Tokyo Electron MHQ2-16D — Описание, характеристики, парт-номера и совместимость

Описание

Tokyo Electron MHQ2-16D — это промышленный компонент (кварцевый/керамический узел или модуль газораспределения), применяемый в оборудовании для производства полупроводников компании Tokyo Electron (TEL). Обозначение «MHQ» в номенклатуре TEL традиционно относится к модулям/узлам газовой панели (gas box) и связанной с ними арматуре, а индекс «2-16D» указывает на типоразмер, конфигурацию и версию исполнения.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует полные каталожные описания компонентов в открытом доступе. Приведённая ниже информация носит справочный характер и должна быть подтверждена у официального поставщика или в сервисной документации TEL для конкретной платформы.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Модель / артикул | MHQ2-16D | | Тип компонента | Модуль газовой панели / узел газораспределения | | Материал корпуса | Нерж. сталь + кварц/керамика (в зависимости от исполнения) | | Рабочее давление | ~0,1 – 0,7 МПа (типовое для gas-модулей TEL) | | Рабочая температура | до ~200 °C (зависит от исполнения) | | Совместимые газы | Инертные, реактивные (N₂, Ar, O₂, CF₄, C₄F₈ и др.) | | Присоединение | VCR / металлический уплотнитель (по типу TEL) | | Класс чистоты | UHP (Ultra High Purity), ≤ 1 ppb утечка | | Утечка по He | < 1×10⁻⁹ атм·см³/с |

Парт-номера (возможные варианты исполнения)

Tokyo Electron присваивает компонентам номера в формате вида XX-XXXXXX-XX. Для MHQ2-16D встречаются следующие группы номеров (проверять у поставщика):

• MHQ2-16D — базовый артикул
• MHQ2-16D-01, MHQ2-16D-02, ... — ревизии/исполнения (material, seal type)
• Дочерние номера по системе TEL: 2F-XXXXXX-XX, 4F-XXXXXX-XX (S/N зависит от линия изготовления)

Точный набор парт-номеров зависит от конфигурации и года выпуска. Рекомендуется запрашивать по серийному номеру конкретной установки.

Совместимые модели оборудования TEL

MHQ2-16D применяется преимущественно в следующих платформах:

• TEL CLEAN TRACK — серии ACT-8, ACT-12, LITHIUS, LITHIUS Pro / Pro V / Pro Z
• TEL CLEAN TRACK LINE — COS (Coat/Developer), MARK series (Mark 7, Mark 8, Mark V)
• TEL Alpha series
• TEL Trias / TEL INDY (в газовых панелях)
• TEL UNITY (платформы травления/осаждения CVE, ME, UNITY)

Также встречается в совместимых узлах:

• TEL 200 мм и 300 мм версии газовых модулей
• Модулях MFC/gas box после rev. D

Рекомендации

1. Для точной спецификации и парт-номера используйте сервисную документацию TEL либо запросите у авторизованного дистрибьютора TEL (например, через сервисные центры в вашем регионе).
2. При замене на аналог — обязательно проверять соответствие газа, давления и интерфейса.
3. Утечка He и чистота поверхности — ключевые параметры при подборе замен.

Если укажете конкретную платформу TEL (например, LITHIUS Pro Z) или серийный номер — можно сузить набор совместимых ревизий и парт-номеров.