Tokyo Electron NSR-202A

Tokyo Electron NSR-202A — это i-line степпер (step-and-repeat проекционный экспонирующий инструмент), разработанный и произведённый японской компанией Tokyo Electron Limited (TEL). Эта система относится к первому поколению литографического оборудования TEL, разработанному для производства интегральных микросхем с проектными нормами 350–500 нм (0,35–0,5 мкм).

Модель является предшественником NSR-2205 и известна своей оптической системой, построенной на базе разработок компании Nikon (объективы, изготовленные по спецификациям TEL, но по дизайну, родственному линиям Nikon). Рассмотрим подробное описание, характеристики и совместимость.

Описание и ключевые компетенции

Краткое описание: Tokyo Electron NSR-202A — это автоматизированная установка фотолитографии, работающая на длине волны 365 нм. Она предназначена для переноса изображения со стеклянной фотошаблона (ретикла) на кремниевую пластину, покрытую фоторезистом. Использует технологию пошагового экспонирования: пластина двигается, а экспонируется одно поле (шаг) за раз — что обеспечивает более высокую точность по сравнению с устаревшими контактными и проекционными сканерами того времени.

Ключевые конструктивные особенности:

• Гантровая станина (Субмонолитная): Оснащена тяжелой гранитной базой, которая гасит вибрации и гарантирует стабильность при шаговом перемещении.
• Синхронизация предхромат и кары: Используется классическая кинематика TEL, где стол ретикла (предхромат) синхронизируется с XY-столом пластины без применения сложных лазерных интерферометров сырого уровня — что удешевляло систему при сохранении приличной для дизайна до 0,4 мкм точности оверлея.
• Источник освещения: Ртутная лампа, дающая линию 365 нм (g-line для неё уже был вторичен), обеспечивает интенсивность, типичную для систем класса 1990-х годов начального производства.
• Наличие опции карусели: У некоторых модификаций есть мультилиттика для подачи/съема пластины из кассеты SWIFT (стандарт для оборудования VLSI/подгрузка на современных fab-заводах может быть интегрирована через трек).

Технические характеристики (Таблица базовых параметров)

Характеристики для типовой спецификации

| ИнтерФейс | Детали характеристик США | | :--- | :--- | | Тип установки | Поднос / St