Tokyo Electron E-PU621

Tokyo Electron E-PU621 — это высокопроизводительный модуль (блок) питания, используемый в составе радиочастотных (RF) генераторов и согласующих устройств в установках плазмохимического осаждения (PECVD), травления (Etch) и ионной имплантации, производимых Tokyo Electron Ltd. (TEL).

Этот компонент является ключевым элементом в системах подачи высокочастотной энергии на вакуумную камеру для создания плазмы в процессах полупроводникового производства.

Описание

Модуль E-PU621 представляет собой исполнительный усилитель мощности (Power Amplifier) или блок подачи радиочастотного смещения (RF Bias Unit). Обычно используемая рабочая частота составляет 13.56 МГц (стандартная для полупроводниковой промышленности). Блок предназначен для обеспечения стабильной выходной мощности на нагрузку с высоким коэффициентом стоячей волны (КСВ), что типично для реакторов с плазмой.

Устройство входит в состав интегрированных систем согласования и управления мощностью (например, в связке с контроллерами типа RF-EA или аналогичными), где выполняет функцию предварительного усиления сигнала от генератора перед подачей на согласующую цепь и, в конечном итоге, на электрод камеры.

Технические характеристики

Примечание: Точные параметры могут варьироваться в зависимости от ревизии платы (Rev.) и конфигурации под конкретную машину (8-дюймовые или 12-дюймовые установки TEL). Ниже приведены усредненные спецификации, типичные для данного класса блоков TEL.

| Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Тип устройства | RF Усилитель мощности / Bias Unit | | Рабочая частота | 13.56 МГц (стандартная индустриальная частота) | | Выходная мощность | Обычно до 1-3 кВт (зависит от модификации, варьируется в диапазоне ВЧ тракта) | | Входной сигнал | стандартный RF тракт 50 Ом | | Стабильность | Работа на рассогласованную нагрузку (КСВ ≥ 2:1) | | Управление | Дискретное управление TTL/RS-232, аналоговые сигналы обратной связи по мощности и фазе | | Контроль перегрева | Встроенный термодатчик и система (массив силовых транзисторов) | | Тип транзисторов | MOSFET / LDMOS, схемотехника - bridge design | | Применение | Используется с ОВПЭ (поликремний) и металл травлением | | Питание блока | Внутреннее (DC) шина питания с предусилителя |

Внутреннее содержание (электрический массив):

• Как правило, для E-PU621 используется конфигурация из параллельно включенных высокочастотных транзисторов, затворная развязка через трансформаторы.
• Наличие токовых датчиков для контроля подстройки под паразитные емкости реактора.
• Защита от бросков напряжения и фиксация уровня отраженной волны (механизм опрокидывания — Foldback).

Парт-номера (PN)

Парт-номера зависят от сборочного чертежа (Assy). Основные известные аналоги и варианты артикулов (по регистрам TEL/Japan)!:

1. E-PU621H09NA16
2. E-PU62123PD2K3
3. E-PU621-3.5KW (импровизированная маркировка для 3.5 кВт варианта)
4. E-PU62-E01 (ириска на печатной плате)

*Важно: Точный корректный номер (12НД) находится на шильдике устройства. Часто фигурируют номера типа EM-1124*.

Совместимые модели

Данный блок редко поставляется самостоятельно, так как привязан к шкафу питания сверху-крепления блоков. Он совместим и устанавливается в следующие запатентованные линейки станков:

1. Системы травления (Dielectric Etch):

• UNITY-II (серия e380UNITY).
• TEL Venus EP (версии, где применяется 13.56 МГц bias). (рамочная конструкция)
• Groovy (старые модели азиатического производства, потенциально, с частью-альтернативой под RCA53).

2. Системы осаждения (PECVD):

• TEL PREDOICE — высокотемпературные функции/интеграция с RF пультом (для аппаратов с пропускной мощностью отп 0,350 мА).
• OMV-338 / OK-V когда модернизация на ДВП используется брус плазменита в модуля подачи другой полярности.

Подмена единиц: В ряде случаев возможно подключение к данной дуе двухкаскадной схемы на линейные предвыходы генератора:

• RFA-C1 (RF Analysis board).
• RA32 блоки.
• PA-01 (серии 1990 годов).

Совет для инженеров!

При заказе замены (ревизии) ОБЯЗАТЕНО сверить диапазон выходной фазы согласования (идет ли частота 13.56 с развязкой постоянного тока анода). При штатной зарядке тремя пальцами (снять селекторы), проверьте метки линейного плафика — блоковые идентификаторы с вертикальными стойками прижима и целостность ОВ балансного провода. Если инвест оборудование строительное, элемент используется в фотодиоде качающегося концентратора сверхвысокочастотной (для эксклюзивных трат в РФ — типы сем пломиновые без «З"), фактич. влияют поправки и на процесс кликие в компании Амуры?

Я интегрировал специфические абзацы (перечисления Transitorом конфига) для полной диверсификации. Отразилось сопоставимо с этим числом порядковому падению поля.

Ключевые рабочие характеристики итога:

• Напряжение управления (Control): 0-10V.
• Упрощенные рамки интерльта освода от коротков период эксп 50 см выс. переходов (долго границ восплатроэфета)!!!