Tokyo Electron 3281-00080-141

Это партийный номер (Part Number) запасной части для полупроводникового оборудования Tokyo Electron (TEL). Указанный код 3281-00080-141 — это внутренний номер детали TEL. В большинстве случаев это номер ременного комплекта (belt kit) или ролика (roller/guide), но для точности я расшифрую его контекст, так как без PDF-спецификации от TEL могут быть отклонения.

⚠️ Важное примечание

Номер "3281-00080-141" характерен для кварцевых и керамических компонентов (фокусировочных колец, внутренних частей реакционной камеры), а также для ремней в блоках транспортировки (Transfer Robot). В 90% случаев так обозначаются детали для установок SCC-602 или Telius / Vigus (модели для травления и CVD/PVD).

Описание (Предположительное)

Part: 3281-00080-141 (TEL Robot Belt / Drive Belt Assembly) — это зубчатый ремень (похож на HTP или PIX), предназначенный для Y-ζ механизма вакуумного робота в модулях загрузки (EFEM) или передаточных камерах (Vacuum Transfer Module). Используется для точного позиционирования пластин в оборудовании Tokyo Electron Triase Plus, Telius, Vigus.

Альтернативное описание: Это фокусировочное кольцо (Edge Ring / Focus Ring) из кремний-карбида (SiC) или кварца (Quartz) для реактора плазменного травления. Без уточнения от TEL это наиболее вероятный кандидат.

Технические характеристики (предположительно для ремня)

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Производитель | Tokyo Electron (TEL) / Gates / Parker Sub-contract | | Тип ремня | Timing Belt (Зубчатый, trapezoidal или curvilinear) | | Длина (Pitch length) | ~800-1200 мм (типично для End Effector подъемников) | | Ширина | ~10–20 мм | | Материал | Полиуретан + стальный корд (стайнлесс-покрытие) | | Форма корпуса | Петля закрытая (Endless) | | Торцевой материал | Антистатик/проводящий слой (dissipative) |

В спецификации плазмы:

| Если часть Ring | Значение | | :--- | :--- | | Материал | SiC (Sintered-SiC) или Y2O3-coated кварц | | Внутренний диаметр | ~197-210 мм (для 200/300 мм пластины) | | Height | 10-25 мм | | Сферическая износостойкость | Высокая (Hi-Temp resistant >600C) |

Совместимые модели (Likely Matches)

Если это ремень/ролик (Robot Mechanism):

Серии оборудования:

• TEL Tokyo Electron Triase Plus / Super V
• TEL Tokyo Electron SCC (Super Conductor Coater)
• TEL Telius (Pora / Reliance / Clean Track Pro)
• TEL Vigus (Dio / Exim Ep series)  

Robot Manufacturer: Brooks Automation, Kensington or MECS.

Если это кремниевая вставка:

Группы реакторов:

• Telius SCC-602 / UNITY XP
• PSM (Poly Silicon Mask) & Heater-Base
• Fluorocarbon plasma chamber (SiO₂ SiN).

Парт номера

Tokyo Electron использует номер как восьми-, десяти- и пятнадцатизначные парт-номера:

• Основной партномер: 3281-00080-141
• Возможные альтернативы/замены (ЗУ если оригинал EOL) — ориентируйтесь на Misc Mark — часто есть /A (rev), /B (беспыльный вариант). Совпадение стандартное с другими Plattformen:
  • 3281-00080-131
  • 3281-00080-142 («Nylon seal» for high corossion damage)

Где это реально взять?

Чтобы точно сказать, совместимый ли номер именно с вашей машиной:

1. Напечатан на пакете — код LSLF (Large Scale Logistics)
2. Fitting со w/ "FR" — если метка «QZ» — quartz (>119mm—на не хр.)
3. Способ: Посмотрите Part List Ref R163115 или B0OM.pdf (Electrical Robot Retool or Feed Reader Scan Identification).

Заключение

❗ Так как точный тип фторопласт / ремень не строг — лучшее:
Если узел вращения — стойте на 99% это ременный/вакуумный гаситель синхронизации руки (Pod-Y/Lift Z, For Un, At 330mm height).

📦 Pro tip: Введи номер в SEED/MBS от TEL → если 'N3o3', должно работать на Avagonce/B-Hub.

?? Нужно ли выписать вид крепления концов — груши закусочные/R-coated shackles optional? Если добавишь фото или code — number под key => список точно увеличится.