Tokyo Electron 20000310

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для контроллера Tokyo Electron (TEL) 20000310.

Описание

Контроллер TEL 20000310 является ключевым компонентом системы управления платформой (Stage Controller) в производственном оборудовании для полупроводниковой промышленности, таком как коатеры/девелоперы (Track Systems) и, возможно, другое оборудование TEL.

Его основная функция — точное управление серводвигателями, которые отвечают за перемещение платформы (стейджа), удерживающей кремниевую подложку (wafer). Это включает в себя:

• Позиционирование: Точное перемещение платформы в заданные координаты для процессов нанесения фоторезиста, проявки и т.д.
• Скорость и ускорение: Контроль динамики движения.
• Обратная связь: Получение данных от энкодеров двигателей для замкнутого контура управления.

Это интеллектуальный цифровой сервоусилитель, который получает команды от главного контроллера (часто через шину Fieldbus, например, Mechatrolink-II или III от Yaskawa) и управляет мощностью, подаваемой на серводвигатель.

Технические характеристики (обобщенные)

Поскольку 20000310 — это номер детали (P/N), а не публичная модель, точные спецификации зависят от ревизии и конкретного применения. Однако, основываясь на аналогичных контроллерах TEL того периода, характеристики обычно включают:

• Тип: Цифровой сервоусилитель (Servo Drive/Amplifier).
• Управляющая шина: Скорее всего, MECHATROLINK-II (или MECHATROLINK-III) — стандартная промышленная шина для движения, разработанная Yaskawa и широко используемая TEL.
• Управляемый двигатель: 3-фазный синхронный серводвигатель переменного тока (AC Servo Motor).
• Номинальная мощность: Зависит от конкретной модификации (например, 400Вт, 750Вт, 1кВт, 2кВт). Определяется мощностью двигателя стейджа.
• Входное напряжение: Обычно 3-фазное 200В~230В AC (50/60 Гц).
• Сигналы обратной связи: Высокоточный энкодер (обычно с sin/cos или абсолютным сигналом) с высоким разрешением.
• Интерфейсы:
  • Силовые клеммы для двигателя и сети.
  • Разъем для связи MECHATROLINK.
  • Разъем для энкодера двигателя.
  • Разъемы для дополнительных сигналов ввода/вывода (I/O), таких как аварийный останов, готовность, ошибка и т.д.
• Защита: От перегрузки по току, перегрева, перенапряжения, короткого замыкания.
• Индикация: Светодиоды для отображения статуса (Power, Run, Alarm, Communication).
• Охлаждение: Принудительное воздушное охлаждение (вентилятор) или конвекционное.

Парт-номера (Part Numbers) и связанные компоненты

Контроллер 20000310 является частью более крупного узла. Важные связанные парт-номера:

1. Основной P/N: 20000310 (базовая модель, может иметь суффиксы для ревизий, например, -001, -002, -A, -B и т.д.).
2. Совместимый серводвигатель (Motor): Управляется этим усилителем. Номер двигателя специфичен для стейджа. Примеры из оборудования TEL:
   • SGML-01AFB12 (Yaskawa)
   • SGMCS-05A3A21 (Yaskawa)
   • Другие модели SGM или SGML серии от Yaskawa. Конкретная модель зависит от требуемого крутящего момента и скорости.
3. Кабель двигателя (Motor Power Cable): Соединяет усилитель 20000310 с двигателем.
   • Пример: 20000311, 20000312 и т.д.
4. Кабель энкодера (Encoder Cable): Соединяет усилитель с энкодером двигателя.
   • Пример: 20000313, 20000314 и т.д.
5. Кабель связи (Communication Cable): Кабель MECHATROLINK для связи с главным контроллером.
6. Плата главного контроллера (Main Controller): Плата, которая отправляет команды движения через MECHATROLINK. Например, платы на базе Yaskawa MP2000系列 или специализированные контроллеры TEL.

Совместимые модели оборудования (Оборудование, где применяется)

Контроллер 20000310 использовался в различных поколениях оборудования Tokyo Electron. Наиболее вероятные модели:

• TEL Act Series (Самые распространенные):
  • ACT 8 (например, ACT 8 COATER)
  • ACT 12
  • ACT 12 D
• Более ранние/другие серии Track Systems:
  • MARK 8
  • Clean Track Series
• Модули в составе кластера:
  • Может использоваться в качестве контроллера платформы в отдельных модулях Coater или Developer, которые являются частью более крупной системы.

Важное примечание: Совместимость определяется не только физическим подключением, но и прошивкой (firmware) контроллера и настройками в программном обеспечении главного контроллера. Замена платы 20000310 в существующем оборудовании обычно требует идентичной ревизии детали или официального обновления от TEL.

Рекомендация: Для точного определения совместимости и поиска аналогов всегда используйте полный номер детали с суффиксом ревизии (например, 20000310-002) и сверяйтесь с технической документацией (Service Manual, Parts List) на конкретную модель оборудования (например, ACT 8), в котором установлена плата.