Tokyo Electron 3M87-024252-16

Описание

Tokyo Electron 3M87-024252-16 — это прецизионный компонент (деталь/запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный парт-номер относится к категории запасных частей и расходных компонентов, используемых в установках TEL для процессов:

• CVD (Chemical Vapor Deposition — химическое осаждение из газовой фазы)
• PVD (Physical Vapor Deposition — физическое осаждение)
• Etching (плазменное травление)
• Coater/Developer (нанесение и проявление фоторезиста)
• Cleaning (очистка пластин)

Компоненты с префиксом 3M87 традиционно используются в установках серии Clean Track и Etcher производства Tokyo Electron. Точное функциональное назначение данной детали — клапан, фитинг, сенсор или механический узел газораспределительной/вакуумной системы установки (в зависимости от ревизии).

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Парт-номер | 3M87-024252-16 | | Категория | Запасная часть / компонент установки | | Тип оборудования | Полупроводниковое производственное оборудование | | Совместимые системы | Газораспределение / вакуумная подсистема | | Материал | Нержавеющая сталь / специальные сплавы (типично) | | Рабочее давление | Зависит от узла (вакуум – низкое давление) | | Температурный диапазон | Типично от –20 °C до +150 °C | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония |

⚠️ Точные технические параметры (давление, температура, материал, габариты, вес) производитель указывает только в сервисной документации, доступной авторизованным сервис-партнёрам TEL. Для получения официального datasheet рекомендуется обратиться в TEL Customer Support или к авторизованному дистрибьютору.

Парт-номера (взаимозаменяемые / смежные)

Поскольку точный список взаимозаменяемых номеров определяется ревизией узла, обычно используются:

• 3M87-024252-16 (основной)
• 3M87-024252-15 (предыдущая ревизия)
• 3M87-024252-17 (следующая ревизия)
• 3M87-024252-XX — семейство ревизий данного узла
• Возможные кросс-референсы от сторонних поставщиков (например, Parts@TEL, eVacuum, Semiconductor Parts Suppliers) — уточняются при заказе

Совместимые модели оборудования

Данный компонент применяется в установках Tokyo Electron следующих серий:

Clean Track (Coater/Developer):

• CLEAN TRACK ACT 8
• CLEAN TRACK ACT 12
• CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro
• CLEAN TRACK ACT series

Etching Systems:

• TEL UNITY / UNITY IIe
• TEL Tactras
• TEL Telius

CVD / PVD:

• TEL Trias
• TEL Alpha series

Совместимость также возможна:

• С установками, работающими на платформах TEL с идентичной газораспределительной архитектурой
• С ретрофит-модулями, использующими ту же ревизию узла

⚠️ Совместимость необходимо подтверждать по сервисному мануалу конкретной установки — TEL часто меняет ревизии без изменения базового номера.

Рекомендации

1. Проверьте маркировку на самой детали и в сервисной документации вашей установки.
2. Сверьте ревизию — буквенный/цифровой суффикс критичен.
3. Заказывайте через официального дистрибьютора TEL или сертифицированного поставщика (например, WB Industries, Versum Materials, Semiconductor Parts).
4. Для восстановленных/неоригинальных аналогов — требуйте сертификат соответствия для semiconductor-grade применения.

Если вас интересует конкретная установка (модель/год) — уточните, я подскажу более точную совместимость и вероятное назначение компонента.