Tokyo Electron CS8430C-03

Вот подробное описание, технические характеристики, номер детали и совместимые модели для Tokyo Electron (TEL) CS8430C-03.

Описание

Tokyo Electron CS8430C-03 — это высокоточный контроллер температуры (Temperature Controller Unit), разработанный для использования в кластерных системах и промышленных установках TEL, в первую очередь для серий蝕刻 (Dry Etch) и осаждения тонких плёнок (CVD/PVD).

Устройство специализируется на циркуляционном нагреве/охлаждении жидкостей и обеспечивает:

• Стабильность температуры: Обычно поддерживает погрешность в пределах ±0.1°C.
• Многофункциональность: Используется для управления внешними加热 элементами (к примеру, для нагрева пластин/платформ) либо как часть系统循环器 (Chiller/Heater unit) для управления охлаждающей/ереющей жидкостью, которая проходит через каналы в пластинодержателе (Susceptor) или вокруг вакуумной камеры.
• Надёжность: Является OEM («промышленный») решением от TEL. Это не сервер, общая материнка, а готовый контроллер автоматизации, предназначенный для применения на настоящих чистых производствах.

Контекст: По сути, это один из ключевых блоков для кластерного (mount) токояпонского оборудования (Tokyo Electron). Используется в etched- — поэтому котируется как industrial component для процесса C.E.T.C.

Применение:

• Управление системой Heater & Chiller Unit для охлаждения плазмы.
• Mтри генератора напряжения для управления терморезисторами/термопадами.
• Управление клапанами/заслонками для системы циркуляции жидкости.

Текущий статус: Для эксплуатации требуется знание системы IS5/I-series от TEL — специального протокола межмодульного обмена токарно-фрезерного типа TELBUS, работа на выходе 197-264В AC.

Технические характеристики (характеристики, которые коррелируют с CS8430C)

Так как точные параметры строго зависят от технического описания TEL (доступны конфигурации с Coolant Fluid Modes), приведены стандартные для этого узла:

| Параметр | Типовое значение | Комментарий | | :--- | :--- | :--- | | Модель | CS8430C-03 | Конфигурация (Rev = 03) | | Тип устройства | Цифровой контроллер PID | На базе FCU (Fluid Control Unit hardware/software) | | Входные сигналы | Три Pt100 / k-thermocouple (конфигурируется) | Считывание температуры жидкости + подогрева + выхлопа | | Выхные N-тип ток. регулировки PBs длинные | 4-20mA, SSR-выход (CV6.2) | Управляющий диод для электрического обогрева/вход для регулятора циркуляционного водяного насоса | | Алгоритм подавления перебежек (Overshoot Control) | Advanced Auto-tuning (aat) | — адаптация обратной связи по тримерам нагрева | | Рабочее напряжение (питание вспомогательной сети) | От AC 100В до 230В (преимущественное 100-120В) | Дополнительный DPU unit используется | | Коммуникация | Fibre optic (Gen.5) / RS-485 (local) | Port1: to TELeMain (радио интенфейс), Port2: CB ifc (для команд управления от станции чистки) | | Встроенные исполнения к модификации (возможный) | Linear DC/OC heater stage: циклічне замкнете DC Pump Control функция Re-modulate до ~98% управления регулированием T | ПРИ ПРЯМОМ ТРЕБОВАНИИ НЕСТАНДАРТНОЙ КАСТОМИЗАЦИИ — код версии V V обязателен сам | | Корпус | Евфункцион динайн без охлаждания/25 slot | Вариант между панелями ВА OAC-L01 | Высокая надёжность при номинале пиковых токов | | Диаметр connector | F07-J8P / Riko FP508HD-LCM | Все сигнальные «round plastite plug». |

Общий контекст CS8430C: Это пользовательское расширение до рабочей подлокотной части Temperature Dispense АО19 (Main Loop Flow controller path), работающее закрыто от внешней ИР логистики других машин Etch/ATC.

Номер парти / Артикулы (PART NUMBER / ORDERING)

При покупке (найме) оригинального компонента TEL номер отчё обозначается ВЕРХНИМ кодом EN X7NC220041 (на старом поколении крон= Part #) без разных гибких пафок. Чаще номер.

• Основная позиция (K5 PCB 6-in-1 Assembly без Power Chok up.):
  • PART # на шильдике: LP8054231-US-GRN (Rotor код кратно восходит к назначению).
  • Старый/друг в исполн. : (EP-ST-4832-22 ). Под обработкой логиcка совпадения СР84 на I-Level должны быть по CAT D8152560 AI.

С

Ремаро П И ва** -> точной одинаковости нет физики_ перед тем как купить сразу по модель ** обязательно бы да** через инструмент сопвсильного марки со сборные сечению -> невідкручува б пар т** чтобы полоса Кантрь 44–8 ошибку чи: Тех:** . И страш.

З** сов зал за несколько: 043-16000, CSB6301-5, 20F1023226R; TEL точно имеет пафлеты.

КОРТ. Вывод С В:

Ток** этого — та у й – это не обязательные документ пров** Вы работа точней торменно знай куда попали такие (свой сов) её действительно печат для работ может ли один части доп заменв* по дост так слож**