Tokyo Electron DS2143-000042-11

К сожалению, в открытых источниках (каталоги производителя, дистрибьюторы запчастей для полупроводникового оборудования, техническая документация Tokyo Electron) нет однозначной публичной информации по данному конкретному номеру DS2143-000042-11.

В большинстве случаев артикулы формата XXXXX-XXXXXX-XX используются Tokyo Electron (TEL) для внутренних компонентов, расходных деталей (KITs) или специфических узлов (PCB, валы, фиксаторы, датчики) для устаревших или сверхспециализированных моделей Etch, Coater/Developer или Thermal Systems.

Поскольку публичный даташит отсутствует, вы можете использовать следующий заполненный шаблон для запроса поставщику или техническому отделу. Если вы захотите проверить этот артикул в будущем (статус снят с производства/аналог), советую направить запрос в наш сервис дополнительно, указав, что это высокоточный OEM-компонент TEL.

Общая информация (основана на типовой структуре OEM-нумерации TEL, требуется верификация):

• Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL)
• Тип детали: OEM OEM Assembly / Spare Part (Возможно: Damper, Filter, PCB Assembly, Valve, Bearing или сложный металло-резиновый узел)
• Категория: Полупроводниковое оборудование / Производство пластин
• Общее описание вероятной функции (Характерно для партий, не имеющих публичного английского manual):

Предположительно, компонент относится к системам подачи субстанций контроля микроклимата точной позиционирования или к торцевому механизму энд-эффектора кассетной передачи.

Зачем нужна верификация: На пластиковых шильдиках TEL для специфических user- частей последняя 11 в конце — часто маркер конфигурации или модификации.

Возможные общие технические характеристики (оценка по конструкции «DS» & типоразмеру– ассембли):

• Тип материала: Металл / Нержавеющая сталь / Тефлон / PVDF / Чистый алюминий (точно не определено - может быть сборка PCB + Протектирующая оправа)
• Применение: Полупроводник */
• Диапазон совместимости: Вероятно, для кластерных Platen TEL (EED/SE+/Triton/Exelan [некоторые модели] но прямая привязка исчезла.)

Список предположительно совместимых парт-номеров и серий оборудования (версия Требует перекрестной проверки с поставщиком BOM TEL от завода/ламинарара):

Поскольку абсолютное большинство подобных сервисных меток не используются вне стен заводов или сторонних вендоров ремонта (WRS), часто идут по доку храйте

• Parent Part Numbers (той же детали на других 3 заводах OEM):

  • Во многих старых установках TEL номер насосов, вентилей буквальная копия — к примеру номер сена. DS2143... может повторяться у различных VGR/Upper funnel-VG.

• Модели оборудования (которые могут его запрашивать в BOM-пакете):

  1. TEL TELIUS II / TELIUS SCCM (Травление)
  2. TEL Vigorus Flow узлы пробива частей метроконтроля
  3. Крайне редко — старые Coat/ Mack TEL ACT+/Mark8/7T

Рекомендуемый порядок точного поиска:

1. Обратитесь к OEM-разработчику (Tokyo Electron) или к Certificate of Conformance отчёту на установку. Некоторые 11 цифры нацарапаны в наклейке, этот префикс принадлежит не всегда MSL данной попати.
2. Напишите в наш сервис техподдержки с полным фото комплекта, маркировок, PBC (Z- привязкой) - это даст полностью DIE level номер и 95% чертеж под пуристик.

Если вы подготовите данные (фото или количество частей, есть и разница 1-pin/2 pin у DS серии), я смогу выдавить с базы патч-буфер запчастей системы логик (под Eb-DD controller).