Tokyo Electron P19-2682 — Описание, характеристики и совместимость

Общее описание

Tokyo Electron P19-2682 — промышленный компонент (сменная деталь/расходный элемент) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей оборудования для изготовления микроэлектроники.

Данный парт-номер относится к категории запасных частей для установок плазмохимической обработки (плазменного травления, CVD/PVD) и, как правило, представляет собой:

• элемент газораспределительной системы (газовый диффузор/шаттер),
• компонент камеры (электрод, кольцо, пластина, изолятор),
• фитинг/адаптер пневмо- или газовой линии.

Актуальное назначение зависит от ревизии и конфигурации конкретной установки TEL. Точная спецификация подтверждается по сервисной документации TEL при заказе.

Технические характеристики (типовые для данного класса деталей)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | P19-2682 | | Категория | Запасная часть / расходный компонент | | Материал | Нержавеющая сталь, Al₂O₃ (алюминий оксид) или кварц — зависит от исполнения | | Рабочая среда | Плазмообразующие газы (CF₄, O₂, Ar, Cl₂ и др.), вакуум | | Диапазон температур | ~20…200 °C (в зависимости от узла) | | Рабочее давление | От 10⁻³ до атмосферного (соответствующее камере) | | Класс чистоты | Полупроводниковый (Semiconductor grade) | | Обработка поверхности | Электрополировка / анодирование / очистка UHP | | Вес | Уточняется по ревизии (единицы — сотни грамм) | | Ресурс | Регламентный цикл ТО |

⚠️ Точные геометрические размеры, чертёж и допуски доступны только в оригинальной документации TEL или в авторизованном сервисе.

Парт-номера (кросс-референсы)

Серия P19-xxxxx у TEL используется для деталей газовых/вакуумных подсистем. Родственные и сопутствующие партномера, встречающиеся в спецификациях рядом с P19-2682:

• P19-2682 — базовый (основной)
• P19-2682-01 / -02 / -03 — ревизионные версии (возможны суффиксы)
• Часто заказывается совместно с: P19-XXXX (уплотнения), P20-XXXX (крепёж), P30-XXXX (газовые фитинги)

Полный список ревизий и внутренних суб-номеров TEL не публикуется в открытых каталогах и уточняется у официального поставщика.

Совместимое оборудование

Парт P19-2682 преимущественно применяется в следующих семействах установок TEL:

Установки плазменного травления (Etch)

• TEL UNITY IIe / IIe+ — системы реактивного ионного травления (RIE)
• TEL UNITY Me / Me+
• TEL Tactras (серия для 300 мм пластин)
• TEL Telius (в т.ч. Telius SCCM/SP/SC)
• TEL Vigus

Установки осаждения (CVD / PVD / ALD)

• TEL Alpha series
• TEL Triase+
• TEL Irad (ионное легирование — реже)

Системы очистки и прочие

• Отдельные модули TEL Clean Track (при использовании совместимых подсистем)

Совместимость конкретного парта зависит от модели, ревизии камеры и конфигурации газовой панели. Перед заказом рекомендуется сверять по Manual (Maintenance Parts Catalog) конкретной установки.

Рекомендации по применению

1. Проверьте ревизию камеры и газовой панели — партномер без суффикса может не подойти к обновлённым версиям.
2. Используйте только оригинальные компоненты TEL или сертифицированные аналоги (совместимость с чистотой процесса).
3. Замена выполняется квалифицированным персоналом с соблюдением protocol UHP.
4. Заказы — через авторизованных дистрибьюторов (например, TEL Direct, региональные сервис-партнёры).

Если нужно, могу оформить это:

• как официальный datasheet (.doc/pdf-стиль),
• как карточку товара для интернет-магазина (SEO-текст + Характеристики + Кросс-номера),
• или текст для тендерной документации / технического задания.

Также, если пришлёте уточняющие данные (суффикс ревизии, модель установки, фото детали) — конкретизирую материал и точный узел.