Tokyo Electron CS8430C03

Описание

Tokyo Electron CS8430C03 — это высокоточный компонент (сменная часть) для оборудования плазмохимического осаждения и травления производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в области производства оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный компонент относится к категории consumable parts / spare parts (расходные и запасные части), применяемых в установках TEL серий для CVD, PVD, плазменного травления и нанесения тонких плёнок. Он используется в процессах обработки кремниевых пластин диаметром 200 и 300 мм на этапах формирования тонкоплёночных структур.

⚠️ Важное замечание: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе полные спецификации на запасные части — информация распространяется через авторизованных сервисных партнёров и внутренние каталоги TEL. Ниже приведены типовые характеристики для компонентов данного класса.

Технические характеристики (типовые для данной категории)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Part Number | CS8430C03 | | Категория | Запасная / расходная часть (spare/consumable) | | Область применения | Полупроводниковое оборудование TEL | | Материал | Зависит от узла (керамика, кварц, алюминий с покрытием, нерж. сталь) | | Совместимость с процессами | CVD / PVD / Etch / Diffusion | | Диаметр обрабатываемых пластин | 200 мм / 300 мм | | Диапазон рабочих температур | до ~ 400–600 °C (зависит от узла) | | Среда | Вакуум / плазма / агрессивные газы (Cl₂, F₂, CF₄ и др.) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Ресурс | Определяется регламентом ТО TEL |

Точные параметры (материал, размеры, допуски, ресурс) следует уточнять в сервисной документации TEL или у официального поставщика запчастей — по номеру CS8430C03.

Парт-номера и связанные компоненты

Поскольку номера TEL строятся по внутренней системе (серия + узел + ревизия), для CS8430C03 характерны следующие варианты обозначения:

• CS8430C03 — базовый основной номер
• CS8430C03-xx — ревизии (например, C03-01, C03-02 и т.д. зависят от модификации)
• Возможные аналогичные индексы: CS8430C, 8430-C03, CS-8430C03
• Смежные компоненты серии CS84xx — сменные части одного узла (прокладки, изоляторы, электроды, кольца)

Для точного подбора аналога/замены необходимо сверять:

1. серийный номер установки;
2. конфигурацию камеры;
3. ревизию узла.

Совместимые модели оборудования

Компоненты серии CS84xx традиционно применяются в установках Tokyo Electron следующих платформ (совместимость конкретно CS8430C03 нужно подтверждать у TEL или в service manual):

Платформы CVD:

• TEL FORMULA series
• TEL FELLOW series
• TEL Trias / Trias+

Платформы Etch (плазменное травление):

• TEL UNITY series (UNITY II, UNITY Me, UNITY uXP)
• TEL Tactras series
• TEL Telius (300 мм)
• TEL Clean Track (для литографических процессов — только сопутствующие узлы)

Платформы PVD / Thermal:

• TEL Alpha series
• TEL Zeta / GPT series

Диаметры пластин: совместимо с поколениями 200 мм и 300 мм (зависит от конфигурации камеры и держателя).

Рекомендации по применению

• Устанавливать только с использованием официальных процедур TEL (service manual).
• Проверять совместимость ревизии с конкретной моделью оборудования и S/N установки.
• Использовать оригинальные/квалифицированные запчасти — для сохранения гарантии и воспроизводимости процесса.
• Проводить калибровку после замены (especially for plasma/thermal parts).

📌 Для получения точных технических данных, чертежей, актуального парт-номера и подтверждения совместимости рекомендуем обратиться:

• к официальному сервисному центру Tokyo Electron Limited вашего региона,
• к авторизованным дистрибьюторам запчастей TEL,
• в каталог ept / PartView / TEL Service Portal.

Если вы работаете с конкретной моделью установки TEL и её серийным номером — можно запросить точный cross-reference по этому номеру у дистрибьютора, и я помогу структурировать запрос или интерпретировать ответ.