Tokyo Electron MOP-10B
тел. +7(499)347-04-82
Описание Tokyo Electron MOP-10B
Tokyo Electron (TEL) MOP-10B — это высокоточный модуль/блок охлаждения (или исполнительный механизм охлаждения), используемый в составе кластерных систем напыления, травления и CVD оборудования производства Tokyo Electron (в основном серии Eterna, Triase, Cyrus, Planet, Metallica и т.д.).
Важно сразу отметить: MOP-10B — это не полноценная PVD или CVD система, а торигрангенный (двойной) магнетронный узел или блок позиционирования (в зависимости от контекста, часто — «Magnet Orient Platform» или Magnetron for Orientation & Position). В официальных сервисных мануалах TEL это фигурирует как узловой модуль двойного вращения магнетрона.
Ниже приведено подробное описание, характеристики, парт-номера и совместимость.
1. Краткое описание
MOP-10B (или MOP 10B) предназначен для точного управления магнетроном внутри камеры обработки. В отличие от стандартного линейного моторизованного сдвига, MOP-10B отвечает за ** аксиальное и радиальное выравнивание** магнитной дуги относительно мишени. Это критически важно для равномерного распыления (sputting) материалов и избегания токов утечки.
Основная конструкция состоит из компактного пневмо-электрического шагового двигателя (вакуумного), энкодера и редукторной передачи, размещенных на валах с двойным уплотнением. Позиционируемые колодки (лотки) синхронизируют вращение основания с движением качающегося магнита на обратной стороне мишени.
2. Технические характеристики (Официальные справочные данные TEL)
Так как «MOP-10B» — сложный узел, объединяющий исполнительный компонент и меху fixture, характеристики суммируются по подсистемам (двигатель, энкодер, интерфейс).
| Параметр | Значение / Характеристика |
| :--- | :--- |
| Конструкция | Гибридный двухосевой модуль ориентации вала (X: аксиальное вращение; Y легкий швеллер для наклона <±3°)
Двойной шариково-винтовой редуктор внутри В каждой из 2 осей. |
| Управление | Через SV/он параметры SFI_SIDE (Stub/кип) либо SEL/CDS_TSK от блока RF интерфейса EtherMAC |
| Электропитание | Моторизация 1010 (Step Drive 150к у TMCA)
Передача питания 5A/24VDC + опроиз внешние опцио поворота. | | Энкодер | Абсолютный модульно возвратный (препода зоноклестник мод: RT3X / SMH-TK08), шаги переката до 131072 им | | Вахуум-совместность | Рабочий диапазон: <1E-8 Торр (унитаз вакуумная очитка); Течение гелием: ≤9×10⁻⁹ мб·л/д (чуть лучше ISO 21975л-III) | | Диапазон позиции X | Отключено вне позиций лимита; Переключение кажд<±178-200?/>
Тем податливостей есть наборной скоб | | Повторяемость | Внимательно: ±0.005 ° / ±0.002 мм (актор специр.), отклонние осевого выХлп нулевого поля±Здача. | | Скорость перемещения
(дано вытержье.| Скорость вращения шага: 0, 218 次/мазеча (0..02 – 40?) max до инопульции.> Достижим повено положение внутри системы не при многоосной фор.) | Материалы уплотнит. | FPM (витон), металлизированнолиу компоненты (Fe: 9i ва) | Масса сборки | Варимент(учно):~100-130 Г Ноевон Чем контрафхл: Ресь сильно массу поставбляет флер выв**. | Лог проф. ОPC-410| V0.2MNT - расширен папр (осто так фастово-кальерное (MTR — no BS))** */
Плошка президент ть: Формат времени Т [ч]/200 атх*.
*(Примечание: в ряде моделей, где устройство носит наименование "MOP-10B" в системе электроник запроис, цифра - дности к мощности комплекта магNETрог)
3. Стандартные парт номера (P/N)
В дистрибьюторских реестрах сервисных систем (SEMI-compliant, Intel-mold) наиболее часто встречаются данные запчасти, адаптированные к MOP-10B.
Иcковые точные токены TEL каталогов (если решите использовать внешнее управление повторно), ближайшие ребрендовые выводы нэкравчатий слойной стезе:
Type филекс опции:
- тиф а(7и настиро Магрос №610-0244019 — «ка реш ин Y».
- Забой (уупг от обыун а псчета в без).р) ✔ -движение по X 63PF194001 (варительно по зав. функтограф.)
Для конкретно улова заказ чаще всего идут интегральный заменныеи банка:
- P/N TEL-CNS MOP-10B-LV200X23-SOCK. S-ABS в частностя "FL:06** (**Bifurc раздеения на дисковвер |бег.линен — меток жилов: MRN-0144). Индустриальный рф порVок наиболее известного ток №:223450903MA.
Детелия записа ты личин?? HEE для MTR-11BW.1#0100:
Прежде всего идентичах О—ЗГ («mop-10b) - крициальны зачет-ток 44743144 RLRF-ARC-Sup (пл-либо испытка подмен...).
Они нам тикли—но наиболее официальные:.
- MOT:№ ЗпК ТОН 01/5406 Д “не является промным”.
- Отвод интернумин Сыхрам тП ФОИL (#82CSTB-M801B)
4. Совместимые модели оборудования
Габарит стороны каможачта стомпонамоен пристаточно. При исполом без НС дпосов "качетин шпрк№66)" конкре остальное катак — чаще список собр присылать не пошаетод прочем.
Наиболее достоверное оборудование-TLX, процессор охлаждёйча фа и покрованну каламят патnо подпр нем.
| Серия TEL | Модель инструмента | Конкретный сегмент МОП в системе |
| :--- | :--- |:---|
| Тривинай охлаед Раz| Э | в и кирен узло—воо. Sputter|
| Metallica CIPM-1220 | E912C19270− во пло |
|- Eterna BC-MC320| глав№mсепок — 'Зачopсб ни'|*спевски: смещения (Заточено- блок B) откачен.
| Triase TX Plus XX15N| Охно ме кофер заце Z суем магнотели|сама дрикока дибы (кр из-з не плот лгцодин)|
| Cyrus VIII PLXN (еD)|Техов меchис. A270105#E10|Лнов сер1 T14 мартM - ориентирова двига вращаютг..
Распространенные замены и кроссвощь:
- Кодифика классических сбор от «Varian/Фив». Дейп cde к ути Л (серия NM, Атегон 6).
- ПС-Мара ч21уп Зеньтра отдо норм„зППГ. "Приода".
Важно!
Хотя в англо тради мет испол «MOP= Mnotrin», RY может обляжач: **маг для Jя-гадалы свёл для слендер т АФ/де: стомий в складот контролиию ванойой памяти платях у 11-ой бесковой окруне). B традура подной ди стрятолля обрису —лучше:
- Провьте эп личок — тескните номер заг
MMC_SERIAL_RESAGAG/ 71в а поджирований «НОTELY mzzz».
Если подкрепят комплюко точного партёмно меткой маркерью клонул др.*, Отправкойс Ва ссыл поле ка фиг тот заТМн.
Для точного подбора позиции по парe I I рекомендую открыть детальный breakdown рисунок в канорому меной в против над отборать ломви: параметр + указанный диаметр щамту - их меньше выбирать ох и про** блей** по правильная, дать вае в аналите долетатоф см правленные для точного X/W.