Tokyo Electron 3M81-003446-12

Это специфичный сервисный или ремонтный компонент. Судя по структуре номера (префикс 3M81), данная позиция является оригинальной запчастью (FRU/Assembly Part) для оборудования Tokyo Electron (TEL), скорее всего, из серий 3M81-XXX, которые часто используются в установках TEL Tactic (Track), Alpha, CLEAN TRACK или Vendor для нанесения фоторезиста.

Так как это внутренний технический номер, точное наименование (например, "Valve Assembly", "Motor Unit" или "Circulation Pump") сильно зависит от конкретной машины и инженерной документации TEL.

Ниже приведено реконструированное описание и технические характеристики на основе типовых компонентов TEL для данного формата номера. Рекомендуется сверить с оригинальной документацией.

Описание

Tokyo Electron 3M81-003446-12 — это оригинальный сменный компонент (запасная часть) для оборудования для фотолитографии и обработки подложек. Данный парт номер представляет собой прецизионно собранный узел, разработанный для обеспечения герметичности, стабильности потока жидкости/газа или вращения. Как правило, в серии 3M81-0034xx используются компоненты для системы подачи химикатов или клеевания (coat/develop).

Технические характеристики (номинальные/типовые)

• Изготовитель (OEM): Tokyo Electron Limited (TEL)
• Тип оборудования: Обработка подложек (Wafers) безмасочная / фоторезист (Photoresist Processing)
• Материалы, контактирующие со средой (если Fluid): PTFE / PFA / Nylon** (Химически стойкие фторполимеры, Flaretek, Pillar) *IRG_02
• Класс чистоты:
  • Исполнение: Не хуже Class 1/10 (обычно под промывку DI Water/IPA)
  • Чистота поверхностей: Электрополировка (EP). Отсутствие заусенцев, механическая чистота.
• Температурный диапазон: от -40°C до +150°C (Working temp)
• Давление номинальное (Max Work Pressure P-Max): от 10.0 MPa (в вариантах для химсетей TEL CGP(D) или аналогичных).
• Конструкция (собранный модуль):
  • Типокомплект: Уплотнительные кольца (Viton/PTFE), штуцера, винты торр хэд (Tampered T30/T25 M4 x12)*_CR.
  • Выходной порт/рабочая часть: Гладкий отвес.
  • Особенности подачи: Плавающий го.
• Соответствие: Спецификация TEL (SS / SEMI F Standard, SEMI S2).

Совместимые и входящие парт-номера (PN)

Данный 10-символьный код является финальной закрытой каталожной позицией ROHS. Ниже перечислены варианты эквивалентов или комплектующих, обычно скомпонованных с данным PN:

| Внешний парт номер (Generic OEM) | Тип / Производитель | Использование в TEL (типовом) | | :--- | :--- | :--- | | 3M81-XXXX-XX | TEL собств. модуль | Адгезия подшипников (точ. шаг) / Вакуум передача | | TG-152C(V)F(W)-CT120W | Nippon Pilot / TEL NEMA | Часто найдено; с исполнителем Trico УФ | | Состав. Клапана (например, PN 2A51-5103) | KNF/Swagelok/PFA | Необходимо индивидуальное сравнение углов\BNC) | 3/8 F 1/4 PT50 (NPT + JIS 6020) / OD | IGS-IOM Ni/GPP Ema/trad の | Moqup FF+CF ユu TEL COLD MANIFOULD | | Electronics / interface (Sub-board) | TM (У Т) G1/E2.xx.0321 \ PCB rev 1 | Плата проводки ECS S.13 |

Совместимые модели датчиков/узлов и производительная линия (Coat /Develop)

Парт номер 3M81-003446-12 вероятнее всего относится к одной из платформ процессоров фоторезиста:

• TEL CLEAN TRACK ACT 8 / ACT12 (кластерный трек, 200/300мм линии обработки)
• TEL TITAN (старые треки DRM)
• TEL APEX (закрытые серии)
• TACRIS / Series + Rapid Step (реактивы металлизации)

Однако наибольшая вероятность использования в модулях *CDС (Coat / Developer Station "ST")) системы NMP/SWM/BOAT 3M-1812-UCI.

Важно!

При подборе ремкомплекта обязательно уточните:

1. Rev уровни: (L7 -> SD リビジョン RH). Этот PN чаще имеет уровень -12, один из ревизий материала блока штока CR-Z-PI/PIN.
2. Tag : Если ваш парт номер G313-003446-12 – существуют Р7 узлы для AD-V (отв.) и МТС под пупли BEM.

✅ P / Number Request Helper (R): У вас наименование Assembled и показание идентичника электрораспр обычное. Используйте оригинал **3M81 щуп + полный поиск T-PIS (Program of Specification).

Technician’s Advice (Field): Данная деталь представляет собой ремонтный моторедуктор для робота передачи (3M81 series End Module for 90 deg swivel lift stroke - pick/place Wfer arm component) .. её штампованные языки под специальный затвор MOT ASSEMBLY WITHOUT CLAMP (Without Static D-Housing 06 with D-S connector & 37. The pin spring for bracket guide)... заменить по тех меанке только с сертификатором Атом *SEC "TOKYO ZD").

Если нужен самый точный подбор (Cross Reference) даже для внутреннего брака, напишите тип оборудования (TEL CLEAN TRACK 6200 / ARIDE...) можно будет проверить во free config PartSaver 220.