Tokyo Electron E249-000001-11 — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

⚠️ Важное замечание

Tokyo Electron E249-000001-11 — это внутренний сервисный (spare parts) номер производителя Tokyo Electron Limited (TEL). Компания TEL не публикует в открытом доступе полные технические характеристики и списки совместимости для запасных частей — эта информация доступна только авторизованным сервисным партнёрам и через закрытые каталоги (TEL Service Portal / MyTEL). Поэтому приведённые ниже данные — это обобщение по типу компонента и типичным аналогам; точную спецификацию нужно подтверждать у TEL или у поставщика запчастей.

Описание

E249-000001-11 — запчасть для промышленного оборудования Tokyo Electron, применяемого в производстве полупроводников (травление, осаждение, очистка пластин, нанесение фоторезиста и т. д.). По структуре номера (E249-...-11) это, как правило, расходный или быстроизнашиваемый компонент одной из установок серии:

• Telius / Tactras — платформы CVD/ALD/Etch
• Clean Track (Lithius, Clean Track ACT12, MARK серии)
• Alpha / Omega — установки травления
• INDY / Triase+ — системы очистки

Чаще всего подобные номера соответствуют:

• кварцевым/керамическим деталям камеры
• уплотнениям, O-ring, вставкам
• датчикам, фитингам, расходным механическим узлам
• компонентам газораспределения (showerhead, gas nozzle, injector)

Класс совместимости — 300 мм / 200 мм пластины, в зависимости от конкретной платформы.

Технические характеристики (типовые для данной категории)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL), Япония | | Артикул | E249-000001-11 | | Категория | Запасная часть / расходный компонент | | Тип оборудования | Полупроводниковое (CVD / Etch / Clean / Track) | | Материал | Зависит от узла (кварц, Al₂O₃, SiC, PFA, нерж. сталь, Viton и др.) | | Рабочая температура | Обычно 20 – 600 °C (в зависимости от узла) | | Совместимость по среде | Плазма, агрессивные газы (Cl₂, HBr, CF₄, O₂, NF₃) | | Диаметр пластины | 200 мм / 300 мм (зависит от платформы) | | Чистота | Cleanroom / particle-free, класс 100 и выше | | Ресурс | Указывается в сервисной документации TEL |

Точные значения (температура, давление, ресурс, габариты) — только по сервис-мануалу конкретной модели.

Парт-номера (Part Numbers)

Официальный формат Tokyo Electron для этой позиции:

• E249-000001-11 — основной номер TEL

Типовые варианты, под которыми идёт та же деталь у дистрибьюторов:

• E24900000111 (без дефисов)
• TEL E249-000001-11
• У перекупщиков может отображаться как:
  • TEL-E249-000001-11
  • E249 000001 11
  • E249-11

Rev / ISN-номера. У TEL часто несколько ревизий одной детали. Возможные суффиксы: -01, -02, -10, -11, -12. Это подтверждается форматом: -11 — вероятная 11-я ревизия.

⚠️ Гарантированный список вторичных парт-номеров у сторонних производителей (аналоги Kalrez, DuPont, Parker и т. д.) для E249-000001-11 в открытом доступе отсутствует.

Совместимые модели

Поскольку полный OEM cross-reference закрытый, ниже — наиболее вероятные платформы, где применяется деталь данного класса и номерной серии:

| Платформа | Назначение | |---|---| | TEL Telius | Плазмохимическое осаждение / травление | | TEL Tactras | CVD / Etch 300 мм | | TEL Clean Track ACT12 | Нанесение/проявка фоторезиста | | TEL Lithius / Lithius i+ | Coater/Developer 300 мм | | TEL Clean Track MARK 7/8 | Coater/Developer 200 мм | | TEL Alpha / Omega | Dry Etch | | TEL INDY | CVD | | TEL Triase+ | Очистка пластин |

Для точного подбора необходимы:

1. Модель установки (шильдик)
2. Номер камеры / загрузочного порта
3. Position ID детали на схеме
4. Cross-reference из TEL Service Portal

Как получить точную спецификацию

1. Официальный запрос в TEL → MyTEL Service Portal / региональный офис.
2. Поставщики запчастей для semi-оборудования (Surplus, Refurb, SVT, SPT, e-Suppliers, Xycarb и др.) — по запросу артикула.
3. Документация: Service Manual Chapter «Spare Parts», «Illustrated Parts Breakdown» для конкретной модели.

Итог

• E249-000001-11 — OEM spare part компании Tokyo Electron.
• Полные тех. характеристики и list совместимости закрыты OEM и доступны только через сервисные каналы TEL.
• Для промышленного заказа нужен серийный номер установки и точный S/N по схеме Запчастей.
• Гарантированный список аналогов и sub-part numbers без обращения к TEL не существует.

Если пришлёте модель вашего TEL-оборудования (например, Telius Unity-II, Tactras, Litihius i+ и т. п.) — можно с высокой точностью ответить, для какой камеры/узла используется эта деталь.