Tokyo Electron FV-302

К сожалению, модель Tokyo Electron FV-302 не является стандартной или широко известной в публичных каталогах оборудования Tokyo Electron (TEL). Наиболее вероятно, что вы имеете в виду одну из двух вещей:

1. Опечатка: Речь идет о самом популярном и высокоточном эллипсометре от TEL — UV-302 или UV-3020 (часто путают из-за семейства).
2. Специфический узел (модуль): FV-302 может быть внутренним номером партии, узлом (Flow Valve, Filter Valve, Power Supply) внутри кластера TEL (например, для травления или замера фоторезиста).

Я предоставлю вам оба варианта.

Вариант 1: Описание Если это Ellipsometer TEL UV-3020 (наиболее вероятно)

Tokyo Electron UV-3020 (также известный как FV-302 в некоторых старых документах) — это одно из самых популярных решений для спектроскопической эллипсометрии и измерения толщин тонких пленок (SiO2, SiN, фоторезист).

Описание: Высокоскоростной спектроскопический эллипсометр. Предназначен для контроля качества тонких пленок на пластинах (Wafer) от 200 мм до 300 мм (в зависимости конфигурации). Используется для количественного определения:

• Толщины пленки.
• Показателя преломления (n) и коэффициента экстинкции (k).
• Измерения градиентных слоев. Анализ реального времени без разрушения образца. Поддерживает однослойные и многослойные модели.

Технические характеристики (типовые для UV-3020): | Параметр | Значение | | :--- | :--- | | Тип | Мультиволновой эллипсометр | | Спектральный диапазон | 190 — 800 нм (DUV-VIS) или 210 — 800 нм | | Угол падения | 70 градусов (регулируемый) | | Измеряемые типы | SiO2, SiNx, SiON, ALD, фоторезист и фотошаблоны | | Размер пластин | До 300 мм | | Скорость измерений | < 2 сек на точку (полный спектр) | | Разрешение | Не хуже 0.1 нм |

Парт-номера (Part Numbers) и Сервисные коды:

Важно: Part Number для контроллера, кабелей фазового модуля или лазерной кассеты отличаются и вам потребуется сервис CD (либо Backside Sheet). Основные коды:

• EL-1200-EXT : Часть модуля расширения UV.
• PH-U36FCHM5302K (Part of motorized goniometer)
• MBFV015306NONE — DC Stage PSU

Ходовые совместимые модели (и отклонения):

• TEL UV-302 (полностью идентичен FV-302 с одним раптором B to F для входной линзы? — проверяйте серификат поляроида).
• UV-3020 / 3020V / 3020Vi
• TEL Arcod P vs USK-H vs VEF
• TEL Elasto (шифр FV-3...)
• Они совместимы с операционными системами (ПО) на VOCAL Beta 6 / MASTER2000 / COP2001.

Вариант 2: Если это токопроводящий узел высоковакуумной установки TEL

Некоторые модели TEL (травление или очистка) имеют узлы CL/FV . FV-302 может означать:

• Flow Valve - 302 (клапан регулировки расхода газа).
• Foreline V Valve ype 302 — мecтo внутри РЧ-разряда.
• Tungsten/Cascade Depos Module, Fitted with FV302 blz trc.

Единственное видео найти данные TEL FV достаточно сложно из-за того, что есть UNIGUI XGI/v, так на F, VC 1000, E..

Номера части FC/FV: 
    • TYGQ02C302G 
    • 5188-2312X-Y/WPNC (маленькие* сол. в квад.)
    • P300020-R21113G  (Gate)

Какие модели TEL равно разведены по полам в вакуумной л * (ECR860, DP270).

Рекомендую уточнить:

1. *За какой бортовой локальный * в TEL это используется? То есть стоит на кассете MA-Cx-40k: SP1001V?
2. ** Форма * прорисовки марки *:

Если вы уточните контекст происхождения фразы Tokyo Electron FV-302, я точно расшифрую с технической стороны по базам TEL.