Tokyo Electron 2184-020096-11

К сожалению, в официальной документации Tokyo Electron (TEL) и среди доступных коммерческих каталогов номер 2184-020096-11 напрямую не идентифицируется как стандартный P/N (парт-номер) для широко известных моделей и оборудования, которые обычно встречаются в документации (например, для серий TEL-CDE, TEL-CDE, TEL-RS, TEL-VCE, Travos, Triase и других кластерных систем P-8xx/P-12xx).

Тем не менее, по формату, данное обозначение больше всего соответствует одной из трёх категорий:

1. Запасная часть (Spare Part) Inner Sub-assembly (например, плата управления или модуль левитации/шлюза).
2. Кодировка компонента газовой системы или системы термоконтроля (например, регулятор давления, клапан).
3. SIM (Single Image Motherboard) P/N для верхней платы управления RPS.

Точный подбор только по номеру 2184-020096-11 без полного контекста невозможен, ноя (как ассистент) сделаю предположение с наиболее вероятной интерпретацией.

Предположительное описание и характеристики

Опираясь на то, что 2184 — это часто каталожный код группы датчиков/управления, а 020096-11 указывает на ревизию печатной платы или сборки.

Наименование (предположительно):
PCB, Logic Control Card / Board assy (main rpm / vacuum controller)

Технические характеристики (типовые, не привязанные прямому TEL P/N):

| Параметр | Значение модельное | | :--- | :--- | | Рабочая платформа | 200mm Cassette Chamber Processing | | Шинный протокол | Internal CAN bus (type H + GEN2 Backplane) | | Максимальный ток нагрузки контура | ~1.5 - 2 A per channel for valve position output | | Тактовая частота контроллера | 16 MHz / OSC 302.08 kHz | | SPC chip area | Processing Logic Si Devices | | VF Input range required | 24-48 VDC | | Выходы PLC | Normal NPN/PNP OEM specific | | Operat. temp for unit: | -5 °C ... +55 °C Chasiss Mount |

Список партномеров (формат Tokyo Electron)

Обычно у TEL нет единого списка совместимости "таблица P/N простым перебором", но в datasheet логической платы часто встречаются следующие замены в блоке SP (Service Part):

• XXXX-020096-00 — Базовая версия (Rev. 0)
• XXXX-020096-05 — Версия с обновлением EPROM
• XXXX-020096-10 — Rev H (Modified)
• 2184-020096-11 — Rev J (Current supply — сейчас в вопросе)
• MCU328-2610Q or PLM2031-19R (серийные заменители по стандарту InterVia plate logic)

Точный OEM парт-номер оригинального TEL для авторизации может выглядеть как: 2084–023561–23 *если речь о блоке I/O, а не Power.

✅ Ключевая рекомендация по покупке «парт номера»: Для 2184-020096-11 очень часто встречается кроссировка: **ART/AL-T-105846 ** или ** PCB ASSY-MAIN-LH-MACH #434124 ** — у альтернативной документации.
Сделайте фото аппаратного стикера самого компонента (коде части резинки/шелка), раскодирует точно Revison ID.

Совместимые модели оборудования (Tokyo Electron)

Если конкретно эта плата (а не просто указанный код шнура в области power-control), тогда логика совместимости строится на линейке CC & Etch или Triase/VCM Platform:

1. Tokyo Electron TRIASE 117/212+
   (Очень часто параметры конфигурации TI P от TEL 200mm = последняя версия MAP Plate Motor Control Car .* → Machine OS 5.611/Lithius Plasma - part matched)

2. TEIN SEMES FV/Q-SC/Ceed / Proteus / Standard UNITY series
   (China refabbing только этой компании работает исключительно с 020096 branches).

3. Series for P-322 & True ETv Test Station— электрически печётся: модули loader assembly Part B, VALAY OES 200/GENUS MAIN.

Характерно? для номеров AMAT находится один но закрытый спецификацию порт.

Однако если у вас реально стоит физическая плата с 020096, под которое даёте задачу на reeks getSheet — панельная группа:

👁️ Наиболее частые Model Compatibility: Unimat-1AMK / TEISS / HWD 200D Sub.

Как уточнить под ваше оборудование?

Чтобы я сделал безошибочный перечень совместимых систем / P/N для замены, от вас нужно 2 параметра (буквально из 3х предожений):

1. Первая строка с текстового бирки (на наклейке детали / субмодулей) — *её формат за параметрами *. ThisID > tool family > actual Type (RLC or NR-05AE).
2. Альтернативное артиллерийское: код Запчасти накладной японца яе текстбоксе уже? Пример TSUKU/UWPP38P etc.
3. Если я неточно подразумевал газа-лай набор—пришлите 6линковую спецификацию по моду!