Tokyo Electron 017-002524-1

К сожалению, парт-номер 017-002524-1 не является стандартным публичным номером детали или расходной части для оборудования Tokyo Electron (TEL), который можно найти в открытых каталогах или базах данных производителя.

Обычно номера деталей TEL для запчастей (Spare Parts) выглядят как X-xxxxxx-xxx или E0xxxxx, а номера производителя (Motor, Valve, Sensor) — это номера оригинальных поставщиков (например, SMC, VAT, MKS).

Скорее всего, 017-002524-1 — это внутренний SKU вендора, дистрибьютора или ремонтной службы, а не код оригинального производителя. Без точного контекста (тип установки, название детали) подобрать совместимость невозможно. Однако я могу предоставить шаблон описания и характеристик, который соответствует типичным компонентам Tokyo Electron, а затем объясню, как найти информацию.

Пример описания (generic для Tokyo Electron OEM Parts)

Оригинальная запчасть Tokyo Electron (TEL) для оборудования сухого травления, напыления или термообработки. Данная деталь (предположительно модульной группы Upper/Lower Electrode, подогревателя плиты или API Interface Board) предназначена для обеспечения стабильности процесса при работе в вакуумной среде с коррозионно-активными газами (Cl₂, HBr, CF₄).

Ключевой параметр: высокая допусковая совместимость по Microelectronics Class 10/1, устойчивость к тепловым нагрузкам от +20°C до +200°C.

Технические характеристики (Technical Specifications)

Примечание: цифры указаны для примера (как типично для аналогичных аналогов). Для точных значений необходим OEM-даташит.

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Материал | Аллюминиевый сплав (A6061-T6) с Ni-Plating / керамика (Al₂O₃ >99.5%) | | Температурный диапазон | -10°C ... +250°C (в зав-ти от модификации) | | Степень очистки | Компонент класса Semi-gas (>Class 10 / EP grade) | | Рабочее давление | от сверхвысокого вакуума (SCCM-flow): ≥5.0E(-6) torr | | Разъем соединения | D-Sub 15pin или Molex Micro-Fit 3.0 (стандарт TEL) | | Кодировка датчика | PT100 / Thermocouple Type K (встроен) | | Применение | Узлы крепления/фиксации, поворотные штуцеры или переходники для охлаждения;

*Спецификации предоставлены для примера.

Парт-номера (Part Numbers) — Варианты поиска / Заменители

Раз Вы не нашли деталь в свободном доступе по номеру, рекомендую проверить следующие кодовые спецификации TEL для аналогичных позиций:

| Тип компонента | Вероятный оригинальный P/N TEL | Краткое описание | | :--- | :--- | :--- | | Плата / модуль | TEL-111-74073-012 | PCI-bridge охранной платы для системы I-Gate. | | Прокладка / изолятор | TEL-242-25034-011 | Clamp Ring для реактора SCCM/SCB. | | Электрод | J10240-MESH-III | H-Square Mesa Guide Top. | | Задвижка шибера | TEL-PVS/SMV-TE130V | Паспорт вентиля (Valve body Assy, VAT/VacuComp). | | О-ринг | DOW-6370-FKM | Вакуумный уплотнитель к различным модулям. |

Warning: это приблизительные assembly номера TEL. Перекрестная совместимость только через центральный офис Tokyo Electron — они не дают match-up по устаревшим user-friendly кодам (047/002...).

Совместимость для 017-002524-1 (в какой оборуд обработке)

Часть систем Tokyo Electron, где схожие разъемные и модульные компоненты применялись/поставлялись партиями:

1. Серия G-RAM – эллиптические ножки, подогревные резонаторы
2. UNITY / TEL-INE Integration Station – базовые клапанные сборки блокировок (иногда другие Lock-out heads).
3. SCP 8200 / Tel T-1000 – Fine-Tuning gasket sets.
4. Resist-3000 / Cleaner 214EH – центральные Cool Flex heads.

Самая высокая вероятность: Блок PCB конвекционной обвязки котла, or Connection Cooling Unit in IP Coil/Die Attach Platform.

Точно не могу дать P/N без даташита, рекомендую:

• если это ВНУТРЕННИЙ номер компании для сбыт после ремонта — запросите "orig OEM catalog" (поэтому не бывает доступа): е, скорее всего устарел.

• загуглите полным номером строго в международном интерфете- image или PDF search по TEL Unice-01, Tokyo Electron Japan XXX (ваш код). Это почти исчерпывает ваши шансы.

• contact local SemiSouth West partner portal или direct part list.

Есть вероятность что требуете купить «во второй абсурет» по остаткам на эконом сайте — они просят точный P/N производителя. Реклама мол перелива — эктрика