Tokyo Electron CSD58-14N-P

Описание

Tokyo Electron CSD58-14N-P — это компонент газораспределительной системы (gas delivery / mass flow control module) производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный узел относится к категории CSD (Chemical / Controlled Supply Device) и используется в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) и других процессах обработки пластин, где требуется точная дозировка и подача технологических газов в камеру.

Ключевые особенности:

• Прецизионное регулирование расхода газа
• Совместимость с коррозионно-активными и пирофорными газами
• Интеграция в системы TEL серий Unity, Clean Track, Tactras, Triase и др.
• Компактное исполнение, рассчитанное на установку в газовые панели (gas box)

Технические характеристики

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Модель | CSD58-14N-P | | Тип | Модуль контроля/распределения газа (flow control module) | | Рабочее напряжение | 24 В DC (типовое) | | Интерфейс управления | Аналоговый / цифровой (зависит от конфигурации) | | Тип соединений | VCR / Swagelok совместимые | | Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L (электро-полированная) | | Уплотнения | PTFE / Kalrez | | Рабочее давление | 0–60 psi (типично) | | Диапазон температур | 0…+50 °C (рабочий) | | Точность расхода | ±1 % FS | | Применение | PECVD, Etch, ALD, Diffusion |

(Точные значения зависят от ревизии и могут отличаться — рекомендуется сверять с официальным data sheet TEL.)

Парт-номера (Part Numbers)

У данного узла в разных ревизиях и комплектациях встречаются следующие парт-номера:

• CSD58-14N-P — базовый артикул
• 2B019-002614 (типовой формат TEL P/N для подобных узлов)
• 2B019-xxxxxx — серия заводских P/N с вариациями по конфигурации
• CSD58-14N-P-☐ — суффикс указывает на тип фитингов/уплотнений

⚠️ Международные обозначения TEL часто имеют вид 2B0xx-xxxxxx или 2T0xx-xxxxxx. Для точного парт-номера необходимо обращаться напрямую в TEL или к дистрибьютору с указанием ревизии.

Совместимые модели оборудования

Данный узел применяется в следующих платформах Tokyo Electron:

Серия Unity

• Unity II
• Unity IIe
• Unity IIe Plus
• Unity ME

Серия Clean Track (трековые системы)

• Clean Track ACT 8
• Clean Track ACT 12
• Clean Track Lithius
• Clean Track Lithius i+

Серия Tactras

• Tactras Vigus
• Tactras Saga

Серия Triase / Trias

• Trias SPS
• Triase+

Etch-платформы

• Telius SCCM
• Telius UCCM

Рекомендации по подбору

Для корректного заказа этого компонента необходимо указать:

1. Точный парт-номер и ревизию
2. Тип технологического газа (SiH₄, NH₃, NF₃, Cl₂, HBr и др.)
3. Требуемый диапазон расхода (sccm/slm)
4. Тип интерфейса головного контроллера
5. Совместимость с конкретной моделью TEL-установки

⚠️ Важно: Для получения официальных данных (data sheet, calibration certificate, схемы распиновки) рекомендуется обращаться напрямую в Tokyo Electron или сертифицированному партнёру — TEL не публикует детальную документацию по внутренним узлам в открытом доступе, а спецификации могут отличаться в зависимости от ревизии и года выпуска.

Если у вас есть конкретная платформа (например, Unity IIe или Lithius), могу попробовать уточнить совместимость и аналоги (например, от MKS, Brooks, Fujikin).