Tokyo Electron MB3M36-050151-11

Описание

Tokyo Electron MB3M36-050151-11 — это прецизионный компонент (деталь/узел) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из ведущих мировых производителей оборудования для производства полупроводников и flat panel displays.

Данный артикул относится к категории запасных частей и расходных компонентов, используемых в установках TEL для процессов травления (etch), осаждения (CVD/PVD), очистки или термической обработки пластин. Компоненты с подобной маркировкой обычно представляют собой детали газораспределительных систем, крепёжные элементы, уплотнения, детали камер или узлы подачи/отвода газов, изготовленные из материалов, устойчивых к агрессивным средам (например, нержавеющая сталь, керамика, специальные сплавы).

Важно: точная функциональность и полные официальные технические характеристики для данного конкретного парт-номера в открытых источниках ограничены — TEL не публикует полные спецификации на запасные части в свободном доступе. Для получения достоверных данных рекомендуется запросить у официального дистрибьютора или в сервисной документации TEL.

Технические характеристики (ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | MB3M36-050151-11 | | Категория | Запасная часть / компонент оборудования | | Область применения | Полупроводниковое производство (etch/CVD/PVD/clean) | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь / спецсплавы / керамика (уточняется по BOM) | | Совместимость | Установки TEL серий (уточняется по конкретной платформе) |

Точные габариты, масса, материал и электрические/газовые параметры — только по официальной документации TEL или у поставщика.

Парт-номера (кросс-референс)

Открытый кросс-референс для данного артикула в публичных каталогах не представлен в полном объёме. Возможные связанные/альтернативные номера, которые встречаются в контексте компонентов TEL аналогичного класса (требуют подтверждения у поставщика):

• MB3M36-050151-11 (основной)
• Возможные варианты ревизий: MB3M36-050151-10, -12 и т.п. (ревизии одной детали — уточнять)
• Аналоги по функциональности — только через официальный каталог TEL Parts Catalog

Рекомендуется запросить у дистрибьютора «cross-reference / interchangeability» лист.

Совместимые модели

Прямой публичный список совместимых установок для данного парт-номера отсутствует. Как правило, компоненты с маркировкой MB3M36 относятся к оборудованию TEL следующих семейств (требует подтверждения):

• TEL Unity / Unity II / Unity IIe (платформы CVD/etch)
• TEL Trikon серии
• TEL Telius (etch)
• TEL Tactras (etch)
• TEL INDY / INDY PLUS (CVD)
• TEL Alpha / Cell серии (по назначению)

Точная совместимость подтверждается только по сервис-мануалу TEL или у авторизованного поставщика запчастей.

Рекомендации по уточнению

1. Запросить TEL Parts Catalog или сервисную документацию у официального представителя TEL.
2. Обратиться к специализированным поставщикам запчастей для полупроводникового оборудования (например, реселлерам TEL parts) с указанием парт-номера.
3. Проверить маркировку на самой детали — часто там указана ревизия и совместимая платформа.

Если у вас есть фото детали или контекст (какая установка TEL используется), могу помочь сузить область применения.