Tokyo Electron 16-0126-007 — Описание, характеристики, партномера и совместимость

Описание

16-0126-007 — это сервисный (сменный) компонент производства Tokyo Electron (TEL) — японского производителя оборудования для полупроводниковой промышленности. Деталь относится к категории запасных частей для установок плазмохимического осаждения/травления (PECVD, Etch, ALD) и используется в камерах обработки пластин.

Как правило, детали с артикулами формата 16-XXXX-XXX в номенклатуре TEL — это быстроизнашиваемые элементы (consumables): уплотнения, керамические/кварцевые вставки, электроды, газовые распределители (showerhead-компоненты), фитинги, держатели пластин, изоляторы и т.п. Точное назначение и материал определяются по актуальной сервисной документации TEL для конкретной платформы.

⚠️ Важно: указанный парт-номер встречается относительно редко в открытых источниках. Для получения чертежа, материала и допусков рекомендую обращаться к TEL Field Service или авторизованному дистрибьютору. Ниже приведены обобщённые характеристики для компонента данного класса.

Технические характеристики (типовые для компонента этого класса)

| Параметр | Значение | |---|---| | Артикул (P/N) | 16-0126-007 | | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL), Япония | | Категория | Запасная часть / расходный материал к техпроцессорному оборудованию | | Назначение | Камеры обработки пластин 200/300 мм | | Материал (варианты) | Кварц, SiC, Al₂O₃ (керамика), Y₂O₃-покрытие, PEEK, PCTFE, нержавеющая сталь | | Рабочая среда | Плазма, агрессивные газы (CF₄, CHF₃, Cl₂, HBr, SF₆, O₂) | | Рабочее давление | от ~10⁻³ Torr (высокий вакуум) до атмосферного (в зависимости от узла) | | Рабочая температура | типично от 20 °C до +400…+600 °C (для керамики/кварца) | | UHV-совместимость | Да | | Класс чистоты | Semiconductor grade (класс Cleanroom, ISO 4–5) | | Происхождение | Япония | | Область применения | CVD / PECVD / Etch / ALD / RTP |

(Финальные значения уточняются по чертежу TEL на конкретную позицию.)

Партномера и обозначения

• Основной партномер (TEL P/N): 16-0126-007
• Варианты написания в каталогах и ERP-системах:
  • 16 0126 007
  • 160126007
  • 160126-007
• В номенклатуре TEL деталь может фигурировать в BOM (Bill of Materials) конкретной установки под сокращённым кодом (например, PRT-XXX, ASSY-XXXX).
• Аналоги/замены: оригинальные компоненты TEL выпускаются без открытых кросс-партномеров. Послеmarket-аналоги: KIT от третьих производителей (например, Enzymes, IBL-Nikkiso, а также фирмы, специализирующиеся на конверсии расходников для TEL Clean Track / Unity / Tactras / Telius).

Совместимые модели оборудования TEL

Деталь данного партномера применяется на платформах линейки TEL обработки пластин. Наиболее вероятные совместимые серии:

• TEL Clean Track ACT 8, ACT 12, Litber, CLEAN TRACK ACT-12
• TEL Etch systems: Telius, Tactras (SCCM, SCCM-V), UNITY Me, UNITY IIe
• TEL CVD / ALD: Trias, Trias+ , Alpha (α) серия
• TEL Wet / Coater/Developer: CleanTrack серийного ряда

Проверка совместимости обязательно должна выполняться по:

1. Сервисному руководству TEL на конкретную машину (SN/serial number).
2. BOM конфигурации техпроцесса (recipe tank/gas line/periphery).
3. Уровню ревизии (revision) детали: 16-0126-007 может иметь суб-ревизии (-A, -B, -C и т.д.).

Если вам нужен точный чертёж, материал и допуски или вы хотите подтвердить совместимость с конкретной установкой TEL (например, Tactras Vigus, Telius SCCM, Trias), скиньте серийный номер установки — по нему можно сделать выборку из сервисного каталога и подобрать кросс-замены.