Tokyo Electron 3131120

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для продукта с артикулом Tokyo Electron 3131120.

Общее описание

Tokyo Electron (TEL) 3131120 — это сопло для распыления (Shower Head), являющееся ключевым компонентом верхнего электрода (Upper Electrode / Shower Head Electrode) в плазменных установках для химического травления (Etcher) производства Tokyo Electron.

Это расходная деталь (consumable part или process kit part), которая напрямую контактирует с плазмой и технологическими газами. Ее основное назначение — равномерное распределение реакционных газов по всей площади обрабатываемой кремниевой пластины (wafer) в вакуумной камере. Сопло имеет множество мелких отверстий и изготовлено из материалов, устойчивых к агрессивной химии процесса (обычно оксид алюминия Al₂O₃ или аналогичная керамика).

Со временем деталь подвергается эрозии от плазмы и требует периодической замены для поддержания качества процесса: равномерности травления, скорости травления и воспроизводимости результатов.

Технические характеристики (типичные)

Поскольку точные спецификации являются интеллектуальной собственностью TEL и могут варьироваться, ниже приведены характерные параметры для такой детали:

• Тип детали: Сопло верхнего электрода / Распылительная головка (Shower Head, Diffuser Plate).
• Основной материал: Высокочистая керамика на основе оксида алюминия (Al₂O₃) или нитрида алюминия (AlN). Иногда с защитным покрытием (Yttria — Y₂O₃).
• Ключевое свойство: Высокая плазмо- и коррозионная стойкость.
• Конструкция: Циркулярная пластина с точным расположением сотен микроотверстий для распределения газа.
• Геометрия: Точные диаметр, толщина и профиль заданы для конкретной модели реактора.
• Электрические свойства: Обеспечивает необходимую емкость и проводимость в ВЧ-плазменной схеме.

Совместимые модели оборудования (Platforms)

Деталь 3131120 предназначена для семейства реакторов Tokyo Electron Tactras / Telius. Это одно из самых распространенных семейств для процесса глубокого кремниевого травления (Deep Silicon Etch — DSE или Bosch process), используемого в производстве MEMS, TSV (кремниевых переходов) и изоляционных канавок.

Основные совместимые модели:

• TEL Tactras
• TEL Telius
• TEL Telius SP
• TEL Telius ACE
• TEL Tactras SDE

Важно: Совместимость может зависеть от конкретной ревизии камеры (Chamber Configuration) и поколения process kit. Всегда необходимо сверяться с актуальными списками совместимости от TEL или проверять физическую маркировку на старой детали.

Парт-номера и альтернативные обозначения

Деталь может фигурировать под разными номерами в каталогах, спецификациях и системах планирования ресурсов предприятия (ERP). Часто это не прямая замена, а функциональный эквивалент в рамках определенного набора.

Основной номер:

• 3131120 — Базовый артикул TEL.

Возможные связанные или альтернативные номера (могут отличаться):

• 3131120-001 (с суффиксом, обозначающим ревизию)
• 3131120-00A
• TEL 3131120
• Входит в состав Process Kit для Telius/Tactras (например, комплект верхнего электрода).
• Может поставляться как часть ремонтного комплекта Maintenance Kit.
• A3131120 — вариант номера у некоторых дистрибьюторов или в альтернативных каталогах.

Номера комплектов, в которые может входить эта деталь:

• 3131XXX (серия номеров для различных компонентов верхнего электрода).
• Набор верхнего электрода часто включает саму распылительную головку, охлаждающую пластину, уплотнения и крепеж.

Важные примечания

1. Не OEM-запчасти: На рынке существуют совместимые детали от сторонних производителей (alternative parts), которые могут иметь другие артикулы, но заявлять совместимость с TEL 3131120. Их использование требует валидации в технологическом процессе.
2. Проверка перед заказом: Настоятельно рекомендуется:
   • Сверить номер, нанесенный лазерной гравировкой на самой изношенной детали в вашем инструменте.
   • Обратиться к официальной документации на установку (equipment BOM — Bill of Materials).
   • Консультироваться с инженерами по оборудованию (Equipment Engineer) и поставщикам.
3. Критическая деталь: От состояния этой детали напрямую зависит качество всего процесса травления. Использование неподходящей или изношенной распылительной головки приводит к дефектам на пластинах.

Для 100% точности при заказе рекомендуется предоставлять поставщику полное название модели оборудования (например, Tokyo Electron Telius SP) и, если возможно, серийный номер установки.