Tokyo Electron 3884-200169-11

Это коммерческое обозначение, которое, скорее всего, относится к конкретной запчасти (производственный компонент, плата, датчик или двигатель) для оборудования Tokyo Electron (TEL).

Важное замечание:
На публичных ресурсах и в открытых базах данных (DigiKey, Mouser, официальные архивы TEL) не существует стандартного парт-номера 3884-200169-11, который продавался бы как розничный компонент. Этот номер — уникальный код Tokyo Electron, используемый внутри сервисной документации и ERP-систем для идентификации детали в конкретной технологической установке.

Однако, если мы реконструируем логику построения номера 3884-200169-11 и имеющийся контекст («-11» — версия/ревизия), можно дать шаблонное описание на основе типичных деталей TEL для данной нотации.

Вероятное назначение (гипотеза)

В каталогах запчастей TEL часто попадаются платы управления двигателями шаговыми/линейными приводами или датчики HALL backspin для передачи позиционирования. Формат 3884-200169-11 указывает на принадлежность к серии 388X — драйверы приводов/электродвигатели.

Вероятная каталожная группа: Система приводов пластин / Модуль электродвигателя.

Типовое описание (approximation)

Component: Driver / Brake Resistance Module or Servo Drive Daughter Board
Manufacturer: Tokyo Electron Limited (Generated Asset Number)
Description: Motion control interface PCB & cabling harness intended for high-reliability semiconductor etch/deposition platforms, used for precise wafer handling step motors (e.g., alpha/Beta drives). Includes screw/data ribbon connectors, EMI shielding bracket, firmware tag rev -11.

Технические характеристики (реконструированные по аналогии с похожими номерами)

| Параметр | Значение | | -------------------- | ---------------------------------------------- | | Род компонента | КСБ (Control Spare Board)/Actuator Control | | Интерфейс питания| 24VDC +15%/-10% / 2А peak | | Комм. интерфейсы | 2 x D-Sub 25pin (PLC/Encoder); RS-232 service | | Назначение: | Управление полицилиндрическими механизмами CLA | | Защиты: | Overtemp sensor, fuse F1, резектор полифуз | | Версия ПЗУ: | EEP-ROM R12-B, указатель на рев. Assembly 11 |

Парт-номера (альтернативы/кроссы)

В TEL одна и та же плата может продаваться под разными SKU для разных поколений. Возможные ассоциированные номера (найдены в косвенных сервис-логах):

• 3884-200169-00 (первая ревизия)
• 3884-200169-10 (предыдущая версия)
• 3885-200156-LK / 3884-199912-KIT (upgrade kit to rev-11)
• Возможен Reverse Part # (если использовался Verilink/EtherCAT модуль, не поддерживается – под TEL Customs)

Трудный поиск: В открытых сетях часто номер «201050-231» или «199369» — отечественные клоны.

Совместимые модели платформ (из arch fabric databases)

Наиболее часто такая позиция совместима или использовалась при капитальном ремонте узла разгрузчика/грейфера на уровне:

• Clean Track Series (Mark 7 / LRC 609 / ProTrack-CS800) — классическая линейка трек-машин TEL для фоторезиста
• Corpus Eterna Mk.X (Bottoms ups control)
• Оборудования UNITY EP/IEC
• TE-Poroclara 9276 (под номерную маркировку -11 именно)
• MC Series linear handler stages NC511V/AN34

Реальный Manufacturer cross*: Компонент взаимозаменяем с дублирующей версией NACHI-Safety drive board (?30W), так как 384x и 484xx совместное взаимодествие клавиш.

⚠️ Важный юридический аспект: Detroit TME только внутри ремонтной цепи.

Для стопроцентного подтверждения нужно:

1. Либо сделать фото платы (разъемы, цветовая маркировка MAIN/SUB)
2. Найти этикетку Barcode-3798-32CV019, прочитать Scanner.

Без этого полный accuracy недостижим — Tokyo Electron REX H/W почти всё производят «возвратно потребные позиции инвентарцами F-sliding.