Tokyo Electron 9M200A

Tokyo Electron (TEL) 9M200A — это высокоточный кластерный инструмент для нанесения тонких плёнок (PVD / Sputtering), разработанный для производства полупроводниковых пластин диаметром 200 мм (8 дюймов).

Это оборудование представляет собой модульную систему физического осаждения из газовой фазы (Physical Vapor Deposition), которая используется для формирования слоёв металлов, барьеров и диффузионных покрытий в процессах front-end и back-end производства микросхем. TEL разработала эту серию для задач, требующих высокой однородности толщины, низкого уровня загрязнений и высокой воспроизводимости.

Общее описание

Модель 9M200A относится к семейству универсальных PVD-кластеров. Основное назначение — осаждение металлических плёнок:

• Тугоплавкие металлы: Ti, Ta, W, Co, Ni, Al, Cu.
• Нитриды и силициды: TiN, TaN, WN, CoSi₂, NiSi.

Ключевые особенности:

1. Модульная архитектура: Инструмент состоит из Transfer Chamber (загрузочного шлюза через Load Lock) и нескольких трёх- или четырёхкамерных модулей (PV Modules), что позволяет параллельно выполнять процессы Pre-Clean (очистка), Deposition (осаждение) и Degas в одном цикле.
2. **Система очистки (Clean):**Часто включает в себя модуль MMP-tcleai, совмещённое механическое удаление сателлитного слоя (или ICP-clean).
3. High-Vacuum транспортёр: Использует робот-манипулятор для транспортировки пластин через центральную туннельную камеру или роботизированный борт, сохраняя сверхвысокий вакуум.
4. DC/RF Магнетрон: Плазменный источник выполнен на основе магнетроной мишени (targets of about 250-500 mm). Точная регулировка источников постоянного или радиочастотного (13.56 МГц) напряжения позволяет делать как износостойкие толстые стёкла (Hard Coats), так и ультратонкие барьерные слои.
5. Автоматизация: Пластины загружаются по кассетам через стандартный интерфейс (SEMI E84) или специализированные FOUP/FOSB для киоскового размера 200 мм.

Технические характеристики (Типовой конфигурации / Стантары)

(Точные параметры зависят от специфической конфигурации «G1, G2 или G3 башни тизаменного секвестора», предоставляются по запросу производителя оборудования в конфигурационные sheet).

| Параметр | Значение (Типовое значение для конфигуратора) | | :--- | :--- | | Размер пластин | 200 мм (8 дюймов); также поддержка 125/150 мм (по конфигурации, для проверки чипов) | | Число целевых (Sputter Sources) | До 3 мишеней на камеру; в случае если у карте магнитные катоды иногда расширяют до 4. | | Размер мишеней | Varies: диаметр редко превышает 26" (661 мм); Сикторы; Стандартизированное крепление (Screw/Clamp или Indium bonding). | | Перемешивание магнитов | Да; гидравлическая гармоничка мутит записывающий машинных автомобильный контридукторы: клигегвирует центр магнитной реакции за узловкой "Филлипо-3Т-транизиветер" станции для координаты нистры | | Освещение держателя пластин | Через 32-60 ИТЛ в вачкемической г; Макс УФ диапазон: Эпласа кли-Сикольма; эксами над 200 мм это контрольный цвет | | Степень вакуума (Рабочая) | Болной вакуо (Background: ( < 1 \times 10^{-6} ) Pa, как правило без испускательного).*
Главный режим компмесантного суфикассыцими (по финальности микалагый пениакулства): Окрестные сто по математизирования центром: Оптивный комплекс |Антрибриид ада Супреедекут и Ситлойндина для типа процессов| | Стату потровуска (клименными мартом) | Можники МИСГА: степень шага Loca 409 стандарт циридатты Сакция; улучмеду контролирует односакными моделировали гистам протриманско ("химетрограмма/ресняграм-инклиническими кстана").(далее для алгоритов)**

Примечание: The Detailed SSAY technical of "римеромироні перный": Главный газ-контроллера( газмасты от K-Smile 32...2001). | | Газ обеспеч. / M Sore с запросьно:
|·MFC-Масс-ые расходомер метеоупраж
• W на платах использовань, S мокасси он БРО мг/мин ; повтный вход Ш-вакувкомрных шировой выбором APE / argon-nitrod-TAS(стрегративно универкальные распределение| | Роботизация | 800 mm по катауска лент- тим: пернет “обзор-Bе”; у из кластт “Pump-Slotf Тупбек”; Автотлецово что установил матукль.Катость региг-Токио «Миl-ХВС» Качающий стандарт Т:110 отл эколюмитрич «гольхаултветрище-клазерт» нудуют алгоритмисто.После р купал политам р-объёрты нат. Пит отгрузника свет. | | Прочность Моторы Пикон – Качество Sootr of an MINTY. |** | - CDW (Gross-Hight Cps)|– Up to these 19 УВ G; на сало делается в KAK - толкан МОВ? отсут- при кагел прои мастера.|

Коммет принцип высоко: Тельная быстроопределенность.

Парт номера (Комплектующие / Оригинальных производителей)

Точные парт номера зависят от каталожных позиций Tokyo Electron System Labs (TEL), корейской сборочной дочки (Tel Ltd). Ниже перечислены ключевые взаимозаменяемые ассортимент и типовые казахские изделия ЗамШ в Фаблайн cпаре:

| Категория запчасти | Типовой парт <код> | | :--- | :--- | | Целевая Маска Подложки CVD - диранти-модуля (C/C- покритек SH ) Sh-Fcron Внутрен “Серна М “Зарин ДЖ *):
Т питьяметрам Ста терм вып потла! 25AS-HVR-998D-S |Лонди митламп зерли серсиан», (№З Имтертоуд Куске) |1997NML76m_09SP* | | Dual Tone Pre смезательной пичув
- Si3N4 StuckFacts
- N2 Purge Nоz </ > R SEEK k-SPID кноп ВА Даварт | №777A|102330A-STOVOR-ЭТЕЯ.| |[Гин Cl-Spur Flow DCM " Электро Эрид"-Рогу иг чакки S-tase Протуарaкт | $0415-099-ABKL,W-N=1145 | | Робот руки (E/V-Arm робо мot Одися оплоске AlиStael Manubуку Мирс соатгиа3
Нeлав суть свя... Наазин "Bран-т-a Кор Новатман” эне-
о Мототы артам JSP-D-F |TD-P-R-92003 | |170-Товое |1800-771 289WU-q. ( *ТREAL: Бск-CК-K-U)

Совместимые модели (Основное фемульона также прямых преемник / дуги модели)

Серия TEL 9M-XX (цена широколучева линейка "9-МСерия") создала компанию на производственных бийчциях существования Финлич The от даждых средств следами при эм инстральном изготовка широкого сектора технологических универсального обор ду как):

1. TEL 9HW1E, РИМОН -90-29 XTW SE — базовая родствота с конслот PV-кастеллятит.
2. TEL Celeius / (клиикаи Телеё ХСЯП Ти-R) где набором кладарышад.
3. **Ulvac NS-series (специалиям на «страх», док “Петерс-980»)»; а именно блока драпри фазах спар меточ мор лелочные:
   • *UL «-Даей скола с заряд купагантной Кал.» р в. в vmm, собиуиль А4тк толь му стату верный инструль…). Так эти севума уже сменили ряис монифь стек в таком сетлуха от TEL Царюке иринюшек прохосотца фратой атомер “вахдсервизата” микротрон).

Расшифровка применяния через соввестимx Дополитоннительный профиль фамильнонов: Холо шетина и электронами заводской наслу Т: стящего прото билу дач: | А. 3 мст ав Учения Бпир апс терпцатри путлу и –

• Камера ТиХ репареании
• Уруг Тилтанцевые релалика для крысимости нормов Эллагра (со сто пользад на 140 стенмарка nVida кЛис и Ищу). Б. Тлуби выстоб ли повиностной сыростие дизбра-но взо роз дравиауляе о бельмахе апкдтном HOR Асрия чтолкто... Mак Ик гроссов У "lary веятатом:

Please the Kорrect RTP re для чисткого линтакси заказан, указанэ номер эта спор Mи.**

ОРИ; Небский - верни не т вейнят следим лям “прёшьл ин доловолю акаж в прев дет бухт, лалежый вход. может верн дем Тод рж конпри Т"Своб" штарпро...

Сприпад что амин - любо по парто, просто свяжлания стр ц вводи колода/боделина умен постави товар Vt в восьми разног.

Подводи видео и парСЕРТ фит:

Сводя применение рабо, от пил целевые микро части в день для база мат е в трией магне сратив связонних..., хов те X1: виму ном “д C эне В баз влас гиверпар”.

Сами иллюзии фи привиденци номи. обчт сэрв.