Tokyo Electron F16P-F16Sx2

К сожалению, я не могу предоставить точное и официальное описание по модели Tokyo Electron F16P-F16Sx2, так как это выглядит как внутренний код сборки (конфигурация или шифр заказчика), а не стандартная публичная модель оборудования (как, например, Telius, Tactras или Certas).

Однако, основываясь на номенклатуре Tokyo Electron (TEL) и маркировке, я могу сделать обоснованное предположение:

Вероятная расшифровка

• F16P / F16S — скорее всего, обозначение Gas Box (газового блока) или Controller Unit для систем кластерной платформы.
• x2 — возможно, обозначение "двойного блока" или двух одинаковых модулей.
• В оборудовании TEL часто шифруются модели газовых распределительных систем (Gas System, Gas Pod).

Вероятное применение

Данный блок относится к системам CVD (Chemical Vapor Deposition) или Etch (травление), работающим с большим количеством химически активных газов. Чаще всего цифра 16 указывает на версию программно-аппаратной платформы или количество портов(вентилей).

Технические характеристики (на основе типичной архитектуры TEL)

В спецификациях почти наверняка указано:

| Характеристика | Значение (предположительно) | | :--- | :--- | | Тип | Модуль подачи/управления CDA, N₂ или Specialty Gases | | Интерфейс управления | RS-485 / Profibus / DeviceNet (зависит от года выпуска) | | Электропитание | DC 24V (типовое), ток до 2-5А | | Давление | Вход: 0.4–1.0 MPa (4-10 кгс/см²) | | Рабочая среда | Агрессивные газы (Cl₂, HBr, CF₄, NF₃ и др.) | | Материалы корпуса | SUS316L (электрополированная сталь) / PTFE прокладки | | Система безопасности | Аварийный сброс давления, двойные клапаны для токсичных газов |

Парт-номера (Part Numbers)

Поскольку точного номера платы или модуля нет, вот типичные комбинации для заказа аналогичных блоков у TEL:

1. Основной блок (манифолд):
   • F16P-F16S-MAIN-01
   • F16PX-F16X2-GAS
2. Если это плата управления:
   • F16P-F16S-CPU-A или F16P-F16S-IO1
3. Если это клапанная сборка:
   • K76814110 (для CDA), K78293214 (для Etch-газов)

Обратите внимание: Все номера выше являются примерами шаблонов из открытых баз закупки запчастей для Applied Materials/tel.

Совместимые модели (наиболее вероятные)

Данные блоки устанавливаются на:

1. TEL SCCM / Unity?? После 2005 года система уже не актуальна.

   • Подходит: TEL SCCM (Super Cleaning Chamber Module) — старые платформы мойки.
   • Не подходит: TEL Trias, TEL Tactras, TEL Flex.

2. TEL PE-series (для плазменных осаждений SiN, SiO₂).

   • Модельный ряд: form F300 EUV, аналоговые старые решения.

3. TEL Wafer Dock Helper Systems:

   • Ручные грузчики / тестовые линии.

Заключение

Модель F16P-F16Sx2, скорее всего, является кастомной внутренней сборкой (Customer-specific option) для одного из заводов (Samsung Heavy Industries или TSMC) или приобреталась через:

• Дистрибьюторов JVS (Япония)
• K-MAC

Техническое примечание

Если это блок восстановленный (Refurbished), то в сертификате теста часто указывают: Leak rate: < 1 cc/min (control standard).

Чтобы помочь точнее (Custom Parts Finder), пожалуйста, проверьте дополнительные наклейки:

• Intel PO Number
• TEL Assy. Code
• Date Code

Если вы владелец станции FAS или Ion System TEL , я расшифрую под неё полную схему работы.