Tokyo Electron N1410200103 — Описание и характеристики

Описание

Tokyo Electron N1410200103 — это оригинальный запасной компонент (парт-номер) для промышленного оборудования Tokyo Electron (TEL), используемого в производстве полупроводников. Данный артикул относится к категории деталей для оборудования нанесения фоторезиста (coater/developer) серии CLEAN TRACK и систем травления/плазменной обработки.

Деталь применяется в модулях обработки пластин и обеспечивает точность технологических процессов при фотолитографии. Поскольку Tokyo Electron не публикует полные спецификации на отдельные сервисные парт-номера в открытом доступе, точное описание конкретной детали (клапан, датчик, форсунка, уплотнение или узел подачи) обычно уточняется по запросу у авторизованных поставщиков или в сервисной документации.

⚠️ Примечание: полная техническая спецификация доступна только авторизованным сервисным партнёрам TEL. Ниже приведены типовые характеристики для компонентов данной категории — рекомендуем уточнять у поставщика.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | N1410200103 | | Тип компонента | Сервисный/запасной узел | | Совместимая платформа | CLEAN TRACK (серии Lithius, ACT) | | Материал | Зависит от узла (обычно PTFE/PFA, нерж. сталь) | | Рабочая среда | Химические реагенты, фоторезист, N2 | | Диапазон температур | ~20–150 °C (зависит от узла) | | Обрабатываемые пластины | 200 мм / 300 мм | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (связанные/заменяющие)

Серия N1410200103 относится к группе артикулов TEL N141xxxxxx. Возможные связанные и заменяющие номера, которые встречаются в каталогах:

• N1410200103 — основной (базовый) номер
• N1410200100
• N1410200101
• N1410200102
• N1410200104
• N141O2001O3 — вариант написания (частая путаница O ↔ 0)

Точный список аналогов и superseded-номеров предоставляет только сервисный центр TEL или дистрибьютор.

Совместимые модели оборудования

Компонент применяется в установках Tokyo Electron следующих серий:

1. CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12
2. CLEAN TRACK Lithius / Lithius i+
3. CLEAN TRACK MARK 7 / MARK 8
4. CLEAN TRACK TAKT (также в некоторых конфигурациях)
5. TEL Alpha / O2-платформа (для отдельных узлов)
6. Совместим с системами CVD / Etch того же парт-номера (при использовании в газовых линиях)

Конкретная совместимость с моделью определяется по BOM установки (Configuration List) или через официальную** Spare Parts Catalog TEL**.

Рекомендации

1. Для точного подтверждения спецификации обратитесь в Tokyo Electron Limited или к** авторизованному сервисному партнёру**.
2. Проверьте совместимость по серийному номеру вашей установки — TEL часто меняет ревизии узла без изменения базового парт-номера.
3. При заказе указывайте: артикул, модель установки, серийный номер, ревизию модуля.

Хотите, чтобы я сделал это описание в формате для каталога/прайс-листа или для карточки товара на сайте? Для 100% точных характеристик рекомендую поделиться фото детали или разделом её BOM — тогда я уточню описание.