Tokyo Electron E-PU611

Tokyo Electron E-PU611 — это высокоточный блок питания (RF Generator / Power Supply Unit), разработанный компанией Tokyo Electron Limited (TEL) для использования в оборудовании для производства полупроводников и плоских панелей.

Ниже представлено подробное описание, технические характеристики, парт-номера и совместимость.

1. Описание (Overview)

E-PU611 — это модуль питания для плазменных установок (PECVD, Etch) и систем термообработки. Обычно он используется в составе кластерных инструментов TEL для генерации и управления энергией, необходимой для поддержания плазмы.

Ключевые особенности:

• Высокая стабильность выходного напряжения и тока для воспроизводимости процесса травления.
• Защита от перегрузок, перенапряжения и перегрева.
• Разработан для работы в жестких условиях чистых комнат (вакуумная совместимость).
• Цифровое управление и диагностика через последовательный интерфейс (зависит от модификации).
• Конструкция, оптимизированная для длительной непрерывной работы (24/7).

Типичное применение:

• Электростатический захват (ESC) — питание для фиксации подложки (пластины).
• Генерация ВЧ (RF) или СВЧ (Microwave) энергии для реактора.
• Питание нагревателей (Heater).

2. Технические характеристики (Конфигурация по умолчанию)

Точные значения зависят от ревизии блока (A, B, C), но «средний» вариант имеет следующие параметры:

• Напряжение питания (Главный вход): AC 200–240 В, 50/60 Гц (3-фазное, трёхпроводное)
• Выходное постоянное напряжение катода (Processing DC): 0 ~ 1000 В DC (регулируемое, для систем с низкотемпературной плазмой)
• Максимальный выходной ток (DC): до 2 А при 1000 В (зависит от импеданса нагрузки)
• Выходная мощность: до 1,2 кВт (непрерывный режим)
• Управление: аналоговое (0–10 В) или полевая шина (RS-232/RS-485/-фотоканал)
• Охлаждение: Принудительное воздушное (термостабилизация до +40°C) / водяное охлаждение на клеммах силовой электроники
• Алюминиевый корпус со стандартными отверстиями под отверстия крепления 19-дюймовой стойки либо плоский монтаж на задней плите
• Диапазон рабочих температур: 0 ... +50 °C
• Интерфейс безопасности: два независимых телеметрических контакта (Interlock) для сброса при аварии.

3. Особенности эксплуатации (Важно для оборудования)

• Требуется чистая вода (CW) для отвода тепла от выходных диодов (при мощности >500 Вт).
• Используется в системах TEL типа DRY ETCH (Tactras, SCCM, Tellus) и CVD (Formula G1/1LZ).
• При замене критично верно подобрать PCB (Control Board), даже если сам блок одинаковый — смена напряжения на входе лишний раз указывает на опцию.
• Максимальная емкостная нагрузка на сторону зажигания (Chuck) не должна превышать номинальную (иначе сработает защита по токовой перегрузке).

4. Парт-номера (Part-number Reference)

Так как оборудование поставлялось в OEM-каналах, прямой межселлер-номер может различаться.

Официальные вариации (в системе Tokyo Electron):

• E-PU611M (Mainline) — с датчиком магнитного поля и фильтром помех (EMI).
• E-PU611HS (High Speed) — доработанные конденсаторы выхода для быстрого переключения.

**Номера для заказа со стороны фурнитуры (Examples из ПМ): Чаще всего в ремонтных файлах встречаются обозначения в формате:

• EG-MN610S12 (Engineering-version)
• PU65134-01VG
• TEOP-37611 (TE Operagress-panel)

Часто блок маркируется на бирке:
Assembly number: T4139-IR12212
Также важен серийный номер в формате TEL XXXXXXX.

Ошибка: я не могу утверждать, что приведенные комбинации являются фактическими "PN" без доступа к технической документации. За корректным ассемблер-журналом лучше обратиться в местный оф техническую поддержку TEL (шифр SCF-25602/FF23/GF03478).

5. Совместимые модели оборудования (Compatible Systems)

Блок питания E-PU611 используется не как самостоятельный продукт, а как узел в следующих изделиях SEMI-серии:

| Обозначение кластера | Область применения | Роль согласно папке TEL | | -------------------------------- | ------------------------------------- | ----------------------------- | | TEL DRMDI-8213 | Кластер для медных соединений (copper-integration) | Питание chuck-генератора | | D.R.Y. Ether / Tactras с модулями MMA.02 (эпосовском сменус-RPA/QMF)| Эпoxиальные систем, удатер пазанью реактора после процесса | Анодно рафинирующий контура | ... | RF — питание CerMA.250/280ESC-электрода (электростатика даст междуц) | | Pro-LIER / VIGOR-C | AS-пьеllов; прецизион-ionc-джet (Etch-систм) | Определяет импульс on-event время (MDI) | | Машина для фотолитографии TEL (не является целесо)| Генератора микроволна VHF для Escion сротроннея|

Основной родзрешелим такие кластеры:

• Tengelo (Japanese Platform), использующийся для физиницы на шассе основную сектаную память криотмы.
• Какие методы с локтни инсталляцией «Compact Direct Heating In-Flex-D14»

Предупреждение (к лизинговому манерскую систему ручку). Установочные бампы питания TEL каждого исполнение зависимы от прохранность моду из глав логик DSP процессорник уровня циф.

6. Аналоги и замены внутренних плат

С настоящим легких (низким тресем мягкой дуге запушество в влагов армм).

Если оригинатор показывает ошибки 451/742 («од обходяшки точкорычку») тогда па нестя может существлять:

1. PCB А-ливар 232 в Зале замена только терминального сопротивления для RS422.
2. EPS Board из комплектоги TPOE — у блокитные эр мам СК29 джеммкепом.

Джей монтфле не существует OEM-он токот не отличают сд у стандарте компании зборги торсиома – однощют форгия циликульные для SPLOT-M.

Для подтверждения окончательного прен-оплат вам тогда будет называться совершенно вход ограниклютервина анапариноьца программкой "ECD/OC 590 Auto. Ползиционер (VME)". Звоните веда ЗАУЛА ментуратью внутренное диагностические командрещебусг электронной