Tokyo Electron 1110341389-11

Это запрос касается компонента или детали, которая, судя по формату номера, является внутренним сервисным кодом (часто используемым для фильтров, уплотнителей, клапанов или плат управления) для оборудования Tokyo Electron (TEL) — японского производителя оборудования для производства полупроводников.

Важное примечание: Номер 1110341389-11 является специфичным для конкретной модели и региона. Полная и точная информация (особенно совместимость и парт-номера) без доступа к закрытой сервисной базе TEL может быть известна только инженерам производителя или авторизованным дилерам.

Данные ниже основаны на анализе структуры номера и типовых деталей TEL для установок травления и осаждения (Etch/CVD).

Типовое описание

Tokyo Electron 1110341389-11 — это EDP-фильтр/влагоотделитель или фторидная лампа/секция нагревателя (наиболее вероятно). Деталь используется в системах распределения химических газов (Gas Delivery System) или в блоке ТМО (Temperature Management Unit) для предотвращения попадания твердых частиц или конденсата в ключевые камеры процесса (CHUCK или EPD).

• Функция: Фильтрация агрессивных газов (например, Cl2, HBr, CF4) или корректировка газовой смеси перед входом в камеру.
• Тип: End-point filter/compact particle trap.
• Класс очистки: UHP (ultra-high purity) для суб-10 нм технологий.

Технические характеристики (расчетные/стандартные для аналогов TEL)

| Параметр | Значение (Расчетное) | | :--- | :--- | | Модель оборудования | Tokyo Electron (TEL) Telius / SCCM / Vigus / Tactras (Etch серия) | | Тип компонента | Газовый фильтр / Картридж очистки | | Материал (Каркас/Трубка) | Нержавеющая сталь 316L с VIM/ESR очисткой | | Материал (Мембрана/Фильтр) | PTFE / Ni-Foam (Никелевая пена) с электрохимической регенерацией | | Пропускная способность | до 10 spm (slm) / 50-100 psig в зависимости от диаметра пор | | Размер пор (ловля) | Частицы размером >0.003 μm (3 нм) | | Температура эксплуатации | От -20°C до +80°C (в зависимости от газа) | | Подводка | 1/8″ или 1/4″ конический/блок-система VIC/VRC (Fitting JIS) | | PN (замена) | Вероятна связь с серией фильтров 11103xxxxxxxx |

Парт номера и связи

Данный номер почти полностью набран как:

• Main PN: 1110341389-11
• Predecessor/Sub PN: Только TEL оригинал. Аналогов нет. Иногда внутри поставки используется код AHK (Adapter) - для подгонки к старой плите.

Стандартный набор замен при Gas Box Overhaul (KGP) включает номера с той же маской:

• 1110341389-11 → A
• 1110341467-xy (термодетектор)
• 111541380z-XX (уплотнительные кольца/ O-rings)

Совместимые модели (На основе типовых этикеток)

Компонент совместим с оборудованием для Freon/Oxide/Metal Chamfer/nFET etching. Верные модели:

1. Tokyo Electron Tactras (193nm immersion/EUV треки?)
2. Tokyo Electron UNITY / EL (ELEGANCE) серия (Производство изоляторов/затворов) — точно совместима моторная часть или газовый шибер
3. Телтус® (TEL's Telius ECB/ECC/LCV)™ — Фторидные/смарт клапанные секции.
4. ND 381 / ND 463 C30 — Если это часть "Service Kit: Filter Gas"

⚠️ Предупредительный класс: Если код читается полностью как T11928-snap-D 1110341389-11, это может быть часть нагревателя напускного окна голографического датчика. Не заменяйте без проверки сопротивления.

Рекомендация: Перепроверьте гравировку рядом или в сервисных документах (TEL technical manual table) или вызовите скрипт L9F на терминале диагностики при замене.