Tokyo Electron iODP113 — Система плазменной обработки

Описание

Tokyo Electron iODP113 — это промышленная установка плазменной обработки (plasma processing system) производства японской компании Tokyo Electron Limited (TEL), предназначенная для выполнения операций депонирования (Deposition) и сухого травления (Dry Etching) в процессе производства полупроводниковых пластин. Система относится к классу оборудования для фотолитографии и тонкоплёночных технологий и широко применяется на фабриках по выпуску микросхем (front-end и back-end).

Установка использует индуктивно связанную плазму (ICP) либо реактивно-ионное травление (RIE) в зависимости от модификации и обеспечивает высокую однородность обработки по пластине, низкий уровень загрязнений и возможность работы с диэлектрическими и металлическими плёнками.

Оборудование поддерживает обработку пластин диаметром 150 мм, 200 мм и 300 мм (в зависимости от конфигурации), работает с агрессивными газами (CF₄, CHF₃, Cl₂, BCl₃, O₂, Ar и др.) и оснащено системами контроля параметров плазмы, автоматической загрузки/выгрузки пластин и интегрированными системами безопасности.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Модель | iODP113 | | Тип оборудования | Плазменная обработка (Depo / Etch) | | Тип плазмы | ICP / RIE (зависит от конфигурации) | | Диаметр пластин | 150 / 200 / 300 мм | | Рабочая частота ВЧ | 13.56 МГц (источник плазмы); 400 кГц – 13.56 МГц (смещение) | | Мощность ВЧ источника | до 2000–3000 Вт (типовое значение) | | Мощность смещения | до 500–1500 Вт | | Рабочее давление | 1–100 мТорр (0,13–13 Па) | | Рабочие газы | CF₄, CHF₃, C₄F₈, Cl₂, BCl₃, HBr, O₂, N₂, Ar | | Однородность травления | ±3–5 % | | Селективность | высокая (зависит от процесса) | | Система загрузки | автоматическая, FOUP / SMIF | | Управление | SECS/GEM, HMI-интерфейс | | Класс чистоты помещения | Class 1–10 (ISO 3–4) | | Питание | 200–208 В, 3 фазы, 50/60 Гц | | Расход энергии | ~15–25 кВт | | Габариты (ориент.) | ~2500 × 1800 × 2100 мм | | Масса (ориент.) | ~2000–3000 кг |

Парт-номера (Part Numbers) и компоненты

⚠️ Точные парт-номера зависят от исполнения, года выпуска и конфигурации системы. Ориентировочный перечень типовых узлов и компонентов, поставляемых TEL и сторонними производителями:

| Компонент | Каталожные/парт-номера (примеры) | |---|---| | ВЧ-генератор источника плазмы | TEL-APS-2000, ADV-13-1000, 13.56 MHz RF Generator | | ВЧ-генератор смещения | TEL-BIAS-500, SEREN-500B, 400 kHz RF Generator | | Согласующее устройство (Match Box) | TEL-MB-113, AT-113, NAV-113-MM | | Камера обработки | iODP113-CH-01, iODP113-CH-02 | | Электрод / E-chuck | ESC-113, EH-300-113 | | Газовая панель (MFC блоки) | TEL-GP-113, MFC-113-CF4, MFC-113-Cl2 | | Манипулятор пластин (Robot) | TEL-RB-413, YAS-413-U | | Загрузочный порт (FOUP loader) | FLP-113-M, SMIF-113 | | Система контроля давления (APC-клапан) | APC-113-01, VAT SE-coupling | | Turbo-насос | TMP-113 (Edwards / Pfeiffer / Ebara) | | Держатель/лифт пин | LP-113, Z-lift-113 | | Комплект ЗИП | TEL-SP-113-KIT |

Точные номера необходимо запрашивать при сервисном запросе у TEL или через официальных дистрибьюторов б/у оборудования (Surplus/Refurbished) — например: SurplusGlobal, Seiji Corp, Genuine Technologies, Modutek.

Совместимые модели (и платформы)

Oборудование TEL iODP113 может работать/сопрягаться с:

• Tokyo Electron iODP серии — iODP-100, iODP-113, iODP-200, iODP-300
• TEL Unity / UNITY-2 Me — кластерные платформы
• TEL Clean Track ACT-8 / ACT-12 (литографические треки)
• Telius / Tactras — системы травления (для интеграции процессов)
• Trias / EU / DRM — семейства TEL
• Пластины, совместимые по формату: 150 / 200 мм стандартов SEMI
• FOUP / PGV корпуса: SEMI E47.1, E15.1
• Совместимое оборудование газового снабжения: MKS, Brooks, Genmark
• Сопряжение с литографическими сканерами: Nikon NSR, Canon FPA, ASML PAS (через треки)

Примечания

• iODP113 — достаточно нишевая модель, часто закупается в б/у состоянии через агентов. Проверка парт-номеров особенно важна при подборе ЗИП и совместимых компонентов.
• Для точных данных обязательно используйте сервис-мануал фирмы TEL или DATASHEET соответствующей конфигурации.
• Модель часто встречается в барахолках полупроводникового оборудования (Surplus Global, EBARA, Brooks Market, Semi Surplus).

Если вам нужно, могу:

1. Собрать поисковый запрос для поиска доступных iODP113 на вторичном рынке;
2. Уточнить совместимость конкретной платформы трека (например, ACT-8);
3. помочь составить чек-лист покупки б/у системы.