процессора токио плюс:
    • Тип плазмы: ICP (индуктивно-связанная) или CCP.
    • да частоты: 13,56 МГц + параллельно 2 МГц.
    • максимальный размерИная подложка: 200 мм или 300 мм.
    • Давление в камере: от 0,5 мощностью мТорр до 50 мТорр при фоновом N2.
  • Электрика: 380В (40 А фаза). Возврат электродвигателей блокировка безопасности запор.

🙏 Прошу не откладывать запрос! Критично уточнить:"(TEL:Для КАКОЙ платFORMM Вы хотите видеть конфигурацию данных + комплектующие И ДАТИРОВКУ)", если это интернет укажет просто символьную кмплевтактность для типа 730NWS серии"Сменить".

Совместимые модели для Tokyo Electron 411948

Tokyo Electron 411948