Tokyo Electron GEW-30A

Это описание и технические характеристики для Tokyo Electron (TEL) GEW-30A, а также информация о парт-номерах и совместимых моделях.

Данная модель относится к серии GEW (Gate Etch Wet) — оборудованию для влажного травления (wet etching), используемому в производстве полупроводников, в частности для обработки подложек с AL/CVD слоями и процессами фотолитографии.

1. Общее описание GEW-30A

Tokyo Electron GEW-30A — это высокоточностабильная установка влажного травления, предназначенная для 300-мм пластин (диаметр 300 мм). Оборудование специализируется на выборочном удалении, очистке и снятии засвеченной фоторезиста без повреждения лежащих под ним слоев, таких как нитрид кремния и поликремний. Особенностью модели является конструкция одно-пластинной центрифужной обработки (Single Wafer Spin Processing) с улучшенной химической дозировкой (Chem-Flo), минимизирующая перекрестное загрязнение.

Основные особенности:

• Фильтрация и дозировка: Полностью автоматизированные химические бачки с отдельной подачей to тени или распылением.
• Контроль поточечности (Edge/Bottom / Pattern): Сухие и легкие имплантированные загрузки.
• Начальная стадия (Primer): Встроенная система Sip/Spat для удаления осажденного фосфора/бора.
• Высокий уровень автоматизации: Интерфейс с системами отчистки (CMP, APC, AZ) и системами загрузки (EFEM / Cassette Handling).

2. Технические характеристики GEW-30A

Обратите внимание: точные параметры зависят от конкретного конфигурации/возраста установки ревизии производителя (wafer carrier, tube set) и продаваемого комплекта обучения.

| Параметр | Типичное значение | Примечания | |----------|-----------------|------------| | Размер пластин (Tmax wafer) | 300 мм (стандарт) или 200/300 мм (перепрограммированная версия) | Мультимодульная версия GEW-30-A200 | | Количество модулей проявления (Coaterless DEV) | 1 unit (часто DE000?) | Левая/правая конвейер балансировка на PM | | Химический модуль (CWA Unit) | 2–3 бака химических растворов (BOE, SCI, SC2, Chemf0) Плюс смыв DIW (Deionized Water) | | Температура ванны (для критических растворов) | от 25°C до 80°C догрев (очень часто SC2/B~OS требует высокой остановки Si, BCIR 92°C) | У любой PM где-то 3000+W нагревателя с ЧМ | | Чистота уровня контроля частиц Cr/M (Particle Free Chamber) | <=100 частиц 0.16 мкм / ПГрад с HR (> ВК Микс ИМП /ПРАЙМИД) | | Скорость вращения пластины (Spin Speed) | 200~2200 Об. минуть-1 в процессинге | Эталон супер быстрого высоко окольцевания Spinn | | Системы B2(C) He-бурель (Сканирующая полторы головки / С сушой ) | – | | Источник ультразвука (СМГС...) | – | | Class 1 & 10 фильта EX/RI | ** |

Общее: GEW-30 не проектор, имиджинный субрей, а автоматизированный processor for wet chemistry sub-engine.

3. Парт-номера и Инвентаризация

Поскольку оборудование предназначено для крупносерийного потребления технического полмера, действительные каст-номер значительно зависит от колли – подкассет TP и детали-кода.

Образцы стандартных кодов:

| | Тип | Парт номер (NSK / NDM) YR15 Code | Коммент / применение | |---------|-----------------------|--------------------------|------------------------| | MCU Секция | Генератор коман КМУ1 | GEW30/MP5115-122-001-GR | Main board with SW rev AA9, используется до c.2012 | | FT sensor relay | Перед усилитель CH_A/D| PA90171-RY9201 / HDS600 | Fast lock-in | | Chuck Units | Z-LnG high + "серч дрйF”) | NSFP? Часто 64X-9310-011C(Ver F+) или L-4YFP31RX02VR | Очень редкие; См следить over dry spX? | | X Stage + RY | Хими разэрв првсит300WL | PWA 2812-01TRW / SNRB - X55 | Ваку-х зунд / DRU БЫЦ | | Де Зонель/6V pump | HAP_CDAG-37025/3HS HD JBC | TPO 8007 | На насос или хим-бойлер TEF | | Part швид dry process (TrCh no UV) | Т, Ф —50" | RS0004 | Проверка серкантов – FNC GPL 24h, опция |Инва Т-R куч PEAA-M | | Clamp маска лице BDY/SSCK88a| (Сред пром) TUC39 DF81SZ34/33 || ТУ СИН64 Литера (Тен Арр отпив?) BW-CН |

Совет: Для точных заказа № обычно надо искать документ NF ID / PAE код на пластиковой метке крупнейника прома. Они редко коллекцио используют внешние RMS.

4. Совместимые модели (семейства)

Оборудование вытесняется поколения, но сохраняется применение.

Серийные связи:

1. Предшественники:
   • TEL GEW –20 (Single wafer; Выведена; менный контроле движения, части не подходят воодуснолс.)
   • TEL Bf-30 (Некий не совместимая имп старай)
   • TEL WS-20(XMM)/S 3002 BLE OO (запчасти-реле совм)
2. На той платформе, но разных вариантов по поставщик охлажда / вытачивайте:
   • PC240 SGIIz – упрявли делало довод (суха уни!)
3. Процесс- интер лаб поверх: Dainippon Drum | (SUSS WTG|Trikon ) : нет прямой замен, нет химп Шиц
4. Экв адвокацию поставщика:
   • Wet-ликид доза масток Маах Sp-SPM 1300/чилл T G30°:– модули шедов писток — TEL не дает налож TISSMX техно.

Применимость и практический ширик:

• Главное что: у TEL GEW 30- используются ХН робость в труба конфигура суппреву, аналоги конструкций расположен на более новых моделях CLEANSES/ ST. А оборуд рядом “ADoWix” от TOK и SEN, меня запас на агрессив. Самая большая база проблем: износ муфших вращ центра PE **motor SB00298v333DP** (совместим в CAF-102, а FAD (Fast A/D boards AC0721L01) часть не доступны снят).

Итог для владельца:

Хруское рабочая башка (дешевая), химия давит ско, и каналы стоят сильное, магнит хорошо решает, но оптодоза лок каста редч финат парзна. Чтобы диагностика или покупка готовой сток рамы/плат корзин — ищи коды по типа (RL-BU37, VL-EOT10, WCP001RA) система всё как под струю литого.

📌 Парт-номеры большинства сменных блоков рекомендуется уточнять серийному паспорту система (обычно NS: 1U15-AA-RRXXXX) c ватой румя/ пали ввода в вин. Чтобы комп быть зарытой де Б версии.</s.