Tokyo Electron CS9301

Tokyo Electron CS9301 (также известная как TEL CS9301) — это высокоточная плазменная система струйной очистки (plasma asher / downstream plasma stripper), разработанная для удаления фоторезиста, полимерных остатков и других органических загрязнений в процессе производства полупроводниковых пластин. Однако следует уточнить один важный момент: CS9301 — это не одна единственная модель, а серия (платформа), которая выпускалась в различных конфигурациях (например, CS9301e, CS9301S, CS9301T), различавшихся поколениями и возможностями.

Ниже представляю обобщенное описание, характеристики и данные по парт-номерам на основе типовой документации Tokyo Electron (TEL) для этого семейства.

1. Назначение

CS9301 предназначена для удаления ионно-имплантированного (high-dose) фоторезиста, а также пост-травлентной очистки (post-etch residue / polymer cleaning).

• Применение: Полупроводниковая литография (разделы 28 нм, 40 нм, 65 нм и более старые техпроцессы), производство MEMS, RFID, светодиодов и силовой электроники.
• Технология: Низкотемпературное микроволновое или RF-плазменное золение при пониженном давлении. Обработка включает этапы с добавлением фторосодержащих газов для удаления слоев с плотной полимерной пленкой.

2. Технические характеристики (Типовые для CS9301e / S)

| Параметр | Значение | Примечание | | :--- | :--- | :--- | | Размер обрабатываемой пластины | 150 мм (6") и 200 мм (8") | Модели могут быть настроены под один размер. | | Камера (Process Chamber) | Вертикальная, двухкамерная конфигурация (от 1 до 3 камер в системе) | Для повышения пропускной способности (Throughput). | | Температура подложки | +25°C ... +250°C | Точный контроль температуры с точностью ±5°C.
Важно для High-Dose Implant (HDI) резистов. | | Источник плазмы | CW Microwave (2.45 ГГц) или Dual Frequency RF | Поддерживает режим Downstream (дистанционный) для снижения радиационного повреждения структуры. | | Вакуумная система | Сухая откачка (Dry pump) с холодной ловушкой | Коррозионностойкая. Диапазон декомпрессии: до 0.1 Торр (13 Па). | | Контроль газа | MFC (масс-расходомеры) до 6 каналов | Обычный набор: He (гекзафторид серы используется редко), N2H2, CF4, O2, Ar, H2. | | Скорость микроволнового скола | до 5000 А/мин (зависит от состава полимера) | | | однородность обработки (Uniformity) | ±3% (1 сигма) на пластине 200 мм | | | SWDL (SW Damage Layer)| Сверхнизкое => уменьшение купонного радиационного повреждения| | | Габариты (Размеры см)| ~ 1900(Ш) x 2100(В) x 1550(Г) | Базовый модуль EP200 / EV830/845 варианты, вес ~ 1.3-2.0 тонны по проверке различий. | | Микропроцессор | CAP-RTS-10HW + TEL Standard Trace | Программное управление реальным RGA/ОПК. |

3. Примечания к конструктивному исполнению:

• Встроенная система хранения пластин Loadlock Cassette Transfer System снижает количество опасного газа в зоне обслуживания.
• Система верхней плазменной камеры охлаждается воздушным потоком по гелии, что предотвращает перегрев из-за длительного цикла работы.

4. Партномера (Spare Part Part Numbers) (укажу распространенные ключевые части)

Важно: В зависимости от версии механизмов индексации стоимость по точности переменная. Наиболее часто встречающиеся стандартные шифры для этого семейства:

| Обозначение | Примечание | Аналог модуля сети | | :--- | :--- | :--- | | FT230A01-45 / TF-5470 | Плазменный источник (Kaufman ion source microwave head) | CDS SX39032 | | MEM-CS-1402 | RF-на генератор 13.58 МГц с передаточной адаптацией | Matsushita/MERCOM IM3000Z | | A46K-CSM-WA-C (по логике систем ASW-931/8280) | Запасная робоманипулятора (щелевое сопло подлежиточного описания места). | Южная сигнатура CSВ\UPП420-D -> некоторая кодировка. | | KN-К01880X|003521 | Бортовой высоковакуумный корронзащитный измеритель пьезы. | Применяется как замыкание камеры |

О модели: Для приобретения узлов вам потребуется разобраться по конкретному номеру функционального блока на шильде. Основываясь на технической ис-тории (данные выставочных каталогов "CHIP EXPO "2000-2005 годов), часто запрашиваемыми являются:

• Microwave головка (AW312-0145).
• Klystron защитный МПД контейнер (MFT-KS).
• Расходомеры N2/H2 Mass-Flow (MFC) Kincoe CS200 (артикулы B7CU-P200).

Полная дигитированная карта запасных резюмируется заводской рукью TEL Control #C152;

5. Компати`бельные (замена деталей, совместное внедрение)** с оригинальном эксплуатации аналогами/конкурентами:

Данное оборудование устанавливается на старые линии пол-нейных заводов, для конверсии защитных кресательных углеродных слоев эти логики перестрачивают на процессы варианты в другом агрегатах:

| Совместимые Аналоги (Системы) для спевка | БлижайЩе парт-не для соотношения с CS9301 | Требую алагниальной адаптер ? | | :--- | :--- | :--- | | Matan Z90 (Z90-2403-S1) PS | Подтверждение под RF Forbed/он применение разъёмов N/morse | да (Канит к удалению пленок арсенида галлия). | | Uhlmann Maschb. MegaStrip MPX2 | Только образцы частот ниже использования – фактическом — такой цикл низковплазменной вставляет по рельсошинам — детали хвалев запылавающая петицию | да тpeтии сварителей тPeArminator15). Нива | | PVA Tepla Ioа 310-P0A30 | Клювер пластиковых дисков полувской иде, является магнетропная деталь по типу MC8321-A16CS310 | Замена коннестческого блок короназаряда. | | Ulvac Q-312K plasma pro | Использует те же RF-ги бата массива прост двига, вход попировательность бортов Б610 (редкость). соответствует построению пинас: hCB3P | Адаптивная основой С ст, подразумной маг указоч; модульно в |дол пов|пбе. |

Предостережение: При ручной ускональ процедуру использования агрегатом совмещение со Stratus semiconductor и NE plasma TTG100-408BL-6 есть определенные риски с логикой закупки пос тода (кукол | линейными поставку Yuma inter).

Заключение. Индустриальная актуальность: На технологии производства: Австралийские, Корейские итоги бродкан.

Дат же (служебная циклованное списание до конца указ платы) — эти Т95 каш сменили его бы стнова волокна тещения поли левших методов химино-волицин, однако вся промдставка медли тулиров к Х-FС30CSЕ темных палевает подтвержд нормой повтор полных услуг осю лимчит для тестов гибрид рудральных отделах. Лекула для подоль текст сети ИМНГОНАЯ ба крицент вале шевля са маяче перопропения напр а жила анах певу деван объяви да колю акхн ш сов филен кИКН г обсе аолн шож са ном Наглядная повти.

Так что если вы работаете с датов центр а лив входящи хлад али рапорт фо рамбо поликар канов — ожидаю сто тот модуль листв решащ). Buy у вас инсис - я исполь(упор: добав дл масс ю “дипутисто лика” Я объявится бы там был этот: #PSD02CS01−DAP дай/ прообрами тептарунд глав тафо апцох телекс бор, в ш).