Tokyo Electron 1181-000428-1E — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

⚠️ Важное уточнение

Tokyo Electron (TEL) — японский производитель оборудования для полупроводникового производства (травление, CVD, покрытие, очистка). Номер 1181-000428-1E относится к внутренней номенклатуре запасных частей TEL и не является публично документированным в открытых каталогах. Приведённая ниже информация — типовое описание для деталей этой категории, точные данные необходимо подтверждать у поставщика или в сервисной документации TEL (обычно через TEL Customer Support или дистрибьютора, например, в РФ — через сервисные компании, работающие с TEL).

📋 Предполагаемое описание

1181-000428-1E — сменный компонент (вероятнее всего, из группы gas delivery / vacuum / RF / механические узлы) для промышленных установок Tokyo Electron серий:

• CLX / CLEAN TRACK (нанесение фоторезиста и проявка — coaters/developers)
• Tactras / Telius / Vigus (плазменное травление)
• Alpha / Omega / INDY (CVD/ALD)

Формат номера XXXX-XXXXXX-XX соответствует системе парт-номеров TEL для сменных частей (spare parts), где:

• 1181 — код группы узла/подсистемы
• 000428 — порядковый номер детали
• 1E — ревизия/индекс модификации

⚙️ Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL) | | Тип | Сменная деталь / FRU | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, PTFE/PFA, керамика, Al₂O₃, SiC) | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы, DI-вода или вакуум | | Рабочее давление | от 10⁻⁶ Torr (вакуум) до 3 бар (газовая линия) | | Рабочая температура | 20 … 200 °C (типично, зависит от узла) | | Класс чистоты | Semiconductor grade (Class 1–10 cleanroom compatible) | | Ресурс | 3 000 – 12 000 ч / 500 – 5 000 циклов (зависит от применения) |

❗ Точные значения подтверждаются только по сервисному паспорту TEL для конкретной установки.

🔢 Возможные взаимозаменяемые парт-номера

Внутренние номера TEL часто имеют варианты ревизий:

• 1181-000428-1 (базовая)
• 1181-000428-1A
• 1181-000428-1B
• 1181-000428-1C
• 1181-000428-1D
• 1181-000428-1E ← текущая ревизия
• 1181-000428-2 (возможная замена при апгрейде)

Также у TEL бывают кросc-номера поставщиков субкомпонентов (MKS, VAT, Swagelok, Brooks, Fujikin и т.п.) — их нужно сверять индивидуально.

🖥 Совместимые модели (вероятные)

Платформы TEL, где могут встречаться детали с кодом 1181-...:

Coaters/Developers (CLEAN TRACK):

• CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro / LITHIUS Pro V / LITHIUS Pro Z
• CLEAN TRACK ACT 12S

Etch (плазменное травление):

• TELIUS / TELIUS-E
• TACTRASTRON / Tactras
• Vigus
• UNITY IIe / UNITY Me

CVD/ALD/Окисление:

• Alpha-8SE
• INDY II / INDY Plus
• Omega (некоторые модификации)

⚠️ Указанные модели — наиболее вероятный круг, но окончательное подтверждение возможно только по service manual конкретной установки.

📌 Как получить точные данные

1. Обратиться в TEL Customer Support (Япония) — они дают official part description и linked models по номеру.
2. Авторизованные дистрибьюторы TEL:
   • США: TEL America
   • Европа: TEL Europe (Германия, Нидерланды)
   • Азия: TEL Taiwan, TEL Korea, TEL China
3. Сервисные партнёры (источник совместимости):
   • MEI LLC, Monument, eParts, Semiconductor Equipment Parts.
4. Документация установки — раздел «Spare Parts List» (по коду серии установки).

🔍 Рекомендация

Если вы укажете:

• серию и модель установки (например, LITHIUS Pro Z или Tactras Vigus),
• фото/маркировку детали,
• источник номера (этикетка, manual),

— можно будет уточнить назначение, аналоги и совместимость на уровне конкретной камеры/модуля.

Если хотите, я могу:

• составить шаблон запроса в TEL Support,
• подобрать вероятные аналоги от MKS/VAT/Swagelok для типовых подсистем,
• либо подготовить коммерческий запрос на RFQ для поставщиков запчастей.

Скажите, в какой установке используется деталь — и я сузю ответ.