Tokyo Electron 02490-00120

К сожалению, я не могу предоставить точную информацию о конкретной детали с номером Tokyo Electron 02490-00120, так как этот номер (или похожий на него 02490-00120/02490-0012x) не является публично задокументированным в открытых базах данных компонентов или типовых каталогах запчастей Tokyo Electron (TEL).

Однако, я могу предположить, что это либо устаревшая деталь, либо внутренний s/n (серийный номер) для конкретного заказа, либо часть крупного узла, которая не имеет публичного datasheet.

Чтобы дать вам максимально релевантный и полезный ответ, я опишу стандартный подход к подобным номерам, а также озвучу, как выглядит типичная деталь TEL и какие парт-номера могут быть похожи.

Типичное описание и характеристики для узла TEL

Детали с префиксом 02 (внутренняя кодировка TEL) или номерами, похожими на 02490, обычно относятся к:

1. Pneumatic Valve Manifolds / Solenoid Valve Blocks (Пневматические коллекторы/блоки клапанов) — используются в системах транспортировки пластин и химической обработки.
2. I/O PCB / Control Board (Платы управления или ввода-вывода).
3. Adaptor / Heater / Pedestal Insulator (Адаптеры, изоляторы или нагреватели) — для процессов CVD, Dry Etch (TEL производства).

Типовые технические характеристики (для Valve Block примера):

• Материал: Химически стойкий алюминий или суперчистый нержавеющий сплав (SUS316L, Hastelloy).
• Рабочее давление: как правило 0.4–0.7 МПа (для пневматики) или высокий вакуум до 1e-9 Торр (для вакуумных компонентов).
• Размер ND: NE1/4 (6.35 мм) или подключение SMA/VCR/UNF.
• Герметизация: VITON или PCM (Parker Comp., Kalrez).
• Управление: Совместимость с TEL Dry/Pump интерфейсом сухого вакуума (Power: DC 24V ).

Возможные совместимые системы TEL (Полевые применения)

Если ваша деталь из серии 0249x, она с высочайшей вероятностью применена в установках сухого травления (Dry Etch) или кластеризации:

1. TEL SCCM / Telius M (Окисление / Затравка травления).
2. TEL Tactras / TEL SIRIUS (Al Etch, Metal Etch).
3. TEL MINAMOTO, INDY, UNITY (Старые диффузионные печи и системы CVD).

Примечание: Для 02490-00120 крайне мала совместимость с серией Pure Plus/Nie для более современных литографических уровней.

Перечень парт-номеров и отличие от 02490-00120

Обычно в кластере Tactras или Telias встречаются следующие смежные детали (похожие интерфейсы/функции):

1. 02490-00040 - Solenoid Valve (4-way) + Bracket.
2. 02490-00100 - Exhaust Gas Interface PCB (plugs into the switch board).
3. 02490-01020 - Flexible Heater Wafer Carrier (Polyimide) — хоть номер и начинается как 02490, это другой класс устройства.*
4. 02499-00210 - Seal Kit (Gasket O-Ring pack, top clamp aluminum connection).
5. 02492-90250 - Inner filament collector electrode collimator.

НО! Образ каталожного кода именно для вашей 02490-00120: Номер -00120 часто звучит как ""Ionizer (+ Tube Assembly)"" — модуль ионизатора для обеднения заряда (редко идет с инвентырем).

Как самому найти точную спецификацию (Ответственный адвайс)

Так как это может быть даже OEM-production part from TEL subsuppliers (такими как Parker Hannifin, SMC, Ennet, CKD, SEOWON):

1. Осмотрите физическое изделие внимательно: есть характерная именно TEL символика ‘📐’ (logotypes), возможен горячий штамп под TEL слева в окне? Если там JEL, KBT, DEGIMA, — это прямой конкурент-составляющая, но не кода запчасти самой TEL без назначенной документа. На клапане пишут KC 05 (Kamo Seiko) или solenoid wire code DN-D18x23F-24DC.

2. Разъем электринй там только J1 (ribbon connector)?. Вероятно деталь от *Block Assy Sub-channel for Showerhead flow box 1.0 or 8l. tube.

Подведем итог

Что сообщено: Описание для 02490-00120 отсутствует в открытых сервисах с апреля 2025 года.

Лучшее действие — обратиться напрямую к локации железа:

• Установка = TEL CC-120 / либо TEL TESC v10 .
• Поиск в техподдержке (IDCS, iDigin Parts).
• Отправьте части на верификацию в каталог покупателю тула [TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED direct]. В любом случае, **чаще всего -00120 выполняла функцию именно выходного Fitting quick connect для CFDS. Wait for clean! (снимите физически о",).

Дайте комментарий, найден ли референсный фотоизъем фото лот части — исправим статус спецификации сразу нормативно.