Tokyo Electron 3D8I-000044-V3

Описание

3D8I-000044-V3 — это OEM-компонент (запасная часть) производства Tokyo Electron (TEL) — японского производителя оборудования для полупроводниковой промышленности. Данный артикул относится к категории внутренних деталей/узлов, используемых в технологическом оборудовании TEL (плазменные травители, системы CVD/PVD, установки нанесения фоторезиста и прочие модули кластерного типа).

Компонент поставляется как оригинальная сервисная запчасть для замены изношенных или вышедших из строя элементов в соответствующих инструментах. Точная функциональная принадлежность (например, деталь газораспределительной системы, элемент камеры, узел робота-манипулятора или электрический компонент) определяется по конфигурации конкретной установки.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые спецификации на внутренние парт-номера. Полная техническая документация (drawing, spec sheet) доступна только авторизованным сервисным партнёрам и через TEL Customer Support / MyTEL портал.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 3D8I-000044-V3 | | Тип изделия | OEM service part (внутренний компонент оборудования) | | Ревизия | V3 | | Категория | Semiconductor manufacturing equipment spare part | | Совместимость | Определяется по конкретной платформе TEL (см. ниже) | | Страна производства | Япония (как правило) | | Условия поставки | Оригинальная упаковка TEL, сервисный канал |

Точные электрические/механические параметры (габариты, материал, допуски, рабочее напряжение и т. д.) — только по запросу в TEL или у авторизованного дистрибьютора.

Парт-номера (варианты написания / связанные)

• 3D8I-000044-V3 — основной артикул
• 3D8I000044V3 — без дефисов (встречается в ERP-системах)
• 3D8I-000044 — базовый номер без ревизии
• Предыдущие ревизии (V1, V2) — как правило, заменяются на V3 (superseded)

Список cross-reference/эквивалентов официально не публикуется; подбор осуществляется через TEL e-Service или сервисного инженера.

Совместимые модели (ориентировочно)

Парт-номера серии 3D8I традиционно ассоциируются с оборудованием TEL следующих платформ (уточнять по конкретной конфигурации):

• Tactras (плазменное травление)
• Telius (плазменное травление / CVD)
• Trias (установки травления)
• Clean Track серии ACT / CLEAN TRACK LITHIUS (нанесение/проявление фоторезиста)
• INDY / OXYGEN / Alpha серии (по конфигурации)
• Отдельные модули сoater/developer и etch кластеров

⚠️ Точная совместимость с конкретной моделью/годом выпуска должна подтверждаться по сервисному мануалу установки (обычно через раздел "Spare Parts List" с указанием serial number инструмента). Универсального публичного списка совместимости для данного артикула не существует.

Рекомендации по приобретению

1. Запросить datasheet и drawing у TEL Customer Support (портал MyTEL) или у авторизованного сервис-партнёра.
2. Сверить артикул с Spare Parts List конкретной установки (по её serial number).
3. Проверить актуальность ревизии (V3 может быть заменой V1/V2 — уточнить supersession).
4. При покупке на вторичном рынке — требовать фото маркировки и подтверждение оригинальности (TEL активно борется с контрафактом).

Если у вас есть конкретная модель установки TEL (например, Tactras Vigus, Telius SCCM, Lithius Pro) — уточните, и я попробую сузить область применения компонента. Также могу помочь составить запрос в TEL на официальную спецификацию.