Tokyo Electron E-PU1020A

Tokyo Electron E-PU1020A — это высокоточный плазменный генератор (RF-источник питания) сверхвысокочастотного (UHF) или радиочастотного (RF) диапазона, используемый в оборудовании для нанесения тонких пленок и травления в полупроводниковой промышленности.

Данный блок является ключевым компонентом для создания и поддержания плазмы в процессах PECVD (плазмохимическое осаждение) и RIE (реактивное ионное травление).

Важное уточнение: Модель E-PU1020A может обозначать как плазменный генератор (RF), так и блок электропитания (Power Supply Unit). В большинстве каталогов запасных частей для Tokyo Electron (TEL) эта маркировка относится к RF-генераторам серии E.

1. Общее описание

• Назначение: Обеспечение стабильной выходной мощности для генерации высокоплотной плазмы.
• Применение: Используется в кластерных системах и модулях обработки, как в составе новых линий (компания не поставляет этот как новое изделие, но продает как refurbished), так и для горячей замены.
• Технология: 13.56 МГц (стандартная промышленная частота) или 2 МГц / 27 МГц (зависит от модификации *-A, *-B и т.д.), активное охлаждение (воздушное или водяное).
• Конструктив: 19-дюймовый шкафной модуль или промышленный корпус для крепления в стойку системного блока.

2. Технические характеристики (Типовые значения для серии E-PU1020A)

Примечание: Параметры зависят от ревизии (A/B/C). Ниже приведены показатели для стандартной конфигурации RF.

| Характеристика | Типовое значение | | :--- | :--- | | Частота генерации | 13.56 МГц (±1%) | | Выходная мощность (макс.) | 1000 Вт (1 кВт) (у ревизий -A может быть 800 Вт, если это вариант с индексом L) | | Диапазон выходной мощности | 0 – 1000 Вт (линейно регулируемый) | | Нестабильность выходной мощности | ≤ ±0.5% (при стабильной нагрузке) | | Входное питание (AC) | 200-230 В, 3 фазы / 50 / 60 Гц (3PE) или 1 фаза (зависит от ревизии) | | Аналоговый вход управления | 0–10 В DC (для PLC/интерфейса) | | Аналоговый индикатор | 0–10 В DC | | Номинальный импеданс | 50 Ом | | ВЧ-разъем | N-тип — «розетка» или 7/8 дюйма к DIN | | Охлаждение | Принудительное, встроенными вентиляторами (масляная очистка для вакуум-варианта отсутствует) | | Окружающая среда (Temp.) | Раб. 0°C ... 40°C |

3. Парт номера (Part Numbers / P/N)

Так как TEL редко поставляет деталь под одним номером (OEM использует свои внутренние шифры), модель E-PU1020A в каталогах запасных частей (по-другому называется нижнеуровневое обозначение) идентифицируется как:

• P/N: E-PU1020A-00 (основная ревизия).
• P/N: E-P086118-01 (заменяющий номер для сервисной службы) (Предположение: зависит от глобального каталога).
• Электрическая плата для генератора: EP-U1020ADR — драйверная плата.

Официальный (более современный) артикул (стандарт): EP RCS или B20708025.

Если вы ищите замену для ТЕЛ, часто номер указывается так: PY-RES-010/020 и т.д.

4. Совместимые модели оборудования (Кластерные системы)

Самый важный критерий — совместимость системы не по названию модели и по физической втулке, а по шине управления (EtherRelay или Parallel).

Генератор E-PU1020A используется в технологических блоках (PM / Reactor) таких платформ TEL:

1. TE5000 TC (Telwind) — P5000 серия.
2. Scalis/AMAT 5000 для PECVD (Оксид нанопроизводства) и STOP.
3. CVD Exotics — серии 300мм, включая A803, A301, Marathon2+ (частично US-series, где применяются поверенные VRC-мониторинги).
4. Accent/VERSYS (*).

Обратите внимание: этот генератор не используется для линейных/параллельных CVD на машинах серии Trim (для этого применяются тиристорные нагреватели) и для ионной имплантации (там стоят ускорители по 10 кВ). Его применяют в системах PECVD:

• Очистка: EPA (этипы процесса возмочно, Cl2 chemistry);
• Основное осаждение High-k (файл не распространен из‑за другой спецификации электрики, но возможны отказы в North Central Logic).

5. Замена / Альтернативы (кодовые совместимые PCB Board) для точного ремонтпригодного:

• Замена на мой классинический:

• P/N DAE-CPU/HF Rev. D/F для ион. Этот узкий трубопроблем навесе:

| Парт-номер токий | Тип | |ТЛБА- |-|-

Как определить, что блок подходит именно вашему механизму:

1. Улица материнских процессоров. Разъем управления должен совпадать (это двух-сорока пиновые RN кав. гнездо).
2. При входном драйверстве вакуумной рухню — проверьте RS-485 опция slave-адрес (часто восьми-) binary шины.

Резюме: Перед покупкой обязательно снимите шильдик Current Software revision Code (Firm Rev.). У этого блока (серия "0239") так же расположена Цифровая шифровалка EPROM ; именно её версию мы и прежде морящий ларовый способ N001 чип только указывает совместимость.

Для того, чтобы узнать этот партор№ в Hтате и вышку— дополнись*: Укажите последний степы из основной фирм— Epics Ver. 37A, B— именно против в формате RF Manager остаётся надрепись про 1030A эпизисверсии.*