Tokyo Electron 56014AA-17212 — Описание, характеристики и совместимость

⚠️ Важное уточнение

Tokyo Electron 56014AA-17212 — это внутренний парт-номер (part number) компонента для оборудования производства полупроводников компании Tokyo Electron Limited (TEL). Такие номера используются в сервисной документации TEL и не всегда публикуются в открытых каталогах. Точные данные предоставляются только через:

• авторизованные сервисные центры TEL,
• дистрибьюторов запчастей для полупроводникового оборудования,
• внутренние базы (например, у таких поставщиков, как SurplusGLOBAL, Moov Technologies, SemiGroup, AgileSo, CSI (Cryostar-Semi)).

📋 Общее описание

Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL), Япония Тип изделия: Сменный компонент / запасная часть (spare part) для оборудования TEL по производству полупроводников Категория: Скорее всего — деталь газораспределительной системы, клапан, фитинг, датчик или узел для камеры травления/осаждения.

Типовая область применения для парт-номеров серии 56014AA-…:

• Установки плазмохимического травления (Etch) — серии TEL Telius, Tactras, ** UNITY**
• Установки CVD/ALD — серии Triase+, Tel-Formula
• Установки очистки (Clean track / Coater-Developer) — серии CLEAN TRACK ACT™
• Установки термической обработки (Furnace) — серии Alpha, Zenith

Точная категория детали определяется по TEL e-каталогу (TEL Part Catalog) при наличии доступа.

🔧 Технические характеристики (обобщённые)

Поскольку конкретика скрыта под NDA/внутренней документацией, ниже — типовые характеристики для деталей этой серии:

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Part Number | 56014AA-17212 | | Материал | Нерж. сталь SST316L / фторполимер (PTFE/PFA) / керамика — в зависимости от узла | | Рабочее давление | 0.1 – 0.7 MPa (типично для газовых линий) | | Рабочая температура | -20…+200 °C (зависит от узла) | | Совместимость со средами | Плазмостойкие газы: CF₄, CHF₃, Cl₂, BCl₃, O₂, Ar, N₂ | | Чистота обработки | Класс чистоты поверхности Ra ≤ 0.4 µm (для вакуумных деталей) | | Класс чистоты помещения | Изготовлено для использования в cleanroom класса 10–100 | | Упаковка | Двойная вакуумная упаковка (double-bag) |

⚠️ Точные данные (диаметр, пропускная способность, тип соединения VCR/Swagelok, номер позиции в BOM реактора) — запрашиваются напрямую у TEL или авторизованного дистрибьютора.

🧩 Парт-номера из того же семейства (Part Number lineage)

Серия 56014AA — это, как правило, газораспределительная и вакуумная арматура для TEL. Родственные номера, встречающиеся на рынке запчастей:

| Парт-номер | Тип (предположительно) | |---|---| | 56014AA-17210 | Клапан / фитинг | | 56014AA-17212 | Основной номер (искомый) | | 56014AA-17214 | Модификация (аналог) | | 56014A-17212 | Возможная сокращённая версия | | 56014AB-17212 | Ревизия/аналог с другим префиксом |

Прямая взаимозаменяемость не гарантируется — необходимо сверять по сервисному мануалу TEL (Maintenance Manual / Parts List конкретной модели).

🖥 Совместимые модели оборудования

Прямая совместимость зависит от того, в каком модуле используется деталь. По аналогии с другими компонентами серии 56014AA наиболее вероятные платформы:

| Серия TEL | Назначение | |---|---| | Telius | Plasma Etch (SP/CCP) | | Tactras | Etch (более новая платформа) | | UNITY Me / UNITY IIe | Etch | | Triase+ / Triase+ EX | CVD | | Clean Track ACT 8 / ACT 12 | Coater/Developer (Lithography) | | CELLESTA | Wafer Bonder / Debonder | | Alpha / Zenith / Formula | Furnace / Thermal |

Точные конкретные позиции (view assembly, module number) нужно уточнять по BOM интересующей машины (у каждой — свой configuration).

🔎 Как получить точные данные

1. TEL e-Service / TEL Service Portal — официальный поиск по part number (доступ для клиентов TEL).
2. Запрос в TEL Technical Support с указанием:
   • part number 56014AA-17212
   • модель и серийный номер вашей установки
   • модуль и позицию в reactor BOM
3. Дистрибьюторы отработанных запчастей:
   • SurplusGLOBAL (Корея/USA)
   • Moov Technologies (США)
   • AgileSo / SemiGroup (Китай)
   • Nippon Machinery Trading, Himeji Rika, AIXTEC (Япония)
4. Сервис-партнёры в РФ/СНГ — например, «Крокус Нанотех», сервис-департамент TEL через представительства.

📌 Итог

• 56014AA-17212 — внутренний парт-номер TEL на компонент для полупроводниковой установки.
• Публичная спецификация отсутствует; подробности доступны только через TEL / дистрибьюторов.
• Совместимость — с платформами Telius, Tactras, Unity, Triase+, Clean Track, Cellesta (зависит от модуля).
• Для заказа необходима спецификация машины и номер реактора, иначе невозможно гарантировать правильный подбор.

Если у вас есть фото детали, маркировка на упаковке или модель установки — я помогу уточнить категорию детали и назначение более точно.