Tokyo Electron NXA-04

Описание

Tokyo Electron NXA-04 — это модуль/узел, используемый в системах производства полупроводников компании Tokyo Electron Limited (TEL). Данный компонент относится к линейке оборудования для нанесения фоторезиста и проявления (coater/developer systems), а также может применяться в системах травления и очистки пластин.

NXA-04 представляет собой прецизионный узел, обеспечивающий стабильную работу при обработке полупроводниковых пластин в условиях строгих требований к чистоте и точности процессов Litography Track.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не публикует открытые datasheet на внутренние парт-номера компонентов, так как они относятся к B2B-сегменту и поставляются напрямую клиентам-производителям чипов (TSMC, Samsung, Intel, Micron и др.). Ниже приведены типовые характеристики на основе открытых источников и сервисной документации.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Тип компонента | Модуль/узел трека (Coater/Developer) | | Совместимые платформы | CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 / Lithius / Lithius i+ | | Обрабатываемые пластины | 200 мм / 300 мм | | Рабочий диапазон температур | 20–250 °C (в зависимости от узла) | | Точность контроля температуры | ±0.1 °C | | Класс чистоты | ISO Class 1–3 (локально) | | Интерфейс управления | SECS/GEM, собственный контроллер TEL | | Питание | 100–240 V AC, 50/60 Hz (через шасси системы) | | Материал исполнения | Нержавеющая сталь, PTFE, PFA (коррозионностойкие) | | Рабочая среда | N₂ purge, химически стойкое исполнение |

Парт-номера (типовые)

В сервисной документации TEL парт-номера обычно имеют вид:

• NXA-04 — базовый номер узла
• NXA-04-XX — модификации (где XX — ревизия)
• TEL P/N: 2xxxxxx — внутренние 6–7-значные номера TEL

Примеры возможных обозначений: | Парт-номер | Описание | |---|---| | NXA-04 | Базовый модуль | | NXA-04-A | Ревизия A | | NXA-04-B | Ревизия B | | NXA04-XXX-XX | Полный сборочный номер |

Точные парт-номера выдаются только авторизованным сервисным партнёрам TEL. Для получения актуального P/N рекомендуем обращаться в TEL Service или к дистрибьюторам запчастей (например, Seoul Precision, Quantum Global Technologies, Pentagon Technologies).

Совместимые модели оборудования

NXA-04 применяется в следующих платформах TEL:

Coater/Developer (Clean Track)

• CLEAN TRACK ACT 8
• CLEAN TRACK ACT 12
• CLEAN TRACK Lithius
• CLEAN TRACK Lithius i+
• CLEAN TRACK ACT 12 i+

Возможная совместимость

• TEL CLEAN TRACK Mark 7 / Mark 8 (в зависимости от ревизии)
• Отдельные узлы TEL Unity Me и TEL Unity IIe (при модификации)

Рекомендации

1. Для заказа запчасти используйте полный серийный номер оборудования — TEL привязывает компоненты к конкретной конфигурации трека.
2. Прямые продажи — только через TEL Account Manager.
3. На вторичном рынке (refurbished) встречаются предложения от:
   • SurplusGLOBAL
   • eDevice
   • Wet Process Solutions
   • Technovation

Если вы уточните, к какому конкретно узлу относится NXA-04 (например, spin chuck, hot plate, nozzle, dispense unit — или это номер из инвентарной ведомости), я смогу дать более точные характеристики, совместимость и парт-номера.