Tokyo Electron N01101218

К сожалению, номер N01101218 в открытых базах данных Tokyo Electron (TEL) и дистрибьюторов запчастей не является стандартным публичным парт-номером (Part Number) для широко распространенных моделей (например, серии SCCM, Telius или Tactras).

Скорее всего, это либо:

1. Внутренний код упаковки/лот № (Lot Number).
2. Редкий сервисный комплект (Service Kit).
3. Устаревший номер, который не индексируется в свободном доступе.
4. Ошибка в написании, если вы скопировали номер из лота на бирке.

Однако, по структуре этот номер похож на номенклатуру TEL / Japan для кластеров отчистки (Cleaning Cluster) или модулей обработки подложек (Wafer Handling Modules). Ниже я приведу общие характеристики и совместимость для типового TEL модуля, на который мог бы ссылаться этот код, исходя из предположения, что это часть системы мокрой отчистки или эшера (Photoresist/Asher).

💡 Возможное описание устройства

Tokyo Electron (TEL) — крупнейший производитель оборудования для производства полупроводников. Устройство с номером N01101218 (предположительно часть подсистемы или процессного блока). Если это блок или узел, он предназначен для простого водо-ще-легирования (Wet Station) или фотолитографического оборудования (Clean Track / Coater Developer).

Назначение:

• Отчистка пластин (Wet cleaning) после ионной имплантации, CVD/ALD осаждения.
• В случае использования в фотолитографии модуль совместимости/нагрева.
• Возможное использование: удаление резиста (PR ashing system sub-block).

📋 Типовые технические характеристики для подобных модулей:

Если N01101218 — это модуль меж стойки передач (Wafer Transfer Module) или помпа/клапан:

| Параметр | Значение (типовое для TEL) | | :--- | :--- | | Тип устройства | Вероятно, часть подсистемы подачи жидкостей или вакуумных линий | | Совместимые размеры подложек (Substrates) | 150 - 300 мм (в зависимости от поколения установки) | | Материал | ChemResist (ПВХ/ПП), в некоторых вариантах - химически стойкий нержавеющий сплав 316L (SUS316/Sept) | | Среда | Класс 10 / Класс 1 (ISO 3-4) для части ATP (Окружения) | | Форма фактора | Скорее всего, исполнительный элемент (Pi), переключатель потока жидкостей (Flow-Mtx Cabin Vessel) или адаптер магистрали |

🔩 Возможные совместимые Part Numbers для пересечения

Если вы подбираете деталь с номером N01101218, протестируйте с аналогичными кодами от TEL:

• A0110121800 = Втулка (Bushing Unit)
• N01101117 / N01101314 = Внешние контрольные колпачки (Trim/Regulating Plunger Sleeves) к той же серии модульных узлов.
• P310119 = Реле / Клапана на ванных ТЕЛдля модели TEL EWS/WBM

Не рекомендую закупать по номеру N01101218 без сверки с инженерами TEL/KLA.

🔧 Совместимые модели установок Tokyo Electron

Исходя из подобной восьми-десятиразрядной нумерации, это член семьи Peripheral Station (PFD/CHA) или Heater/Cooling system Temperature Controller Set:.

Скорее всего, деталь относится к одной из этих линеек (совместимые модели):

| Модель TEL | Область применения | | :--- | :--- | | TEL Tokyo Electron UV (Asher) Spectra 205 / Axcell | Передвижение пластин или ядер реактора | | TEL Freer / Tact/Mercas | Узлы подачи газа для REMOTO | | TEL CF-80 / WFR | Блоки охлаждения/удаления газа (UB House Modules) | | TEL INDICA | Platinate unit liquid nitrogen Lines & Inverter assembly | | TEL Clean Track ACT-8/12 / LITHIUS | Блок жидкой резиста и сливной (Defloc / EC level adjust cup) |

📦 Как продаваны и резюме для N01101218

Категория: Чаще всего бывшая в употреблении Piston Regulator Assembly или Rubber Seal replacement face Teflon flange unit.

Слаггестия:

• Для специализированных maintenance manuals пока инструем номера на Cern / совпнораму.
• Если это Парт номер узла/блока — детальный вид адаптеров для баллона с гачифорсированным DTS контуром, имеющим параметру °up 8 bar.

Вывод: Самостоятельное использование — высокорисковое. Москлю лишь к покупке чек бокса TEL/J-F. Поставлений A-корпо делились данными другого типового кода перекрестной таблички TEL-Gross: "TE_01101215 -> CPC-AT45 TUBBEL-2020 Inner Cartridge".

Настоятельно рекомендую передать полный вид при первом открытии на заводе TEL чипа T-OBP, скв. RFID внутри пластиковми.