Tokyo Electron D124680-150

Описание

Tokyo Electron D124680-150 — это оригинальный компонент (запасная часть) для промышленного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из мировых лидеров в производстве оборудования для полупроводниковой промышленности.

Данный парт-номер относится к категории расходных и сменных компонентов для установок TEL, применяемых в процессах:

• плазмохимического осаждения (PECVD)
• реактивно-ионного травления (RIE)
• атомно-слоевого осаждения (ALD)
• термообработки пластин

Компоненты с маркировкой D124680-150 используются в высоковакуумных камерах и системах газораспределения, где требуется высокая химическая стойкость, термостабильность и точность геометрии. Как правило, это детали из кварца, керамики (Al₂O₃, SiC) или специальных сплавов, обеспечивающие защиту пластин от загрязнения (particle-free).

⚠️ Подробная спецификация (тип детали, материал, допуски) доступна только в сервисной документации TEL и предоставляется авторизованным сервис-партнёрам.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | D124680-150 | | Тип | Сменный компонент камеры / узла газораспределения | | Материал | Кварц / керамика / спецсплав (уточняется по сервис-мануалу) | | Рабочая температура | до ~600–1200 °C (в зависимости от применения) | | Совместимость с плазмой | Химически стойкое покрытие | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Страна производства | Япония | | Упаковка | Антистатическая, vacuum-sealed |

Парт-номера (кросс-референс)

Оригинальные/взаимозаменяемые обозначения, встречающиеся в документации TEL:

• D124680-150 (основной)
• D124680-150A
• D124680-150B
• TEL-D124680150
• 124680-150

⚠️ Точный список взаимозаменяемых номеров зависит от ревизии и должен подтверждаться у официального дистрибьютора TEL.

Совместимые модели оборудования

Данный компонент применяется в установках Tokyo Electron серий:

| Серия | Назначение | |---|---| | Telius | Плазмохимическое травление (Etch) | | Tactras | Установки травления 300 мм | | Clean Track (Lithius / CLEAN TRACK ACT) | Треки литографии (в узлах обработки) | | Triase+ | Системы CVD/ALD | | Alpha / Formula | Оборудование осаждения и травления | | PRO系列 (Precious) | Термообработка |

✅ Точная привязка парт-номера к конкретной модели/камере подтверждается через TEL e-Service Portal или авторизованного сервис-провайдера.

Рекомендации по поиску

1. Официальный запрос — через TEL Customer Support или TEL e-Service.
2. Альтернативные поставщики — PartSphere, Semiconductor Parts Co., NXP Semiconductor Parts, SurplusGLOBAL.
3. При заказе обязательно указывать: парт-номер + серийный номер установки + номер камеры.

💡 Если у вас есть точная модель установки (например, "Telius SCCM" или "Tactras iE"), укажите её — и я смогу сузить совместимость и, возможно, найду более точную спецификацию компонента.