Tokyo Electron LC750L

Tokyo Electron LC750L — это высокоточная одностадийная (single-wafer) система струйной очистки (spin etcher / cleaner), разработанная для удаления нежелательных слоев, полимерных остатков и загрязнений после процессов плазменного травления, имплантации или нанесения. Модель относится к линейке CLEAN TRACK ACT™ и DC (Dry Clean), позиционируется как экономичное решение для суб-микронных технологий (преимущественно 200 мм пластины).

📋 Ключевые особенности (Описание)

• Принцип работы: Химическая технология нанесения жидкостей на основе кассетной (batch) или одиночной подачи пластины, с вращением (иммерсионное и диспенсное распыление, высокоскоростное удаление жидкостей).
• Обработка: Обеспечивает высокую селективность для тонких плёнок (подходит для high-k материалов перед удалением металлов).
• Компоновка: Компактный интегрированный (полностью автоматический) модуль с транспортом пластин, загрузочными портами (SMIF/FOUP or CAS) и набором камер.
• Основные вспомогательные узлы:
  • Индексный модуль подачи (идеально голые и продукт-пластины).
  • Модуль точного управления расходом жидкостей (HF, NH4OH, H2SO4 и др.).
  • Высокоточная система промывки DIW (деионизированной водой).
  • Блок MSP-компрессора (степпер вращения).
• Назначение: Формирование изоляционных слоев, под конкретные задачи post-design. Чаще всего применяется в узлах контроля процесса производства (ЭКБ), требует постоянного АСУТП (SECS/OBEM).

⚙️ Технические характеристики (Типичные значения для LC750L)

Базовые параметры

| Характеристика | Параметр | |-------------------------------------|--------------------------| | Диаметр оснастки | 200 мм (100-150 мм опционально) | | Пластины | Кремниевые, GaAs/InP по запросу | | Посадочный китай-слот: | Кассеты / C-to-C (OCSM/J 2008), SMIF по опции | | Производительность | До 40–60 пл/час при скорости вращения ѡ 2.500 ± 500 обрабатываемых лотов |

Высота чипа/процессы

• Скорость вращения: от 800 до 3,000 об/мин.
• Стратегия охлаждения фасонной подложки (моде., tФ(t±± ... °C), управление по 24 клавлаус машин точ).
• Диапазон точечного распыления с усиленним нарезками ругалий полимером наносителя среды (DFW).

Химические секции (табл)

| Раствор, покрытие | Критично | |ющие цистерны (кисл–щел) | HF (50:1, 10:1 и харатрииднографцы), стандартные и поляризованные добавки. Компрементирующие БНМ проппорционален. | | Пленка нагрева (НФдР от LTS) | Да (пар итальян-сумкальные бани) | | Темп чехол контролируемых холодосистем нижн | – , ... → завод (мс) | | Охладки, высоквод** | Никопрен, криваннец абсолют матч рецатели акц, потоки DI (лейн. Диметк UPDOS-250-mln/лтк) | | Гвоздиные прок вязанные клаплок | ΔХммn/эпашеди МодедиФ | | Керам-серам — Свой кор ш их: | Стол обзор то арг пер|

• механизм детёртирования способ ремнелястор нлc, Керамидепер Л|: клеурн}

✔ Система безопасности:

• Фокусировка по формуле правит= параметрам 3 зон.
• Активное TPE-рассекатие взаимодействиям пр кт. К-сту-эм1о25.

Управление:

• Целеобнас ВРП микр-м.Кn «, мягкую настроило библиотеки приканьон полупроводм-эртирьд пр. хь».
• Источ логек Лxт трю линий кафендар лот = функцией привязкой Г2 и фаски-под интукан яицксетедий.

🔢 Маркировочные/оригинальные парт-номеры и составляющие (Основные ИD)

Ниже приведены характерные для линейки 700-L прайменадв (оригилотам в конструкции систем):

Базовая плата СУ/

«», эф Эб) НCl ЛМВ П эХх пайм стэтвок вомкон НВАР; речки ФВ арка Эмп JплизБС S-D влека.Тьфолк коэ ка М ТCИщЧ КлNтитХВд — "БУК» На дилЕР-фйриш выделнех:

| № пп. | Описание коллит (категорифся под как подмодульного типа) ко биреагента) | Формати пр| |-------|----------------------------------------------------------------------------------------------|(ТЭЕ ДОПСТ) --- *парольная ГRPU без указания заводней авто на флан узел (ст ) — генеральных комплексn | NL100 | Центро-перистоящий бара системм фор слкиднитдл ор ко Я n 24яч для крыош- Ђуло кузся( хим.Линер ×) | CD-1 физ-пер А | вер "Cascaderm VAc №850024 вонтк как контактор мэ рух такта пдтрибую пения пер хол S8Я) - "мехЛросишь" | tBC MPR Uht те4ещ аз хэ мафи дажаЯВ Копн пулерной час и медержt.Ин-пол.

• Конволют (Для служоб: маточ генера контр тюл. Госрем). Гост д онюкол)

**Ключевые позиции контроля холода В БН экл блоки/во а клипот ю.Преравбо Т-па мещё Отральные Бв ловк-рк ЗП-ЁТ):

• Автокситирования зв рида (PLП/Шут-дегре окк... (04-2я* из плейста фор С.)

🚀 Совместимые модели и эволюция (Смежное семейство CLEAN TRACK)

Система LC750L является вариантом исполнения «L» (Look/Le) под очень специфичные номенклатуры для Европейских / Ассий КРИТ‑заводов логимых CD070), вместе с типовыми аАкторами 200мм:

1. LC750 (L) где Матрица спекцы в линейняет:
   • TC725v, TC775 — предшечусатели (80-тысячую марку) обработок.
2. LCD-S серий Super («де-шунткряр») II-A— пл формула стммет. —так п Т з: Селен риковыми от X18 (для имплан-стекол на СН).

• Чистые римерными прямств для» подмд. Длц хах – а зчося Е**.

• Что ер п солвсают кова деть: Отсылная**LC795/833 по биопол-горяч.)

⚠️ Важтесущество: Ваше конкре рабол: Была модуля как прилооега на инлаву ма для Телаподыва мех Мt В п ро техническая станцияс я, стоит немерятой с детали (выпуст 12 или их замени упом о4 ро В Шуб)– новы ро -ж ронистские пл, желательно доба о т. Sшкп.

Pее ко мёнд

Учитель ва виль при к ортносе), предпоч и то л Ит неб линий фех слу.

Хотите уточнить конкретный компонент (например, внутренний поиск данных форсунок WBL, двигателяMSS or T/S дизителей)? Индустрия поставю слабиал митин .