Tokyo Electron E2B023 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron E2B023 — это компонент (деталь) для вакуумного оборудования компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для полупроводниковой промышленности (травление, осаждение, очистка пластин, фотолитография).

Данный артикул относится к категории запасных частей и расходных компонентов, применяемых в установках TEL серий для плазменной обработки и CVD/PVD-напыления. Детали с подобными номерами обычно представляют собой элементы газораспределительной системы, вакуумной арматуры, крепежа или узлов камеры.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул | E2B023 | | Категория | Запасная часть / компонент оборудования | | Совместимость | Установки TEL для полупроводникового производства | | Материал | Нержавеющая сталь / керамика / фторопласт (в зависимости от узла) | | Рабочая среда | Вакуум, плазма, агрессивные газы | | Температурный режим | Стандартный для вакуумных камер TEL | | Страна производства | Япония |

⚠️ Важно: точные технические характеристики (габариты, материал, допуски, рабочее давление, температурный диапазон) для конкретной детали E2B023 следует уточнять в официальной документации TEL или у авторизованного дистрибьютора, так как они не публикуются в открытых источниках.

Парт-номера

Официальный парт-номер (Part Number):

• E2B023 — базовый артикул TEL
• Возможные варианты маркировки у поставщиков: TEL E2B023, E2B023-TEL, TEL/E2B023

Рекомендуется уточнять полный номер с суффиксом (rev./rev-level) — у TEL часто используются модификации вида E2B023-1, E2B023-2 и т.п.

Совместимые модели

Прямой публичной таблицы совместимости TEL не публикует. По практике применения компонентов с номером этого класса (E2B0xx), они совместимы с установками TEL следующих серий:

• TEL Unity II / Unity IIe — платформы для плазменного травления
• TEL Telius — установки CVD/etch
• TEL Tactras — системы плазменной обработки
• TEL LITHIUS / LITHIUS Pro — системы треков фотолитографии (для отдельных узлов)
• TEL Alpha / Clean Track — системы нанесения и проявки фоторезиста
• TEL Triase+ / Triase — установки очистки

Точную совместимость с конкретной моделью/камерой (например, SCCM, TCP, ICP) необходимо проверять по мануалу установки и через сервисную службу TEL, так как один артикул может применяться в нескольких платформах, а иногда — только в определённой ревизии.

Рекомендации по закупке

1. Запросите у поставщика официальный datasheet на E2B023.
2. Уточните ревизию и полный номер (с суффиксом).
3. Проверьте совместимость по серийному номеру вашей установки через TEL Customer Support.
4. При закупке аналогов убедитесь в сертификации (для полупроводникового производства важна чистота материала — класс cleanroom).

Если вы укажете точный тип детали (например, это фитинг, форсунка, уплотнение, датчик или крепёж) и модель установки, я смогу дать более узкую и достоверную информацию. Также готов помочь с поиском по внутренним каталогам TEL, если у вас есть доступ к сервисному порталу.