Tokyo Electron 3M81-019866-11

К сожалению, по имеющимся у меня данным, не удалось найти специфической информации о модели "Tokyo Electron 3M81-019866-11".

Этот номер выглядит как внутренний серийный номер (Serial Number) или номер партии (Lot Number) конкретного экземпляра оборудования или крупного узла, а не как модель или парт-номер детали. Tokyo Electron (TEL) — один из крупнейших в мире производителей полупровододникового оборудования, и их продукты имеют совершенно другую систему обозначений.

Вот как можно интерпретировать этот номер и где искать нужную информацию:

Расшифровка номера 3M81-019866-11

• "3M81": Скорее всего, это код модели основного оборудования (например, платформы для нанесения покрытий/лаков, проявителя, травления). Это ключевая часть для поиска.
• "019866": Вероятно, это уникальный серийный номер устройства.
• "11": Может указывать на версию, модификацию или доработку.

Что это, скорее всего, может быть?

Основываясь на префиксе "3M", это оборудование, вероятно, относится к одной из следующих линеек TEL:

1. Track System (Покрытие резистом и проявление): Например, модели серии CLEAN TRACK™ ACT (ранние или специальные версии могли иметь подобную нумерацию). "3M" может указывать на конкретную платформу, например, для 300 мм пластин.
2. Система для нанесения покрытий (Coater).
3. Система проявления (Developer).

Как найти точное описание и характеристики?

1. На шильдике оборудования: Найдите основную табличку (nameplate) на самом аппарате. Там будет указано:

   • Модель (Model): Например, ACT 8, CLEAN TRACK ACT 12, LITHIUS Pro™ Z-EDGE и т.д.
   • Тип (Type): Например, Coater, Developer, Coater/Developer Track System.
   • Парт-номер (Part Number): Обычно начинается с G, E, или Z (например, G1234567).

2. В технической документации: Руководство пользователя, паспорт или каталог запасных частей (Parts Catalog) всегда содержат точное наименование модели и список парт-номеров.

3. Обратиться напрямую: Запрос в сервисную службу Tokyo Electron (TEL) или к официальному дистрибьютору является самым надежным способом. Им потребуется именно этот серийный номер.

Предположительное описание (на основе типового оборудования TEL Track System)

Если это действительно платформа типа Track System, то:

Общее описание: Автоматизированный комплекс для обработки полупроводниковых пластин (обычно 300 мм) в процессе фотолитографии. Обеспечивает нанесение фоторезиста (Coater), термообработку (Bake), охлаждение (Chill) и проявление (Developer) с высокой точностью и воспроизводимостью.

Примерные технические характеристики (могут сильно варьироваться):

• Тип обработки: Нанесение покрытий, проявление.
• Размер пластины: 300 мм (вероятнее всего).
• Производительность: До 150-200 пластин в час (в зависимости от рецепта).
• Точность дозирования: Высокая, в пределах долей микролитра.
• Однородность покрытия: < 1-2 нм (на 1 сигма).
• Интерфейс: Интеграция с кластерным инструментом через стандартный интерфейс (SEMI E84, E87).
• Программное обеспечение: Проприетарное ПО TEL для управления рецептами и процессом.

Парт-номера и совместимые модели

Без точной модели оборудования предоставить список парт-номеров невозможно. Каждый узел (насос, клапан, датчик, плата управления, механическая часть) имеет свой уникальный парт-номер TEL.

Совместимые модели обычно относятся к одному семейству оборудования (например, разные конфигурации CLEAN TRACK ACT 8 или LITHIUS Pro). Запасные части часто взаимозаменяемы внутри одного поколения и платформы.

Рекомендуемые действия:

1. Определите основную модель оборудования по шильдику.
2. Используйте для поиска документации или запросов комбинацию: "Tokyo Electron" + [Модель], например, "Tokyo Electron ACT 8 manual".
3. Для заказа запчастей или получения точных спецификаций обратитесь к поставщику оборудования с указанием полного серийного номера (3M81-019866-11) и модели, найденной на шильдике.

Если вам удастся найти основную модель, я смогу помочь с более конкретной информацией.