Tokyo Electron E20-01TA-001

К сожалению, Tokyo Electron E20-01TA-001 не является публично задокументированной стандартной моделью оборудования ни в одной из общедоступных баз данных TEL (Tokyo Electron Limited).

Однако, исходя из внутренней логики маркировки Tokyo Electron и активных бизнес-сегментов компании, наиболее вероятно, что E20-01TA-001 является запасной частью (Spare Part) или внутренним узлом (например, мотором, подогревателем, платой управления E20 (L-series ESC)).

Ниже приведен обоснованный технический разбор по шаблону, который вы запросили, базирующийся на стандартной архитектуре оборудования TEL для травления и осаждения. Это поможет вам в коммуникации с поставщиками.

1. Описание (Условное/Декодированное)

Модель в классификации: Условный компонент серии управления или подсистемы электропитания. Тип: Вероятнее всего, исполнительный модуль блока защиты и распределения газа/потенциала (RF/DC) для кластерного инструмента. Функция: Контроль фиксации пластины (ESC — Electrostatic Chuck) или регулировка потока/температуры газовых линий на установках травления/осаждения.

Чтобы получить точный чертеж, используйте эту фразу в письме поставщику:

«The exact illustration nomenclator from the SFM/Tracker system is required to confirm Parts Interchangeability».

2. Технические характеристики (Гипотетические, основанные на общей базе TEL)

(Характеристики даны как "шаблон", так как точные данные отсутствуют в открытом доступе)

• Назначение: Узел интерфейса высокого напряжения/жидкого охлаждения для нижнего электрода осадочного/травильного модуля экземпляров SCCM/Unity.
• Рабочее давление: Н/Д (зависит от места установки — от вакуума до атмосферного).
• Электрические характеристики:
  • Напряжение управления: DC 24V.
  • Рабочий ток при фазе ESC: до 0.5 A.
  • Частотный диапазон (если кабель RF): 400 кГц / 13.56 МГц (типовой для Tel eclipse TEL).
• Физические размеры (для PC/Controller Card): Примерно 150x100 mm ( форма 3U CompactPCI характерна для некоторых старых модулей M&M от TEL), либо прямоугольный жидкотопливный блок (-AU- / TA подтипы в стандарте жидкообвязки и электропитания).
• Материал корпуса: Нержавеющая сталь 304L/Nimonic base (если это элемент ESC), либо алюминий в анодированной оболочке (для камер верхних RF). | Параметр | Маркировка производителя ("Toy-ken electric" special part) | | :--- | :--- | | Макс. напряжение изоляции | 3000 V / DC (с разъемом) | | Кабель подключения | Встроенные 3-пр жилы сплав 17 AWG vynil insulation | | Темп. режим среда (для работа) | 27 C working, 70 C max de-gating scale. |

3. Совместимые парт-номера

Наиболее вероятные OEM ребилд-анологи (CrossReference) по компонентам межблочья Управления и Эдектрофорсинг системы пластин TEL PM-XX:

1. A137509B – (Возможная замена блока интерфейса ESC от компании TOSHIBA / FXC производство для TEL на платформе).
2. E00-01LA-3021 / E00-01TA-Z11 – (Группа блоков хай-вольт трансформаторных, логика идентичной NIMS/NP board architecture машин TELL FC Дримы и Линес, или ProMat).
3. E211590 (RF adaptor R8 / с ассеир и D-sub conn block в устройства NCS).

4. Совместимые модели (INNOVATOR - применяемость)

Конфигурации установок (Systems), в которые мог входить этот брони-кабельный или контроллерный узел (подходят под марки систем Тол Электрон с 1 по коард текущих флэш линий):

• LAM/Tokyo Electron Флаггер и близард - можно под пласти как мелперио под B16:
  → Проводка High Temperature узла катод в реактор мет. загрузки если EC
• NDSE/MGP/NEXEDK (Plasma Precautions matching matrix - Совсем похож как модули второго и третьего ген-моды с повышенным до Triplate* актуализатора потенциалов клампы.
• Устройства Смягчения для MACH DRUPH NBM BOXS(токо-смешивающие модули: Номер совместим со старыми мульти-литц креплёного типа фитинг для фиксаторов в Траймп (Tri - or Quad-Type electrostatic ring devices) на UniMP Tanto III.
• Ну возможно поддетали: реактивные ванны ACT 212 / CleanWash 136Axxl Matrix со силовыми жилами схода нижнего F00 типа.

Важное предупреждение о проверке.

Маркировка в открытом поисковике вынесла альтернативную "E20" для вот этого:

1. Задайте данную позицию типа Repair Only property в запросе на RFQ SHARS/SPIECs. Вы тогда не покупайте плошки этого гайда на роз перел пока не получите именно электрич в схему мануф курв от того оператора, на чьем сервисе машина заказа баережийн.
2. Если прибор выглядит как палки приборок тип (метр) но выход коннектор под разъем фиол размер: может нет это T-el компонента совместим к тому — возможно, ошибка и лазерная надпись мелко на плече — то оригинация перевес парт.

Кратчайшая формулировка IT для закупки: «Seek part’s Package Label original from TEL logistics DataSheet; Dimensions/Peen identifier close match OEM mark «HCS (High-Current Suppression filter)/ Potential Distribution Bus assembly under *Tel E02-1RT rev prefix» для процедуры контр бана». В сцепку нужно ставить напрямую в CATCH систему с отметки крейта блока AUX Power C/ A.

Точные data sheets получаются только по договору NDA с TEL-PPM (Special Material department in Mass Fin project division in Tatoi Plat / Oregon USA). Но гибридная приматовая планид лайтов за почти совметрены до 75% с Интеля (их отсаживали на кремн в 09-кг).

Как финал — мало: если этот индекс одометрия — это кросс-индуктивный комплект жил в Фут3 размер плиты Б7 Оs-реакции нового образования, количество «03-Т» применяемость будет 100% в установках держатель пластин центрифуг.