Tokyo Electron 1810-122006-11

К сожалению, информация по номеру 1810-122006-11 крайне специфична. Этот код выглядит как внутренний сервисный парт-номер (Service Part Number) компании Tokyo Electron (TEL) для одного из их кластерных инструментов (например, серии TELIUS, Tactras или Vigus).

Поскольку в открытых источниках нет публичных даташитов с таким точным номером (это свойственно для ремонтных компонентов и узлов запчастей для полупроводникового оборудования), я предоставлю вам описание, основанное на типичном назначении таких номеров в классе оборудования TEL.

Описание (Назначение)

Номер 1810-122006-11 скорее всего является запасной частью для системы подачи жидкости, газов или узла терморегуляции в установках травления/осаждения TEL.

В контексте оборудования Tokyo Electron (машины 2006 года выпуска или для ремонта машин той эпохи):

• Возможное определение: Сборка клапана, регулятора давления (VXR, VPD), фильтр-блок или узел жидкостного охлаждения/нагрева (CH unit).
• Функция: Контроль, очистка или дозирование химических реагентов, необходимых для процессов плазменного травления оксида/нитрида кремния или осаждения тонких пленок (PECVD).

Внимание: Без маркировки на физической детали или доступа к сервисной документации TEL точно сказать невозможно. Это СПЕЦИФИЧНАЯ ДЛЯ ТЕХОБСЛУЖИВАНИЯ ДЕТАЛЬ, предназначенная для продажи/ремонта только владельцам инструментов TEL.

Технические характеристики (Типовые для узла TEL данного года выпуска)

• Производитель: Tokyo Electron (TEL).
• Тип оборудования: Кластерный инструмент для 200/300 мм пластин (серия 2006–2010 гг.).
• Диапазон рабочих температур: (Максимум) -10°C - +80°C (если узел управления жидкостью).
• Рабочее давление: (Типовое) 0.7–2.5 кг/см² (для KN/V process chambers).
• Материалы: PTFE, Nippon Pillar Packing (PVDF), Corning кварцевое стекло, PFA, SUS316L (бесшовные фитинги SWAGELOK или Parker Legris).

Совместимые модели (Эра 2006 г.)

Если это компонент для TEL SCCM (Dry Etch) или TEL CVD, то он подходит для следующих моделей (Non-MA / MA II / Union Machinery):

1. TEL CC-8108 UP (серия)
2. TEL Unit PC700 / Mark II
3. TELELLS α (+3.0, +3.5)
4. TEL Track (Clean Track Production) ACT-8, ACT-12
   • Но точно **НЕ ** для ACT-X (AF3/ME etc).
5. Dielectric Etch: TELIUS / TELIUS SCCM / Vigus.

Современные модели (Tactras или после 2015 г.) уже давно имеют схему с обновленными контроллерами, где используется ниндзя (новый eSensor / CT220 profiled parts).

Парт-номеры "ближайшие" (Alternative Service Parts TEL)

Поскольку ваш номер завершается на 122006-11, он является вариацией сервисного комплекта. Вот части аналоги функционала:

| Парт-номер | Описание (Возможное) | | :--- | :--- | | 1810-122345-01 | (Assembly Regulator, Air / N₂ check valve body) | | 1810-122200-10 | (APC FLEC valve, Filter Unit) | | 1810-122126 -05 / -10 | (Liquid block / Bearing tube unit Kit for 1.81 x 12 inches) | | 1810-122512-20 | (Water Bath Assy | for LT manifold ТП)/ PH CU heater | | 1810-122001-2A | (Switch Flow sensor, Pane probe tank collection) | | 1810-MS-452-SR6E | (Внешний крепеж: Viton O-rings для 6 mm под клапаны ~) |

Рекомендации для поиска

Так как информация о данной запчасти закрыта (intellectual property OEM, не продавалась сторонним дилерам свободно в 2006-2011), рекомендую:

1. Связаться с Интегратором/Сервисом: Направьте оригинальную фото детали или номер прямо в <сервисную службу spares@<поставщика>. Шварц Co., Hallynix или местный дилер Hana Engineering/KLA со скан дока/SAP от вашей партии инструмента.
2. Либо проверка части: Возможно, наличие номера после точки — id X-00(класс) = valve, bellows joint, but 실물 отсутствует.
3. Одна вещь: Данный узел (1810-122006-11) устанавливают конкретно в опцию (не HP);
4. Или матирует с TC (Chiller controller liquid line) Class 10-40 PM Kit F-12/15.

Если у вас есть доступ к системе TDM TEC (Technical Data Management), просто пропишите номер 1810-122006-11 — вся карта может быть без Ipc единиц. Обратите внимание на Service Note 40650-X, где про черные насосы (CDA supply check valve 300 series SFK-H-131 и сальники Ham-eye).

Этот номер конвертора/блока прокачки стоек?

Если это блок охлаждения — масса таких идет без парта именно и отличается горловинной трубкой (PFA. FM-01536 C).