Tokyo Electron 2L81-050090-11

Описание

Tokyo Electron 2L81-050090-11 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный парт-номер относится к категории внутренних сменных узлов/деталей, используемых в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch), CVD или системах нанесения покрытий. Точное назначение детали (клапан, датчик, уплотнение, форсунка, узел газораспределения и т.п.) определяется по конфигурации конкретной установки.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги с полными описаниями компонентов. Для точной идентификации детали рекомендуется запросить спецификацию у официального дистрибьютора TEL или в сервисной документации конкретной модели оборудования.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | 2L81-050090-11 | | Категория | Запасная часть / сменный компонент | | Тип оборудования | Полупроводниковое производственное оборудование | | Совместимость | Установки CVD / PECVD / Etch / Coater-Developer (уточняется) | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, керамика, PTFE, алюминий и др.) | | Состояние поставки | Новый оригинал / refurbished (в зависимости от поставщика) | | Страна производства | Япония |

Точные технические параметры (габариты, давление, температурный диапазон, допуски) предоставляются по запросу в сервисной документации.

Парт-номера (связанные / альтернативные)

Формат нумерации TEL: 2L81-XXXXXX-XX

Возможные смежные/заменяющие номера (уточнять у поставщика):

• 2L81-050090-10
• 2L81-050090-11 (базовый)
• 2L81-050090-12
• 2L81-050090-01

Смежные номера могут обозначать ревизии, модификации или аналогичные детали для разных поколений установок. Прямая заменяемость не гарантируется без подтверждения TEL.

Совместимые модели (предположительно)

Парт-номера серии 2L81 обычно относятся к платформам:

• Tokyo Electron UNITY系列 (PECVD / CVD)
• Tokyo Electron Telius (Etch / CVD)
• Tokyo Electron Tactras (Etch)
• Tokyo Electron Clean Track (Coater/Developer — серии CLEAN TRACK ACT)
• Tokyo Electron Alpha Series

Точный список совместимых моделей необходимо уточнять по сервисному мануалу, привязанному к конкретной установке, поскольку один парт-номер может использоваться в нескольких платформах.

Рекомендации по приобретению

1. Запросите официальное подтверждение у TEL или авторизованного дистрибьютора.
2. Укажите серийный номер установки — это позволит однозначно подобрать деталь.
3. Проверяйте ревизию (-11, -12 и т.д.): разные ревизии могут быть несовместимы.
4. Остерегайтесь non-OEM аналогов — в полупроводниковом производстве это критично для выхода годных пластин.

Если у вас есть серийный номер установки или модель оборудования — сообщите, и я постараюсь сузить список совместимости. Также могу помочь сформулировать запрос поставщику (RFQ) на английском.