TECHNICAL SPECIFICATION & COMPATIBILITY SHEET

Описание

Парт-номер: 2110-369191-11 Производитель: Tokyo Electron (TEL) Категория: Компонент системы подачи и обработки газа / расходный элемент для полупроводникового оборудования

Данный компонент (2110-369191-11) является оригинальной запасной частью производства Tokyo Electron Limited (Япония) и применяется в составе газораспределительных узлов и систем контроля технологических газов плазменных и CVD/PVD установок. Изделие обеспечивает точную дозировку, герметичность и стабильность потока газа при высоких требованиях к чистоте (класс чистоты полупроводниковых процессов).

Запасная часть поставляется в оригинальной упаковке TEL, проходит заводскую поверку и предназначена для применения в чистых помещениях классов ISO Class 1–5 (Class 100/10).

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Артикул | 2110-369191-11 | | Производитель | Tokyo Electron Ltd. | | Тип изделия | Компонент газовой системы / прецизионная зап. часть | | Рабочая среда | Технологические газы: N₂, Ar, O₂, CF₄, NF₃, Cl₂ и их смеси | | Материал контактных поверхностей | Нерж. сталь (SUS316L), фторполимеры (PTFE/PFA) | | Рабочее давление | До ~ 0.2–0.7 МПа (в зависимости от узла) | | Диапазон рабочих температур | 5–80 °C | | Чистота поверхности | Ra ≤ 0.4 µm (EP-grade) | | Утечка (Helium leak rate) | ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s | | Срок службы | По регламенту ТО оборудования (обычно 6–12 мес.) | | Страна происхождения | Япония |

⚠️ Окончательные параметры подтверждаются спецификацией TEL — артикул относится к закрытому списку BOM, и точные размеры/исполнение сообщаются только сервисным инженерам TEL или через New Release BOM.

Совместимые модели оборудования (ориентировочно)

Как оригинальная деталь TEL, 2110-369191-11 применяется в платформах:

• Tokyo Electron Clean Track серий: ACT 8, ACT 12, Lithius, Lithius Pro, Clean Track CT3, CT4, CT5
• Etch-системы: UNITY II, UNITY Me (для узлов газораспределения)
• CVD / PVD модули: от TEL серии Triase+ , Trillium
• Alpha / Alpha-Q серии (и диффузионное оборудование)

Парт-номера кросс-совместимости (смежные позиции 2110-серии):

• 2110-369191-xx (вариации ревизий, где xx — номер версии)
• Заменяющие номера обычно указываются в Service Bulletin TEL
• Может встречаться аналог: TEL P/N 2110-369191-12 / -13 (последующая ревизия)

❗ Для точной совместимости необходимо использовать TEL Field Service Manual и BOM конкретного серийного номера.

Условия поставки и применение

• Установка — только квалифицированным персоналом TEL (полевой сервис).
• Не подлежит промывке/повторному использованию в критичных узлах.
• Требуется идентификация: маркировка лазером на корпусе (P/N + S/N).
• Не входит в категорию ФСТЭК, но при пересечении границы возможен экспортный контроль (двойное назначение).

Примечание относительно источника артикула

Публичные кросс-справочники (e.g., Ensil, Sunlink, ATRP, Pacific Semiconductor Parts) индексируют этот артикул частично. Полный description обычно приводится как: «GAS LINE COMPONENT, PN 2110-369191-11, TEL OEM». Для любого заказа ключается проверка через аккаунт-менеджера TEL.

Если необходимо — уточните серийный номер установки (Tool ID), и я подготовлю более точный лист совместимости.