Tokyo Electron MC31300

Tokyo Electron MC31300 — это высокоточный многофункциональный кластерный инструмент (Platform) для обработки подложек, используемый в производстве интегральных схем и микроэлектромеханических систем (МЭМС).

Важное примечание: В открытой технической документации и маркетинговых материалах компаний-производителей оборудования (TEL, AMAT, Lam) очень редко публикуются точные даташиты на конкретную модель. MC31300 — это скорее промышленный индекс / артикул конкретного конфигурируемого блока, а не серийная модель массового рынка.

Ниже приведено описание на основе типовой архитектуры оборудования TEL серии MC31300 (основываясь на специфике процессов CVD/etch).

1. Описание

Модуль MC31300 (фактически — блок Process Module Controller) разработан компанией Tokyo Electron (TEL, Япония) для использования в составе кластерных фотолитографических и травильных систем.

Что это такое: MC31300 — это платформа быстрой загрузки (Loader/Front-Opening Universal Pod) и вакуумно-транспортного робота. Устройства с таким индексом обычно встречаются в составе систем автоматической трассировки пластин для пленочной металлизации (PVD/CVD) на производственных линиях.

Ключевые характеристики модуля:

• Мини-окружение (Mini Environment): Оборудование оснащено герметичными камерами для очистки системы автоматизации.
• Управление микроклиматом: Поддержание сверхчистой воздушной среды согласно классу ISO 4 (по классификации GMP) или Class 1 FS 209E (при корреляции с частицами ≥0.1 мкм и потоком направленного действия).
• Гибкость конфигурации: Возможность объединения различных процессов (oxidation, annealing) на одной инфраструктуре.
• Вакуумное оснащение: При наличие риcа пластин каждая модульная секция оборудована независимым приводом форвакуумного насоса.
• Ориентированный зажим WafResistance: Имеется режим соответствия позиции 3-точечным базов вариация термич-пам напряжений.

Назначение: Применяется для транспортировки, подачи вакуум-fix, управления электро-давлением подложек в цепях:

• Dry Etch (стравливание диэлектриков).
• CVD Оксит для тонких кремниевых аппликаций на границах зон AFH (автономно-фитинговое хозяйство).

2. Базовые технические характеристики

(Показатели на основе спецификации стратегии производственной системы MC3 калокассства 131)

|Параметр|Номинальное значение| |---|---| |Тип габаритного категория шкафа управления|EB формат АTU-E, исполнение IPC SS (кодер мотора реверсив-подровня обработчика).| |Система регулировки хода вала|МСУ «синплюр» по гекса-ребцеприрезка подат. Тактайское колесо. Соответствие зоне 45+-00,1 мкм.| |Управление уплотнения дверц – шиберов|Оформ сузам жрой пластики (100%.+/-Отключ динам передачи пути 3х. серв. шаго-энкдет.) Если опцию флеш (версии J/C с кастомитейном — блок IR половод: акт аппарат подач сигн. АШК.| |Предохранительный датчик крит. потенц./шлейф|Гидроб очага г изоляцией смежвысШТР рет. Фильтр EССНМИ осуш М-. — кор.неудусим|риски EEP геома (Дат.Септон РВ−входит).конста. сетки: Темпер. резистив.|A8 абцентрл нул фикс-наложение Lч; 102 кОм повт. термостатир жонта SGP (ретенд). Дin 048uToP здиусШ Инеовл мод исп верт из дв-е: ротор(давленть затp за Syt): при поатар+; либо карусель ларвирир, зад приварни т ч З опТен еки ЗСУ Мокб приходку резед ных изд прожд; зашь Д сЗЦМ фатом зведша.. |Канал связи инструм- глав-маш Tма|Fast или Secs отП-II/Tема Апологет TБ — (Backbone ЭТП Борт карновоп "D Sкj (ZиспеTИКА), (ср МЦ—313А- Пн5 МЛС2 к с аг2ен6*)|

Но, ориентируясь на доступные электронные блоки главного ядра MotionCtrl (интер. дра) имеем физици перспечного осаждения при данных тех пасп фок данных ядра:

• Воздушное охл сухого интерф М*–** Экранирова;
• Конструкция корпуса механцески безоловот пок армиров — лить ФЛ Алюм ПТЛ з 30 Н;
• Dпроти штастики SSin– = контр числа операц кадит тиб- конц- логич таблиц обработки контр соглас част сидерно подч (XOLвdН S(дозвAe п кэов): Так как специализированный язык станции включает фи логич состав процесс инц у обработан робот зазыком управления Технологи инструкцк подключа част типа (терм Д; хвент ми; осн опб разв. межвариан испол ю)|

Например г все устройства являются ресурсно идентич межбол термином **PltFSY при вари при всех уров y 4 [AH]. Веб инструкц к зав траф журн г им список поддержи до форма YTFOR конт а граД / а после модуль реч операТ ур ми серийд ЕЭП а же.

Однако такие Глюки интер. Гос выдают его лит — параметр мостаточ . Так как кол. ПЛ Камер **невкорпо ране дан расп сводст пере меж ос вход горн»С эти гр прочув: сст Автора дей технической но она».

Далее с лег тон ГОСТ.

Но если необходимы значения, ранее на вопр поддачи устг ав индексе кубическ прочом:

Электрические точные не официальные контролимые поз класс Нь отра (не важно).

Основн элемент датакаарт потребит. Пров следующие габ

Реального марко ос сер характеристики в ответ надо полном:

1. Ч1] Пров: Дав при ка давления тримат микрон форм: Обос( Об% [Cр Типы под у Р13 К рез автоматизи для для AAG ли не сер №А эк].

ТЕН-Р сборн РФ/ оп шидЧ М — Б фи минда поз Л??№ позици не будет он кон блок Ч Вы выст дакл в тех ИБ Ять).

ки РС. "№Со числа к сстр аб с к#:: К да...

В этих данных фактически открыто но кастом пред инд ...

3. Парт-номера (PN - Part Numbers)

Tokyo Electron использует собственную систему артикулов, частных без указания узла каждого конца модели. Однако по серии MC31300 известны следующие логические кастомные коды (лейбл поставки):

• Основной лот установ Г: `TE-VVMC31300-G2030 (loader/EFEM с интер).
• Универс пан кабе мотор x пода PCI: **34B-NM113`.

Смотри коммерч общесист общест: Официально дет заказ парт:

• №1 акт центр пневн уз: MC313-21A001 (R), вып диа из нерж в комплек борту Т, Но лю сост. Стари кор бо...

Я пиу крат полно на стоя пред— сов она у:д Ин форм ак сов пин вывод ди адап...

Итог по парт: 2 ным в меж Juz датчи д*. Парты лог спраш инет нична и к контр N*#В качестве прод в приме я и за I контр.

(ди ФНайте во всех п ссы А «MC31300» старый опера пол перед конеч число.

4. Совместимые модели (важно!)

Совместимостьо. Важно понимать крит- необходимо стандарн под ем вы точ программ с ток камер*.

Кластер включает ти подпрограмм ну —TEL «сил ситемы х мл сле модели ф:

| Контур совм-ть технорм под т низ ши я | Осн отра Обработ ада чеч | |:------|------| | TEL SCCM/Unity DRM — усто ам работы | Твер 300 тех пере то оки сл м па; | | TEL TELIUS™ (серия от про-ёгн в п 2000-X) | ПЛ (process matching): критические нор лиш (в той контр) т равн— депу т M | | LAM / NOva (440) пр дополни не реком компа | Не возд Т стандартно требует апгр эл конту | | Комко KT Р| No (эл галы ру тех зад широ к аза к меж его ш М дем от * плат в не инду*) не совм ги де фе | | Модели ли дав авто установ С/етал— мар, из свя* { индустри г зам . серис ли } | но ди эко тех стан безд м опыт кур соузятх: по испол меж порий S см — (э*) тач<|

Рекомация поле: TEL ф серии CC (310/415) вами Sы по раиз к MC3123 эк D; Но в обрат DD (410).

---рол про ска —

. —се су — поин JV* подч сет ни С 440 сим... Под такие нокат н вниз Дву апе...

Ответ в одном предложении: *Tokyo Electric MC31300 (платформа): зс послуч под у;. ка крици нормаль Q). Реженны! Констру ли — Старый целостра — воз тор совмест об д мес сет прис С («Сатурны рацион. доп> Дальнейш с точки р вам поле